研发生产氮化镓第三代半导体外延片、芯片一体化项目

审批
江苏-徐州-睢宁县
发布时间: 2026年01月26日
项目详情
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1、建设项目基本信息
企业基本信息
建设单位名称: 建设单位代码类型: 建设单位机构代码: 建设单位法人: 建设单位联系人: 建设单位所在行政区划: 建设单位详细地址:
****
****0324MA22NM50X5白俊春
吴照****睢**
****经济开发区苏杭**、观音大道西
建设项目基本信息
项目名称: 项目代码: 项目类型: 建设性质: 行业类别(分类管理名录): 行业类别(国民经济代码): 工程性质: 建设地点: 中心坐标: ****机关: 环评文件类型: 环评批复时间: 环评审批文号: 本工程排污许可证编号: 排污许可批准时间: 项目实际总投资(万元): 项目实际环保投资(万元): 运营单位名称: 运营单位组织机构代码: 验收监测(调查)报告编制机构名称: 验收监测(调查)报告编制机构代码: 验收监测单位: 验收监测单位组织机构代码: 竣工时间: 调试起始时间: 调试结束时间: 验收报告公开起始时间: 验收报告公开结束时间: 验收报告公开形式: 验收报告公开载体:
研发生产氮化镓第三代半导体外延片、芯片一体化项目****
2021版本:080-电子器件制造C3979-C3979-其他电子器件制造
****睢** ****睢**
经度:117.594722 纬度: 34.076667****环境局
2022-01-10
徐睢环项表〔2022〕1号****0324MA22NM50X5001Z
2022-07-0611000
200****
****0324MA22NM50X5****
****0324MA22NM50X5******公司
****0303MA25PY6R372022-04-01
2023-12-222024-01-26
https://www.****.com/gs/detail/2?id=312227lBDZ
2、工程变动信息
项目性质
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
****
/
规模
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
20万片/年氮化镓电子器件、光电子器件1.2万片/年氮化镓电子器件、光电子器件
项目分期建设,产能未超环评设计值
生产工艺
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
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环保设施或环保措施
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
酸碱废水经酸碱废水处理系统(调节池+反应池+中和吸附池+絮凝池+斜板沉淀池+中间水箱)处理后接管至****处理厂进一步处理本项目****处理站暂未运行,POU喷淋废水与外延炉尾气处理喷淋废水均作为危废处置
项目分期建设,****处理站未运行,POU喷淋废水与外延炉尾气处理喷淋废水暂由有资质的危废处置单位处置
其他
环评文件及批复要求: 实际建设情况: 变动情况及原因: 是否属于重大变动: 是否重新报批环境影响报告书(表)文件:
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3、污染物排放量
污染物 现有工程(已建成的) 本工程(本期建设的) 总体工程 总体工程(现有工程+本工程) 排放方式 实际排放量 实际排放量 许可排放量 “以新带老”削减量 区域平衡替代本工程削减量 实际排放总量 排放增减量 废水 水量 (万吨/年) COD(吨/年) 氨氮(吨/年) 总磷(吨/年) 总氮(吨/年) 废气 气量 (万立方米/年) 二氧化硫(吨/年) 氮氧化物(吨/年) 颗粒物(吨/年) 挥发性有机物(吨/年)
0 0.46 0 0 0 0.46 0.46
0 0.016 0 0 0 0.016 0.016
0 0.003 0 0 0 0.003 0.003
0 0.0002 0 0 0 0 0
0 0.004 0 0 0 0.004 0.004
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0 0 0 0 0 0 /
0 0.034 0 0 0 0.034 0.034 /
0 0 0 0 0 0 0 /
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 / / 现****处理站暂不具备运行条件,生活污水经隔油池、化粪池处理后排入****处理厂进一步处理;一期工程外延片生产过程中所产生的外延炉尾气喷淋废水企业暂时与危废处置单位签订危废处置协议,定期清运处置,不外排。 /
表2 大气污染治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 POU喷淋装置 《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020) 现一期工程仅安装6台MOCVD炉,每台MOCVD炉自带过滤装置,每4台MOCVD炉共用1套POU喷淋装置,现场仅安装2套POU喷淋装置,并配套1套水喷淋塔,废气处理后经共用的1个25m高排气筒达标排放(DA001) 验收监测期间,外延片生产工序废气有组织排放满足**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表3中的相关排放限值要求;项目一期工程无组织废气排放满足**省地方标准《半导体行业污染物排放标准》(DB32/3747-2020)表4中的相关排放限值要求
表3 噪声治理设施
序号 设施名称 执行标准 实际建设情况 监测情况 达标情况
1 选取低噪声设备、消声、合理布局、厂房隔声等 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求 选取低噪声设备、消声、合理布局、厂房隔声等 验收监测期间,本项目昼间、夜间噪声测量值均能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准要求。
表4 地下水污染治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表5 固废治理设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
1 废酸液、光刻胶废液、显影废液、去胶废液、蚀刻废液、废有机溶剂、研磨废液去蜡废液、MOCVD炉过滤装置定期更换的滤芯、废过滤棉、废活性炭、废机油废机油桶、酸碱污泥、有机污泥、危化品废包装桶、POU喷淋废液属于危险废物需委托有资质单位处置。 废基片、不合格外延片、废金属靶材、废蓝膜、废铜盘、废抛光垫、废蜡纸、不合格品、废无尘纸、废白膜、废离型纸收集后外售处理:含油废抹布、含氟污泥、化粪池污泥、一般废包装物及职工生活垃圾收集后委托环卫部门清运:纯水制备工艺产生的废膜、废过滤材料收集后由厂家回收处理。 本项目一期工程所产生的生活垃圾、化粪池污泥委托环卫部门定期清运;废基片、不合格外延片、含油废抹布、一般废包装物属于一般固废,收集后外售处理。MOCVD废滤芯、POU喷淋废液、尾气水喷淋废液、废机油、废机油桶属危险废物,经收集后暂时贮存于危险废物间内,委托****定期清运处置,由于危废种类增加尾气水喷淋废液,企业危险废物暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)要求建设,其面积足够满足尾气水喷淋废液暂存条件。
表6 生态保护设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
表7 风险设施
序号 环评文件及批复要求 验收阶段落实情况 是否落实环评文件及批复要求
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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环保搬迁
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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区域削减
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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生态恢复、补偿或管理
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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功能置换
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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其他
环评文件及批复要求: 验收阶段落实情况: 是否落实环评文件及批复要求:
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6、工程建设对项目周边环境的影响
地表水是否达到验收执行标准: 地下水是否达到验收执行标准: 环境空气是否达到验收执行标准: 土壤是否达到验收执行标准: 海水是否达到验收执行标准: 敏感点噪声是否达到验收执行标准:
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7、验收结论
序号 根据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》有关规定,请核实该项目是否存在下列情形:
1 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用
2 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求
3 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准
4 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复
5 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污
6 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要
7 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成
8 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理
9 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收
不存在上述情况
验收结论 合格
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展,属于前期项目。
2.根据该项目的描述,可依据自身条件进行选择和跟进,避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设,也可继续跟踪,项目可能还有其他相关后续工程与服务。