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广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统（第二批）采购的合同公告
招标详情
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400-688-2000
相关单位：
***********公司企业信息
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公告信息
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| 大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统（第二批）采购 | ||
| 2026-01-21 00:00:00 | ||
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公告内容
一、合同编号
****
二、合同名称
大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统（第二批）采购
三、项目编号
****
四、项目名称
大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统（第二批）采购
五、合同主体
采购人(甲方)：****
地址：****大学城外环西路100号
联系方式：020-****2383
供应商(乙方)： ****
地址：****开发区南**路 522 ****广场办公楼十一楼
联系方式：183****3911
六、合同主要信息
主要标的：
| 1 | 光刻-通风橱（半自动显影台）-二次配系统 | 1(套) | 72,760.00 | 72,760.00 |
| 2 | 扩散1-低压化学气相沉积系统-二次配系统 | 1(套) | 365,560.00 | 365,560.00 |
| 3 | 扩散1灰区--二次配系统 | 1(套) | 65,850.00 | 65,850.00 |
| 4 | 扩散2-氧化扩散炉02-二次配系统 | 1(套) | 103,980.00 | 103,980.00 |
| 5 | 光刻-通风橱（匀胶、前烘）-二次配系统 | 1(套) | 39,080.00 | 39,080.00 |
| 6 | 光刻-通风橱（手动显影）-二次配系统 | 1(套) | 63,960.00 | 63,960.00 |
| 7 | 光刻-全自动涂胶显影机-二次配系统 | 1(套) | 138,380.00 | 138,380.00 |
| 8 | 刻蚀-01-二次配系统 | 1(套) | 302,990.00 | 302,990.00 |
| 9 | 刻蚀-02-二次配系统 | 1(套) | 289,960.00 | 289,960.00 |
| 10 | 镀膜-等离子体原子层沉积-二次配系统 | 1(套) | 175,180.00 | 175,180.00 |
| 11 | 镀膜-磁控溅射机-二次配系统 | 1(套) | 98,280.00 | 98,280.00 |
| 12 | 扩散1-氧化扩散炉01-二次配系统 | 1(套) | 107,680.00 | 107,680.00 |
合同金额： 1,823,660.00元，大写金额：壹佰捌拾贰万叁仟陆佰陆拾元整
履约期限：2026年01月21日至2026年03月21日
履约地点：**市**区
采购方式：公开招标
七、合同签订日期
2026年01月21日
八、合同公告日期
2026年01月23日
九、其他补充事宜
合同附件：
****
2026年01月23日
相关附件
附件（2）
1.采购合同公告附件.pdf下载预览
1.采购合同公告附件.pdf下载预览
招标进度跟踪
2026-01-23
合同公告
广东工业大学大学城校区半导体微纳加工研发及服务平台工艺设备二次配系统（第二批）采购的合同公告
当前信息
2025-12-01
2025-11-18
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