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| **** | 建设单位代码类型:|
| 913********165704N | 建设单位法人:罗雄科 |
| 陶克文 | 建设单位所在行政区划:**市自贸区临港新片区 |
| **市**区飞渡路 277 号 A 栋(1 号楼)东面一、二楼 |
| 泽丰半导体飞渡路项目技术改造项目 | 项目代码:|
| 建设性质: | |
| 2021版本:36--081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别(国民经济代码):C39-C39-计算机、通信和其他电子设备制造业 |
| 建设地点: | **市自贸区临港新片区 飞渡路 277 号 A 栋(1 号楼)东面一、二楼 |
| 经度:121.83188 纬度: 30.87576 | ****机关:****管理委员会 |
| 环评批复时间: | 2024-11-18 |
| 沪自贸临管环保许评〔2024〕98号 | 本工程排污许可证编号:**** |
| 2024-11-19 | 项目实际总投资(万元):200 |
| 15 | 运营单位名称:**** |
| 913********165704N | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| 913********165704N | 验收监测单位:******公司 |
| 913********114671H | 竣工时间:2025-04-25 |
| 2025-04-30 | 调试结束时间:2025-11-30 |
| 2025-12-16 | 验收报告公开结束时间:2026-01-16 |
| 验收报告公开载体: | https://e2.****.cn/qygkweb/jsp/view/jsxmInfo_edit.jsp?id=A96D25FC54504B8CB67A13E95EC440CB |
| ****拟在**市**区飞渡路277号A栋(1号楼)东面一、二楼对现有产品工艺进行技术改造,现有产品种类及产能不变,并增加电子陶瓷材料、银浆和光刻胶实验研发。 | 实际建设情况:****在**市**区飞渡路277号A栋(1号楼)东面一、二楼对现有产品工艺进行技术改造,现有产品种类及产能不变,并增加电子陶瓷材料、银浆和光刻胶实验研发。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 项目建设完成后,年产薄膜多层陶瓷封装基板3500片(70%外售)、半导体测试板1500套(90%外售)、半导体晶圆级测试探针卡2000套(全部外售);研发规模为小试,电子陶瓷材料、银浆材料、光刻胶年研发规模分别不超过10千克、1.5千克、10千克。 | 实际建设情况:年产薄膜多层陶瓷封装基板3500片(70%外售)、半导体测试板1500套(90%外售)、半导体晶圆级测试探针卡2000套(全部外售);研发规模为小试,电子陶瓷材料、银浆材料、光刻胶年研发规模分别不超过10千克、1.5千克、10千克。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 泽丰半导体主要致力于半导体测试板、MEMS 探针卡和基于陶瓷基板的先进封装的国产化,薄膜多层陶瓷封装基板生产主要工艺包括混料、球磨、流延、裁切打孔、填孔印刷、层叠、切割、排胶烧结、研磨、抛光、划片、钎焊、基板清洁、PVD、光刻、电镀铜、湿法刻蚀;半导体测试板工艺主要包括锡膏印刷、贴装、回流焊、插件焊、基板清洁、测试等;半导体晶圆级测试探针卡工艺主要包括探针生产及组装。 | 实际建设情况:泽丰半导体主要致力于半导体测试板、MEMS 探针卡和基于陶瓷基板的先进封装的国产化,薄膜多层陶瓷封装基板生产主要工艺包括混料、球磨、流延、裁切打孔、填孔印刷、层叠、切割、排胶烧结、研磨、抛光、划片、钎焊、基板清洁、PVD、光刻、电镀铜、湿法刻蚀;半导体测试板工艺主要包括锡膏印刷、贴装、回流焊、插件焊、基板清洁、测试等;半导体晶圆级测试探针卡工艺主要包括探针生产及组装。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 项目应实行雨污水分流。技改后划片废水、各类清洗废水、研发废水依托现有综合废水处理系统(沉降池+炭滤+砂滤)处理后,与纯水制备排水、生活污水一并经DW002 排口纳入市政污水管网。DW002 排口处的pH、化学需氧量、总有机碳、悬浮物、氨氮、总氮、总磷、氟化物、总铜应达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1 电子专用材料、电子元件间接排放限值,硼及其化合物、五日生化需氧量应达到《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三类标准限值。 应落实《报告表》提出的废气收集效率和处理效率。 排胶烧结产生的高浓度有机废气经机台密闭收集后通过新增的本地燃烧装置处理;混料废气、显影废气、退膜废气、刻蚀废气、基板清洁废气、线路板清洗废气、探针清洗废气、清洁废气经通风橱收集;流延废气、填孔印刷废气、干燥废气、旋涂烘烤废气、等离子清洗废气、激光切割废气经设备直接收集;实验废气经密闭设备或通风橱收集;焊接废气经密闭设备或集气罩收集;以上废气一并经改造后的1套废气治理设施“干式过滤+活性炭”处理,依托现有15米高DA001排气筒排放。氮氧化物应达到《工业炉窑大气污染物排放标准》(DB31/860-2014)表1限值,非甲烷总烃、二甲苯、丙酮、异丙醇、NMP、乙酸甲酯、甲醛、乙醛、颗粒物、银及其化合物、锡及其化合物、钯及其化合物、铜及其化合物应达到《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)中表1及附录A限值。排气筒应按要求设置采样口和采样平台。 应落实《报告表》提出的无组织排放控制措施,严格控制废气无组织排放。厂界处颗粒物、非甲烷总烃、二甲苯、甲醛、乙醛、锡及其化合物应达到《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表3浓度限值,氮氧化物应达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)限值要求;厂区内非甲烷总烃应达到《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)限值要求。 应落实《报告表》提出的降噪措施,通过选用低噪设备、采用减振、建筑隔声等措施,确保不对周边环境造成影响,企业东、北厂界噪声应符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3 类区排放限值要求。 应按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》与**市有关规定分类收集各类固体废物并分别妥善处理处置,危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求,危险废物委托有资质单位处理;一般工业固废贮存区需满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。 应根据《报告表》要求,落实土壤、地下水防渗措施建设和维护,避免对地下水造成影响。 应根据《报告表》要求落实各项风险防范措施并确保达到预期效果,加强日常管理,防止风险事故发生,及时编制企业突发环境事件应急预案并备案,****园区应急预案相衔接,应急预案演练方案应兼顾周边敏感目标及相关联动应急力量联动。 落实环境管理、环境监测等各项要求,认真做好环保设施运行效果记录和日常监测。应按照《报告表》要求落实环保设施的监控措施,加强管理,避免非正常工况发生。应加强环保设施日常管理,确保正常和非正常事故工况下污染物排放得到有效治理。各项治理设施应按照规范预设采样口和采样平台。 | 实际建设情况:项目实行雨污水分流。技改后划片废水、各类清洗废水、研发废水依托现有综合废水处理系统(沉降池+炭滤+砂滤)处理后,与纯水制备排水、生活污水一并经DW002 排口纳入市政污水管网。根据监测数据,DW002 排口处的pH、化学需氧量、总有机碳、悬浮物、氨氮、总氮、总磷、氟化物、总铜可达到《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1 电子专用材料、电子元件间接排放限值,硼及其化合物、五日生化需氧量可达到《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三类标准限值。 已落实《报告表》提出的废气收集措施,根据监测数据,废气处理设施有处理效果。 排胶烧结产生的高浓度有机废气经机台密闭收集后通过新增的本地燃烧装置处理;混料废气、显影废气、退膜废气、刻蚀废气、基板清洁废气、线路板清洗废气、探针清洗废气、清洁废气经通风橱收集;流延废气、填孔印刷废气、干燥废气、旋涂烘烤废气、等离子清洗废气、激光切割废气经设备直接收集;实验废气经密闭设备或通风橱收集;焊接废气经密闭设备或集气罩收集;以上废气一并经改造后的1套废气治理设施“干式过滤+活性炭”处理,依托现有15米高DA001排气筒排放。根据监测数据,氮氧化物可达到《工业炉窑大气污染物排放标准》(DB31/860-2014)表1限值,非甲烷总烃、二甲苯、丙酮、异丙醇、NMP、乙酸甲酯、甲醛、乙醛、颗粒物、银及其化合物、锡及其化合物、钯及其化合物、铜及其化合物可达到《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)中表1及附录A限值。排气筒已按要求设置采样口和采样平台。 已落实《报告表》提出的无组织排放控制措施,1)生产车间门、窗正常保持关闭状态,仅员工进出时开启;2)工作时间废气抽排风装置常开;3)废气收集处理设备定期检修保养。根据监测数据,厂界处颗粒物、非甲烷总烃、二甲苯、甲醛、乙醛、锡及其化合物可达到《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)表3浓度限值,氮氧化物可达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)限值要求;厂区内非甲烷总烃可达到《挥发性有机物无组织排放控制标准》(GB37822-2019)限值要求。 已落实《报告表》提出的降噪措施,通过选用低噪设备、采用减振、建筑隔声等措施,根据监测数据,东、北厂界噪声应符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3 类区排放限值要求。 已按《中华人民**国固体废物污染环境防治法》与**市有关规定分类收集各类固体废物并分别妥善处理处置,危险废物存放区符合《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求,危险废物委托有资质单位处理;一般工业固废贮存区满足相应防渗漏、防雨淋、防扬尘等环境保护要求。 本项目依托现有源头控制及分区防渗措施,所有车间、仓库和危废暂存间均设置了环氧地坪进行防腐防渗处理;企业定期检查防渗设施破损情况,杜绝渗漏。 已落实。 本项目环境风险防范措施均依托现有项目。已设置吸附材料和存放容器,科学配备消防栓、灭火器材,灭火砂桶等消防设施;生产厂房内地面均已采用防渗漏、防腐蚀、防淋溶、防流失环氧地坪防腐防渗层,防渗地坪平整、无裂缝。危险废物暂存间设置围堰,园区雨水排放口均安装有雨水截止阀。已编制突发环境事件应急预案并备案(备案编号03-310115-2025-015-L),应急预案演练方案已兼顾周边敏感目标及相关联动应急力量联动。 已落实。 已按要求进行环保设施运行效果记录并按时开展自行监测。已按照《报告表》要求落实环保设施的监控措施,厂务部门2次/日巡检,对废水处理设施的运行情况进行记录,废水处理设施前设有沉淀池;活性炭吸附装置装有压差仪。各项治理设施已按照规范设置采样口和采样平台。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 应按照《报告表》要求落实施工期污染防治措施,文明施工,减少废水、扬尘、噪声和固体废物等对周围环境的影响。 在建设中,如果项目的内容、性质、规模、地点、采用的生产工艺或防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动的,应重新报批建设项目环评文件。 项目建设应严格执行配套建设的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环保“三同时”制度。你单位应当按照环境信息公开有关规定,主动公开建设项目环境信息,接受社会监督。项目建成后,你单位应当按照竣工环境保护验收的有关规定,对配套建设的环境保护设施进行验收。 | 实际建设情况:已按照《报告表》要求落实施工期污染防治措施,文明施工,详见《泽丰半导体飞渡路项目技术改造项目施工期环保措施落实情况报告》。 不涉及发生重大变动。 项目建设配套建设的环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用。已按照环境信息公开有关规定,在“****事业单位环境信息公**台”主动向社会公开了建设项目环境信息、《施工期环保措施落实情况报告》及《环保措施落实情况报告》等。正开展对配套建设的环境保护设施验收工作。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0.2068 | 0 | 0 | 0 | 0.207 | 0.207 | |
| 0 | 0.601 | 0.778 | 0 | 0 | 0.601 | 0.601 | |
| 0 | 0.067 | 0.067 | 0 | 0 | 0.067 | 0.067 | |
| 0 | 0.013 | 0.013 | 0 | 0 | 0.013 | 0.013 | |
| 0 | 0.107 | 0.107 | 0 | 0 | 0.107 | 0.107 | |
| 0 | 1515 | 0 | 0 | 0 | 1515 | 1515 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0077 | 0.394 | 0 | 0 | 0.008 | 0.008 | / |
| 0 | 0 | 0.0018 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0046 | 0.38 | 0 | 0 | 0.005 | 0.005 | / |
| 1 | 综合废水处理系统 | pH、悬浮物(SS)、化学需氧量、总有机碳、氨氮、总氮、总磷、总铜、氟化物执行《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1-电子专用材料、电子元件间接排放标准,BOD5、总硼执行《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三类标准限值 | 综合废水处理系统处理工艺为沉降池+炭滤+砂滤,处理能力为2m3/h。 | 废水处理系统对氟化物、总铜、总硼、总有机碳的去除率分别为98.2%、79.0%、58.6%、90.4%。废水总排口处pH、CODCr、总有机碳、SS、NH3-N、总氮、总磷、氟化物、总铜均可满足《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)表1电子专用材料间接排放标准,总硼、BOD5均可满足《污水综合排放标准》(DB31/199-2018)三级标准。 |
| 1 | 废气处理设施 | 排气筒DA001处氮氧化物执行《工业炉窑大气污染物排放标准》(DB31/860-2014),非甲烷总烃、二甲苯、丙酮、异丙醇、甲醛、乙醛、颗粒物、银及其化合物、锡及其化合物、铜及其化合物执行**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015) | 废气处理设施处理工艺为过滤除尘+活性炭吸附,处理能力为15000m3/h | 由于颗粒物排放浓度较低,进出口均未检出,无法对颗粒物处理效率进行评价;对非甲烷总烃的处理效率为25.8~37.7%,监测期间废气治理设施非甲烷总烃第二次进出口监测浓度分别为2.92mg/L、3.18mg/L,浓度较低,与环境空气质量浓度接近。验收监测期间,排气筒DA001处氮氧化物排放满足《工业炉窑大气污染物排放标准》(DB31/860-2014),非甲烷总烃、二甲苯、丙酮、异丙醇、甲醛、乙醛、颗粒物、银及其化合物、锡及其化合物、铜及其化合物排放均满足**市《大气污染物综合排放标准》(DB31/933-2015)。 |
| 1 | 低噪声设备、减振垫、建筑隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类区排放限值要求 | 排胶烧结炉及本地废气处理设施、钎焊炉均选用低噪声设备,并设置减振垫,通过建筑隔声进行降噪。 | 验收监测期间,东侧、南侧厂界昼夜噪声能够达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类区排放限值要求。 |
| 1 | 应根据《报告表》要求落实各项风险防范措施并确保达到预期效果,加强日常管理,防止风险事故发生,及时编制企业突发环境事件应急预案并备案,****园区应急预案相衔接,应急预案演练方案应兼顾周边敏感目标及相关联动应急力量联动。 | 已设置吸附材料和存放容器,科学配备消防栓、灭火器材,灭火砂桶等消防设施;生产厂房内地面均已采用防渗漏、防腐蚀、防淋溶、防流失环氧地坪防腐防渗层,防渗地坪平整、无裂缝。危险废物暂存间设置围堰,园区雨水排放口均安装有雨水截止阀。已编制突发环境事件应急预案并备案(备案编号03-310115-2025-015-L),应急预案演练方案已兼顾周边敏感目标及相关联动应急力量联动。 |
| 本项目依托现有废水、废气治理设施,依托现有一般固废暂存间、危废暂存间及环境风险防控措施。 | 验收阶段落实情况:经验收监测,本项目废水、废气均可达标排放,现有一般固废暂存间、危废暂存间及环境风险防控措施能够满足本项目的需求。 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |