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| 喷金机 | 1.0/台 | 160000.0 | 速普 | J20 | 1.真空泵:干式螺杆真空泵; 2. 抽速:≥8m3/h(130L/min); 3. 极限真空:<1 Pa; 4. 工作气压:4-10 Pa,可恒压控制; 5. 抽真空时间:<2min; 6. 真空计:皮拉尼真空计; 7. 腔体:~Φ 150*120 mm; 8.数显样品台:Φ75mm可偏转数显行星样品台,旋转转速:10-60RPM可调,偏转角度:0- 40度可调,靶基距45-60mm可调; 8. 溅射靶材:配金Au靶(纯度99.99%,尺寸Φ 30 *0.5mm)和铂Pt靶(纯度99.99%,尺寸Φ30*0.5mm),可实现单靶溅射、双靶交替溅射; 9.溅射电源:恒功率磁控DC溅射电源 Max. 20W ,Max. 100 mA,0-800 V DC; 10.操作方式:触摸屏控制,控制系统提供互锁保护功能; 11.冷却方式:风冷; 12.质保:不少于一年。 | 按行业标准提供服务 |