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| 匀胶机 | 2.0/台 | MYCRO | WS-650Mz-23NPPB | 1、系统概述 1.1 智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全; 1.2 防腐装置; 1.3设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护; 1.4 通信接口,蓝牙连接 2、处理腔体 2.1 处理腔体内径不小于220毫米; 2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料,方片125x125mm,无需更换片托; 2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质; 3、旋转马达 3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm, 3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec; 3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%; 4、控制系统 4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ,精度不超过0.1s; 4.2配有高精度PLC可编程的控制器,可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态; 5、配套泵浦 5.1 配套真空泵系统:无油型 220V,50Hz, 功率120W; 5.2 无油真空泵,真空度-660mmHg,流量50l/min; 6、系统附件 6.1 原装进口水平测试仪; 6.2 两袋密封圈; 6.3 配有两套可更换的废液接收单元; | 5-1. 设备保修期为设备验收合格后1年(保修期内免费提供非人为因素损坏的备件及服务),并长期提供技术支持。 5-2 机器发生故障时,供方在24小时内明确回复。 5-3 如果未能解决问题,供方工程师应在2个工作日内与用方达成故障解决方案。 5-4设备保修期内,损坏的备件原则上卖方应在1个工作日内明确回复备件的交货期限。并当供方国内仓库有备件库存时,在1个工作日内寄出。 5-5 保修期结束后,供方应在收到买方定单后1个工作日内明确回复备件的交货期限。 5-6 保修期结束后,供方应优惠供应相关备件。涉及的相关技术服务尽量免费解决,不可避免的收费项目,卖方应提供优惠,届时协商解决。 5-7 供方承诺向用方长期优惠供应设备相关的耗材。 |