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半导体核心器件制造与配套服务
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0203MADAE6YM9D | 建设单位法人：赵明魁 |
| 赵明魁 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| **大道902号 |
建设项目基本信息
| 半导体核心器件制造与配套服务 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造 | 行业类别（国民经济代码）：C3562-半导体器件专用设备制造 |
| 建设地点： | **省**市**区 **大道902号 |
| 经度:115.21638 纬度: 30.17208 | ****机关：****环境局****分局 |
| 环评批复时间： | 2024-12-30 |
| 西环审函〔2024〕27号 | 本工程排污许可证编号：****0203MADAE6YM9D001Q |
| 2025-12-30 | 项目实际总投资(万元)：3000 |
| 152 | 运营单位名称：**** |
| ****0203MADAE6YM9D | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| ****0200MA498WWJ24 | 验收监测单位：****公司 |
| ****0115MAD7NXWE0J | 竣工时间：2025-11-15 |
| 调试结束时间： | |
| 2025-12-25 | 验收报告公开结束时间：2026-01-22 |
| 验收报告公开载体： | 环保小智（网址：https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=493959） |
2、工程变动信息
项目性质
| 主要从事半导体掩膜版制造、掩膜版及挡板清洗、有机材料回收和贵金属回收。 | 实际建设情况：主要从事半导体掩膜版制造、掩膜版及挡板清洗。 |
| 现阶段暂未安装配套贵金属回收生产线和配套有机材料回收生产线。 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年产半导体掩膜版2400片、清洗半导体掩膜版5000片、清洗挡板64000片、回收有机材料3.6吨、回收银1吨、回收金0.06吨。 | 实际建设情况：年产半导体掩膜版1600片、清洗半导体掩膜版4900片、清洗挡板58000片。 |
| 现阶段仅完**装调试4条生产线（1条掩膜版清洗服务生产线（酸洗）、1条挡板清洗服务生产线（无机洗）、1条挡板清洗服务生产线（有机洗）、1条激光产线（对应环评中半导体掩膜版制造生产线后半段工序））。 环评阶段规划的1条掩膜版清洗服务生产线（有机洗）、1条配套贵金属回收生产线、8条配套有机材料回收生产线暂未安装，故实际产品种类及规模有所减少。 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| 1、半导体掩膜版制造生产线：裁切、清洁、压膜、镭射曝光、显影、水洗、吹干、蚀刻、水洗、退膜、水洗、张网、焊接、镭射开孔、抛光、水洗、检测、清洁。 2、挡板清洗服务生产线（无机洗）：来料检查、水刀冲洗、酸/碱性溶液浸泡、水洗、烘烤、喷砂、熔射、水洗、烘烤、检查、打包。 3、挡板清洗服务生产线（有机洗）：来料检查、水刀冲洗、NMP浸泡、水洗、烘烤、喷砂、熔射、水洗、烘烤、检查、打包。 4、掩膜版清洗服务生产线（酸洗）：来料检查、酸性溶液浸泡、碱液清洗、水洗、烘烤、检查、打包。 5、掩膜版清洗服务生产线（有机洗）：来料检查、NMP浸泡、水洗、烘烤、检查、打包。 6、配套贵金属回收生产线： 银回收：沉淀、置换、水洗、烘干、熔化； 金回收：过滤、过滤后的固体物质加王水和水合肼，捞出金，水洗、烘干、熔化；过滤得到的液体加锌丝，再将锌丝放入硫酸，捞出海绵金，水洗、熔化。 7、配套有机材料回收生产线：来料检查、手工刮料、干冰物理刮料、手工收料、检查、称重、打包、出货。 | 实际建设情况：1、激光产线（对应环评中半导体掩膜版制造生产线后半段工序）：张网、焊接、镭射开孔、抛光、水洗、检测、清洁。 2、挡板清洗服务生产线（无机洗）：来料检查、水刀冲洗、酸/碱性溶液浸泡、水洗、烘烤、喷砂、熔射、水洗、烘烤、检查、打包。 3、挡板清洗服务生产线（有机洗）：来料检查、水刀冲洗、NMP浸泡、水洗、烘烤、喷砂、熔射、水洗、烘烤、检查、打包。 4、掩膜版清洗服务生产线（酸洗）：来料检查、酸性溶液浸泡、碱液清洗、水洗、烘烤、检查、打包。 |
| 现阶段仅安装完成4条生产线（1条掩膜版清洗服务生产线（酸洗）、1条挡板清洗服务生产线（无机洗）、1条挡板清洗服务生产线（有机洗）、1条激光产线（对应环评中半导体掩膜版制造生产线后半段工序））。 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 1、废气： 掩膜版蚀刻工序、掩膜版和挡板酸洗工序及贵金属回收工序产生的酸性废气收集后经碱液喷淋塔处理，通过1根16m的排气筒（DA001）排放。 掩膜版和挡板NMP浸泡工序产生的有机废气经集气罩收集后由两级活性炭吸附箱处理，通过1根16m的排气筒（DA002）排放。 喷砂粉尘经布袋除尘器处理后，通过1根16m的排气筒（DA003）排放。 熔射粉尘经自带滤芯除尘器处理后，通过1根16m的排气筒（DA004）排放。 有组织排放NOX、非甲烷总烃、颗粒物、硫酸雾、氯化氢执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）二级标准；厂界无组织颗粒物、非甲烷总烃、硫酸雾、氯化氢执行《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）。 2、废水： 生产废水：掩膜版制造生产线产生的含镍废水、掩膜版清洗服务生产线碱洗及后续水洗工序产生的含银废水、挡板清洗服务生产线水洗工序产生的含银废水收集后经第一类污染物处理设施处理，处理后的含镍、含银废水与其余工序倒槽废水、清洗废水、碱液喷淋塔废水、车间保洁废水、纯水制备尾水等废水****处理站处理，处理达****处理厂。 生活污水：设置化粪池处理，处理达标后与处理达标的生产废水一同经市政污水****处理厂。 项目车间废水排放口废水总镍、总银执行《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1间接排放（电子专用材料）标准；厂区废水总排口排放的废水需满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1间接排放（电子专用材料****处理厂进水水质要求。 3、噪声： 采取厂房隔声、基础减震、合理布置设施分布等措施。 项目所在区域噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类、4类标准的要求。 4、固废： 一般固废：废边角料、不合格产品外售；废无尘布、熔射粉尘收集后交由环卫部门处理；喷砂粉尘回用于喷砂工序；废滤芯交由相应单位处置。 危险废物：滤渣、废光阻、废化学品包装容器、废活性炭、污水处理设施污泥、蚀刻倒槽废液、NMP倒槽废液、掩膜版酸洗倒槽废液、贵金属回收工序倒槽废液交由有资质单位处置。 生活垃圾收集后交由环卫部门处理。 5、其他： 土壤及地下水污染防治措施：建设单位应在项目的正常运营过程中，废水处理设施、危废暂存间、掩膜版及挡板清洗区、蚀刻车间采取防渗措施，确保废水不发生泄漏污染地下水和土壤环境。 | 实际建设情况：废气：掩膜版和挡板酸洗工序产生的酸性废气收集后经碱液喷淋塔处理，通过1根16m的排气筒（DA001）排放。 挡板NMP浸泡工序产生的有机废气经集气罩收集后由两级活性炭吸附箱处理，通过1根16m的排气筒（DA002）排放。 喷砂粉尘经布袋除尘器+水喷淋除尘后，通过1根16m的排气筒（DA003）排放。 熔射粉尘经布袋除尘器+水喷淋除尘后，通过1根16m的排气筒（DA003）排放。 由监测结果可知，项目有组织排放NOX、非甲烷总烃、颗粒物满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）二级标准限值要求，厂界无组织颗粒物、非甲烷总烃满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）限值要求。 废水： 生产废水：掩膜版酸洗线中碱洗及后续水洗工序产生的含银废水、挡板无机洗线中水洗工序产生的含银废水、激光产线清洗水、水刀冲洗废水收集后经第一类污染物处理设施处理，处理后的废水与其余工序清洗废水、碱液喷淋塔废水、车间保洁废水、纯水制备尾水等废水****处理站处理，处理达****处理厂。 生活污水：排入农民****创业园化粪池处理后经市政****处理厂。 由监测结果可知，项目车间废水排放口（第一类污染物处理设施废水排放口）总银满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1间接排放（电子专用材料）标准限值要求；厂区废水总排口排放的废水满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1间接排放（电子专用材料****处理厂进水水质要求；生活污水排放的废水满足《污水综合排放标准》（GB 8978-1996****处理厂进水水质要求。 噪声： 采取厂房隔声、基础减震、合理布置设施分布等措施。 由监测结果可知，项目厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）3类、4类标准限值要求。 固废： 一般固废：废无尘布收集后统一交由环卫部门处理；不合格产品收集后外售；经布袋除尘器收集的喷砂粉尘回用；不可回用的喷砂粉尘、熔射粉尘交由相应单位处置；废滤芯交由相应单位处置。 危险废物：掩膜版酸洗倒槽废液、挡板无机洗倒槽废液、NMP倒槽废液、滤渣、废化学品包装容器、污水处理设施污泥、废活性炭交由有资质单位处置。 生活垃圾收集后交由环卫部门处理。 其他： 土壤及地下水污染防治措施：已对废水处理设施、危废暂存间、掩膜版及挡板清洗区、化学品仓库采取防渗措施。 |
| 废气：1、因现阶段无贵金属回收线及蚀刻工序，无硫酸雾、氯化氢产生；2、因熔射间位置调整，环评阶段挡板喷砂废气与熔射废气分别通过一根排气筒排放，现改为两工序废气通过同一根排气筒排放，未使无组织排放增加；3、环评阶段喷砂废气通过布袋除尘器处理后排放、熔射废气通过设备自带滤筒处理后排放，现实际建设为喷砂废气通过布袋除尘器+水喷淋塔处理后排放、熔射废气通过布袋除尘器+水喷淋塔处理后排放，增加喷砂废气与熔射废气治理设施数量，提高处理效率。 废水：1、因现阶段无蚀刻工序，故无总镍产生；2、实际建设过****创业园现有条件，环评阶段生活污水经厂区内化粪池处理后与处理后的生产废水共同排入市政污水管网，改为生活污水依托****创业园化粪池处理后进入市政污水管网；3、****处理站污水处理工艺为“混凝沉淀+气浮”，现实际建设为“综合调节+两级厌氧+纳米氧化+好氧”，监测结果表明，生产废水可达标排放，且未超过对应污染物申请总量，不会使不利环境影响加重。 固废：1、因现阶段无裁切工序、蚀刻工序、贵金属回收生产线，故无废边角料、废光阻、蚀刻倒槽废液、贵金属回收工序倒槽废液产生；2、因未安装贵金属回收生产线，挡板无机洗倒槽废水未得以进行金、银回收，现阶段作为危险废物交由有资质的单位处置，合理处置不外排，不会使不利环境影响加重。 | 是否属于重大变动：|
其他
| 环境风险防范措施：建设事故应急池，满足事故下收纳容积，设置专门的危废暂存间；加强教育，强化管理，组织培训。 | 实际建设情况：环境风险防范措施：已建设满足收纳事故废水的事故应急池；设置专门的危废暂存间；已编制企业环境突发环境事件应急预案编制，加强企业环境管理和风险防范意识。 |
| 无变动 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.781 | 1.227 | 0 | 0 | 0.781 | 0.781 | |
| 0 | 0.373 | 0.614 | 0 | 0 | 0.373 | 0.373 | |
| 0 | 0.014 | 0.061 | 0 | 0 | 0.014 | 0.014 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0457 | 0.049 | 0 | 0 | 0.046 | 0.046 | / |
| 0 | 0.0504 | 0.431 | 0 | 0 | 0.05 | 0.05 | / |
| 0 | 0.0264 | 0.44 | 0 | 0 | 0.026 | 0.026 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 第一类污染物处理设施 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020） | 已根据环评要求及现阶段生产线实际情况建设。 | 第一类污染物处理设施废水排放口废水总银浓度（ND mg/L）满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1电子专用材料间接排放标准 | |
| 2 | ****处理站 | 《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1电子专用材料间接排****处理厂接管标准从严值 | 处理工艺为“综合调节+两级厌氧+纳米氧化（臭氧氧化）+好氧”，处理达****处理厂。 | 厂区废水总排口DW001废水中pH值（7.2~7.4）、SS（14 mg/L）、BOD5（16.9 mg/L）、COD（48 mg/L）、NH3-N（1.62 mg/L）浓度均满足《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1电子专用材料间接排****处理厂接管标准从严值 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 碱液喷淋塔（酸性废气治理设施） | 《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996） | 掩膜版酸洗及挡板无机洗废气已接入碱液喷淋塔处理，处理达标后排放。 | 氮氧化物排放浓度（48 mg/m3）与排放速率（0.456 kg/h）均可满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2相关排放限值。 | |
| 2 | 两级活性炭吸附箱（有机废气治理设施） | 《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996） | 挡板有机洗废气已接入两级活性炭吸附箱处理，处理后达标排放。 | 非甲烷总烃排放浓度（2.21 mg/m3）与排放速率（0.011 kg/h）均可满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2相关排放限值。 | |
| 3 | 布袋除尘器+水喷淋塔（喷砂废气及熔射废气治理设施） | 《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996） | 喷砂废气及熔射废气均接入布袋除尘器+水喷淋塔处理，处理达标后排放。 | 颗粒物排放浓度（2.12 mg/m3）与排放速率（0.0205 kg/h）均可满足《大气污染物综合排放标准》（GB 16297-1996）表2相关排放限值。 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 厂房隔声 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008） | 已采取厂房隔声、基础减震、合理布置设施分布等措施。 | 项目厂界南侧、西侧、北侧外1m监测点位噪声监测结果满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中的3类标准（昼间65dB（A））；厂界东侧外1m监测点位噪声监测结果满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB 12348-2008）中的4类标准（昼间70dB（A））。 |
表4 地下水污染治理设施
| 1 | 废水处理设施、危废暂存间、掩膜版及挡板清洗区、蚀刻车间采取防渗措施，确保废水不发生泄漏污染地下水和土壤环境。 | 已对废水处理设施、危废暂存间、掩膜版及挡板清洗区、化学品仓库采取防渗措施。（现阶段无蚀刻车间） |
表5 固废治理设施
| 1 | 一般固废：废边角料、不合格产品外售；废无尘布、熔射粉尘收集后交由环卫部门处理；喷砂粉尘回用于喷砂工序；废滤芯交由相应单位处置。 危险废物：滤渣、废光阻、废化学品包装容器、废活性炭、污水处理设施污泥、蚀刻倒槽废液、NMP倒槽废液、掩膜版酸洗倒槽废液、贵金属回收工序倒槽废液交由有资质单位处置。 生活垃圾收集后交由环卫部门处理。 | 一般固废：废无尘布收集后统一交由环卫部门处理；不合格产品收集后外售；经布袋除尘器收集的喷砂粉尘回用；不可回用的喷砂粉尘、熔射粉尘交由相应单位处置；废滤芯交由相应单位处置。 危险废物：掩膜版酸洗倒槽废液、挡板无机洗倒槽废液、NMP倒槽废液、滤渣、废化学品包装容器、污水处理设施污泥、废活性炭交由有资质单位处置。 生活垃圾收集后交由环卫部门处理。（因现阶段无裁切工序、蚀刻工序、贵金属回收生产线，故无废边角料、废光阻、蚀刻倒槽废液、贵金属回收工序倒槽废液产生） |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
| 1 | 建设事故应急池，满足事故下收纳容积，设置专门的危废暂存间。 | 已建设满足收纳事故废水的事故应急池；设置专门的危废暂存间。 |
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
环保搬迁
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
区域削减
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
功能置换
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
其他
| 无 | 验收阶段落实情况：无 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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