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| **** | 建设单位代码类型:|
| 913********608735R | 建设单位法人:** |
| 陈进文 | 建设单位所在行政区划:**省**市**市 |
| **市苏溪镇苏福路233号 |
| ****外延车间图形衬底技术改造项目 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3975-C3975-半导体照明器件制造 |
| 建设地点: | **省**市**市 苏溪镇苏福路233号 |
| 经度:120.15046 纬度: 29.39533 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2024-12-10 |
| 金环建义〔2024〕139号 | 本工程排污许可证编号:913********608735R001C |
| 2024-05-21 | 项目实际总投资(万元):22651 |
| 4150 | 运营单位名称:**** |
| 913********608735R | 验收监测(调查)报告编制机构名称:******公司 |
| ****0782MA8GB9GK66 | 验收监测单位:**高鑫****公司 |
| 913********160739N | 竣工时间:2025-04-01 |
| 调试结束时间: | |
| 2025-12-24 | 验收报告公开结束时间:2026-01-21 |
| 验收报告公开载体: | http://www.****.com/449/i-2640/ |
| 改扩建 | 实际建设情况:改扩建 |
| 与环评一致 | 是否属于重大变动:|
| 新增年产98.75万片(折成4寸片)LED外延片,实施后全厂年产480万片/年(折成4寸片)LED外延片 | 实际建设情况:新增年产98.75万片(折成4寸片)LED外延片,实施后全厂年产480万片/年(折成4寸片)LED外延片 |
| 与环评一致 | 是否属于重大变动:|
| 外延片生产线:PSS芯片→清洁→检查→MOCVD→降温→退火→测试→外延片 氨气回收系统:20%氨水→压缩过滤→加热提浓→缓冲罐→二次过滤→蒸馏提纯→成品冷凝→成品罐 项目主要生产设备MOCVD数量84台 项目主要原辅料三甲基镓****603g、三乙基镓398489g、三甲基铟181989g、硅烷氢混合气10206g | 实际建设情况:外延片生产线:PSS芯片→清洁→检查→MOCVD→降温→退火→测试→外延片 氨气回收系统:20%氨水→压缩过滤→加热提浓→缓冲罐→二次过滤→蒸馏提纯→成品冷凝→成品罐 MOCVD实际数量76台 项目主要原辅料实际使用量(折算满产):三甲基镓****751.64g、三乙基镓413939.77g、三甲基铟182414.14g、硅烷氢混合气10495.83g |
| 外延片生产工艺与环评一致,氨气回收工艺与环评一致,MOCVD实际数量减少8台台,根据企业了解,主要是由于实际购置的单台设备产量参数与原设计值存在差异,致使设备数量与原设计数量存在差异,但生产设备的总体产能保持不变。根据验收核算废气颗粒物和氨排放量也在其审批排放量范围内,因此项目主要设备发生变动未导致新增污染物种类、相应污染物排放量增加,不属于重大变动。三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、硅烷氢混合气较环评审批使用量增加0.36%、3.88%、0.23%、2.84%。企业调试期间主要物料使用量略超出环评审批量,根据验收核算废气颗粒物和氨排放量也在其审批排放量范围内,因此项目主要设备发生变动未导致新增污染物种类、相应污染物排放量增加,不属于重大变动。 | 是否属于重大变动:|
| 项目废水主要是氨蒸馏系统产生的蒸馏含氨废水,废水依托A厂内废水处理设施(废水站设计处理规模为3130m3/d,处理工艺:pH调节+物化沉淀****净水厂进口浓度限值后与纯水站浓水尾水一起****净水厂。 (1)通过本次技改,对现有的1#-4#外延废气处理后的尾气接入本次氨精馏系统不凝尾气两级膜组吸收装置,进一步处理后高空排放。 (2)新增一套七级吸收处理装置。 (3)氨膜组吸收的氨水通过新增的精馏系统,形成氨气,回用于生产,氨水不再作为副产品外售。氨精馏系统产生的不凝尾气收集后接入两级膜组吸收装置,处理后高空排放。 噪声措施包括基础减振、消音设备等。 不合格外延片、一般废包装材料外卖综合利用;废滤芯、沾染化学品废包装材料委托有资质的单位处理。 | 实际建设情况:项目废水主要是氨蒸馏系统产生的蒸馏含氨废水,废水依托A厂内废水处理设施(废水站设计处理规模为3130m3/d,处理工艺:pH调节+物化沉淀****净水厂进口浓度限值后与纯水站浓水尾水一起****净水厂。 (1)现有的1#-4#外延废气处理后的尾气接入本次氨精馏系统不凝尾气两级膜组吸收装置(设计处理风量1500m3/h),进一步处理后高空排放。 (2)新增一套七级氨膜组吸收外延废气处理装置(设计处理风量2000m3/h)。 (3)氨膜组吸收的氨水通过新增的精馏系统,形成氨气,回用于生产,氨水不再作为副产品外售。氨精馏系统产生的不凝尾气收集后接入两级膜组吸收装置(设计处理风量1500m3/h),处理后高空排放。 噪声措施包括基础减振、消音设备等。 不合格外延片、一般废包装材料外卖综合利用;废滤芯、沾染化学品废包装材料委托有资质的单位处理 |
| 与环评一致 | 是否属于重大变动:|
| 无 | 实际建设情况:无 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 90.5978 | 0.4882 | 99.96 | 0 | 0 | 91.086 | 0.488 | |
| 27.179 | 0.146 | 29.988 | 0 | 0 | 27.325 | 0.146 | |
| 0.906 | 0.005 | 0.979 | 0 | 0 | 0.911 | 0.005 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
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| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | 氨气回收蒸馏废水处理设施 | ****水厂进口浓度标准限值,其中总有机碳(TOC)、石油类、阴离子表面活性剂(LAS)执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1水污染物排放限值中的“半导体器件”间接限值 | 生产废水依托A厂内污水处理设施(处理工艺:pH调节+物化沉淀****净水厂进口浓度限值后****净水厂 | 验收监测期间,项目A****处理站总排口悬浮物、化学需氧量、氨氮、总氮、总磷、氟化物监测结果最大值分别为38mg/L、120mg/L、5.91mg/L、24mg/L、0.11mg/L、12.6mg/L,****水厂进水指标限值要求。 |
| 1 | 外延废气处理设施 | 颗粒物排放执行《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级标准;氨气和臭气浓度厂界浓度和排放速率执行《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)二级标准 | 5#外延废气经设备内部自带粉尘过滤器处理后,再经现有七级膜吸收处理达标后高空排放。6#外延废气经设备内部自带粉尘过滤器处理后,再经新增的七级膜吸收处理达标后高空排放。1#-4# 外延废气先经设备自带粉尘过滤器除尘,再进入现有五级膜吸收系统深度除氨后,与氨气回收系统尾气汇合,一并经两级膜吸收系统进一步处理达标后高空排放。 | 验收监测期间,废气排气筒有组织排放和厂界无组织排放颗粒物监测结果均可满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)表2中的二级标准限值要求,氨、臭气浓度监测结果均可满足《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93)二级标准限值要求 |
| 1 | 噪声污染防治措施 | 本项目营运期A厂区西、北侧厂界噪声标准执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准,A厂区东侧厂界(**德路侧)、南侧厂界(临苏福路侧)执行4类标准 | 合理总平布局,充分利用建筑物本身有效隔声;对等高噪声设备做好防震、隔声;加强厂区绿化,车间周围加大绿化力度,从而使噪声最大限度地随距离自然衰减;企业定期做好设备检修工作,****设备处于最佳运行状态 | 验收监测期间,A厂区西、北侧厂界噪声监测结果满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求,A厂区东侧厂界(**德路侧)、南侧厂界(临苏福路侧)监测结果满足4类标准要求。 |
| 1 | 不合格外延片、一般废包装材料外卖综合利用。废滤芯、沾染化学品废包装材料委托有资质的单位处理 | 不合格外延片、一般废包装材料外卖综合利用。废滤芯、沾染化学品废包装材料委托有资质的单位处理 |
| 1 | 建设单位须结合本环评要求,做好安全生产,认真落实风险防范措施,并及时组织编制风险应急预案上报主管部门备案,在日常运营过程中,严格按照应急预案中的要求落实各项措施。 | 根据企业提供的资料和现场调查核实,企业能基本按照环评要求从以下方面落实各项事故风险防范措施: 1.加强企业的职工培训,制定各项规章制度和操作规程,工作人员实行岗位责任制,避免员工操作失误造成的污染事故。 2.完善运行管理制度,加强专业技术人员和操作人员的培训,建立技术考核档案,淘汰不合格上岗者。 3.加强运行设施的维护与管理,提高设施的完好率,关键设备及配件应留足备件。 4.企业A厂区设有容积共计1400m3的事故应急池,均设在地下,其容积及位置均能保证事故状态下事故雨水、泄漏物和事故消防水等重力自流或用水泵及管道抽至事故应急水池暂存,日常状态下事故应急水池均为空置,以确保在事故状态下能够容纳事故排水;事故应急池设有抽水泵,并与污水管线相连,能将事故状态下暂存的事故雨水、泄漏物和受污染的消防水****处理站处理。 5.企业已委托**市****公司修编环境事故应急预案,并于2025年12月5****环境局**分局完成备案(备案号:330782-2025-67-M)。企业落实各工作人员的责任,同时在平时要进行演练,以及时处理事故。 |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |