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| **** | 建设单位代码类型:|
| ****0324MA22NM50X5 | 建设单位法人:白俊春 |
| 吴照 | 建设单位所在行政区划:****睢** |
| ****经济开发区苏杭**、观音大道西 |
| 研发生产氮化镓第三代半导体外延片、芯片一体化项目 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:080-电子器件制造 | 行业类别(国民经济代码):C3979-C3979-其他电子器件制造 |
| 建设地点: | ****睢** ****睢** |
| 经度:117.594722 纬度: 34.076667 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2022-01-10 |
| 徐睢环项表〔2022〕1号 | 本工程排污许可证编号:****0324MA22NM50X5001Z |
| 2022-07-06 | 项目实际总投资(万元):11000 |
| 200 | 运营单位名称:**** |
| ****0324MA22NM50X5 | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| ****0324MA22NM50X5 | 验收监测单位:******公司 |
| ****0303MA25PY6R37 | 竣工时间:2022-04-01 |
| 调试结束时间: | |
| 2023-12-22 | 验收报告公开结束时间:2024-01-26 |
| 验收报告公开载体: | https://www.****.com/gs/detail/2?id=312227lBDZ |
| ** | 实际建设情况:** |
| / | 是否属于重大变动:|
| 20万片/年氮化镓电子器件、光电子器件 | 实际建设情况:1.2万片/年氮化镓电子器件、光电子器件 |
| 项目分期建设,产能未超环评设计值 | 是否属于重大变动:|
| / | 实际建设情况:/ |
| / | 是否属于重大变动:|
| 酸碱废水经酸碱废水处理系统(调节池+反应池+中和吸附池+絮凝池+斜板沉淀池+中间水箱)处理后接管至****处理厂进一步处理 | 实际建设情况:本项目****处理站暂未运行,POU喷淋废水与外延炉尾气处理喷淋废水均作为危废处置 |
| 项目分期建设,****处理站未运行,POU喷淋废水与外延炉尾气处理喷淋废水暂由有资质的危废处置单位处置 | 是否属于重大变动:|
| / | 实际建设情况:/ |
| / | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0.46 | 0 | 0 | 0 | 0.46 | 0.46 | |
| 0 | 0.016 | 0 | 0 | 0 | 0.016 | 0.016 | |
| 0 | 0.003 | 0 | 0 | 0 | 0.003 | 0.003 | |
| 0 | 0.0002 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0.004 | 0 | 0 | 0 | 0.004 | 0.004 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.034 | 0 | 0 | 0 | 0.034 | 0.034 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | / | / | 现****处理站暂不具备运行条件,生活污水经隔油池、化粪池处理后排入****处理厂进一步处理;一期工程外延片生产过程中所产生的外延炉尾气喷淋废水企业暂时与危废处置单位签订危废处置协议,定期清运处置,不外排。 | / |
| 1 | POU喷淋装置 | 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020) | 现一期工程仅安装6台MOCVD炉,每台MOCVD炉自带过滤装置,每4台MOCVD炉共用1套POU喷淋装置,现场仅安装2套POU喷淋装置,并配套1套水喷淋塔,废气处理后经共用的1个25m高排气筒达标排放(DA001) | 验收监测期间,外延片生产工序废气有组织排放满足**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的相关排放限值要求;项目一期工程无组织废气排放满足**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表4中的相关排放限值要求 |
| 1 | 选取低噪声设备、消声、合理布局、厂房隔声等 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求 | 选取低噪声设备、消声、合理布局、厂房隔声等 | 验收监测期间,本项目昼间、夜间噪声测量值均能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求。 |
| 1 | 废酸液、光刻胶废液、显影废液、去胶废液、蚀刻废液、废有机溶剂、研磨废液去蜡废液、MOCVD炉过滤装置定期更换的滤芯、废过滤棉、废活性炭、废机油废机油桶、酸碱污泥、有机污泥、危化品废包装桶、POU喷淋废液属于危险废物需委托有资质单位处置。 废基片、不合格外延片、废金属靶材、废蓝膜、废铜盘、废抛光垫、废蜡纸、不合格品、废无尘纸、废白膜、废离型纸收集后外售处理:含油废抹布、含氟污泥、化粪池污泥、一般废包装物及职工生活垃圾收集后委托环卫部门清运:纯水制备工艺产生的废膜、废过滤材料收集后由厂家回收处理。 | 本项目一期工程所产生的生活垃圾、化粪池污泥委托环卫部门定期清运;废基片、不合格外延片、含油废抹布、一般废包装物属于一般固废,收集后外售处理。MOCVD废滤芯、POU喷淋废液、尾气水喷淋废液、废机油、废机油桶属危险废物,经收集后暂时贮存于危险废物间内,委托****定期清运处置,由于危废种类增加尾气水喷淋废液,企业危险废物暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求建设,其面积足够满足尾气水喷淋废液暂存条件。 |
| / | 验收阶段落实情况:/ |
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| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |