12吋中束流离子注入机

发布时间: 2026年01月23日
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****2026年2至6月政府采购意向-12吋中束流离子注入机 详细情况
12吋中束流离子注入机
项目所在采购意向: ****2026年2至6月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 12吋中束流离子注入机
预算金额: 2312.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0300-电子工业生产设备
采购需求概况 :
设备名称:12吋中束流离子注入机,该设备用于先进逻辑器件中用于Well注入、防穿通注入,Ground Plane注入等工艺,通过低电流密度与热注入相结合的方式,有效降低了轻掺杂工艺在阱区、亚鳍区等关键结构形成过程中引入的离子损伤。采购数量1台。
预计采购时间: 2026-04
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2026-01-23
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