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LED紫外光刻机（JJ2026000009）采购公告

公告-招标公告

福建 -泉州 -晋江市

发布时间： 2026年01月23日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

招标联系人

招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

LED 紫外光采购公告

招标详情

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相关单位：

***********公司企业信息

项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

LED紫外光刻机	****
2026-01-23 09:41:27	2026-01-26 11:00:00
****	内贸：全部货物交货并最终验收合格后，乙方向甲方提供全额的正式发票（10万元以上的国产设备乙方必须提供全额的增值税专用发票），甲方凭验收合格材料向乙方支付100%的合同款。

	内贸：合同签订后30个工作日内
￥260000.00




******校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

LED紫外光刻机

台

电子工业生产设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

南光

H94-27

￥ 260000.00

①曝光面积：160×160mm； ②曝光强度不均匀性：≤3%； ③曝光温度：≥30w/cm2可调； ④紫外光夹角：≤3"； ⑤****中心波长：365nm、404nm、435nm可选； ⑥紫外光寿命：≥2万小时； ⑦曝光分辨率：1μm； ⑧曝光模式：可选择一次曝光或套刻曝光； ⑨显微摄像范围：X→40mm Y→40mm ⑩对准范围：X、Y粗调±3mm、细调±0.3mm；Q粗调±15'、细调 ±3'；套刻精度：1μm；分离量：0~50μm 可调；接触-分离漂移：≤1μm；曝光方式：可实现硬接触、软接触和微力接触曝光；找平方式：三点式自动找平；显微系统：双物镜CCD系统，显微镜45X～300X连续变倍（物镜1.5X～7.5X连续变倍），双物镜距离可调范围11mm～100mm，计算机图像微处理系统，19"液晶监视器；曝光版尺寸：3×3、4×4、5×5、6×6、7×7；基片尺寸：Φ2、Φ3、Φ4、Φ5、Φ6；基片厚度：≤5mm；曝光时间：0～999.9秒可调；对准方式：切斯曼对准机构。装调夹具：单腔；电源：单相 AC220V 50HZ，功耗≤1KW；洁净空气压力：≥0.4MPa；真空度：-0.07MPa～-0.09MPa；尺寸：920×680×1600 (L×W×H) mm；重量：～180Kg

质量保证期:验收合格之日起算一年;服务网点:国内;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;备用机:48小时内无法排除故障，免费提供同档次备用机;质保期外:质保期外承担终身维修服务，维修过程只收取配件费，且以最优惠价格提供;