准环对称探针诊断加工采购公告

**** -准环对称探针诊断加工-询比采购采购公告

一、项目概况

1.静电探针探头及组件加工：包含多种结构形式的探头（如四探针、耙式探针等）、真空馈通组件及信号调理电路，用于精确测量等离子体电位、电子温度及密度等参数。

2.探针驱动平台系统：包含机械运动机构与电气控制系统。用于将上述探针探头精确、稳定地移动至真空室内的预定位置进行测量，并具备远程控制功能。

（一）静电探针探头及附属组件

1.探针头加工要求：

（1）核心材料：探针头材料须采用高纯度钨（W），要求耐高温、低溅射率；绝缘外壳须采用高纯度氮化硼（BN）陶瓷或高纯度三氧化二铝（Al #8322;O #8323;）陶瓷，具备优异的绝缘性与耐热负荷能力。

（2）结构尺寸：钨针标称直径0.6mm，探头整体外径控制在30 mm以内以减少对等离子体扰动。

（3）类型配置：供应商需加工多种构型，包括但不限于单探针、双探针、**阶/斜面四探针、耙式探针等，具体数量依据图纸清单执行。

（4）电气连接：探头末端需配备耐高温航空插头及内联线缆，线缆及绝缘层需长期耐受200°C以**温，且满足高真空低放气要求。

2.真空组件与法兰：

（1）材料要求：所有暴露于真空的不锈钢组件（如管道、法兰）须采用316L无磁不锈钢，以消除磁干扰；密封垫圈采用无氧铜（OFC）。

（2）真空性能：组件需在1×10 #8722;5Pa环境下稳定工作。

（3）表面处理：内表面需进行电抛光或钝化处理。

3.信号电路盒：配备铝制屏蔽盒，接口采用BNC型同轴连接头（共计24通道），要求接头与外壳绝缘电阻大于100MΩ。

（二）探针驱动平台系统

1.机械系统：

（1）密封形式：采用真空波纹管形式进行动密封，确保探针在移动过程中真空室的密封性。

（2）传动方式：采用电机带动丝杠/电缸模组传动，驱动探针内管做水平直线运动。

（3）行程要求：水平极限行程不小于1200mm，有效工作行程0-1100mm。

（4）位置反馈：需配备光栅尺，实现位置的精确反馈与显示。

2.控制系统：

（1）架构：采用工业级PLC配合工控机（IPC）架构。具备本地控制与远程电脑控制功能。

（2）运行模式：有手动模式，支持点动**、后退，可设定高、中、低三档运行速度。有自动模式，一键启动，探针运行至指定位置，停留设定时间（采集数据）后自动复位回原点。

（3）监控与安全：配备视频监控系统，可实时观察探针运行状态。具备软硬件限位保护（触碰极限自动停止并报警）、急停功能及故障自诊断报警系统。

（4）通讯接口：预留网口，支持通过网口与中控系统通信，实现远程状态读取与控制。

二、供应商资格要求:

1、基本资格条件：

（一）基本资格条件：

1.供应商须具有独立承担民事责任能力的在中华人民**国境内注册的法人或其他组织，具备****事业单位法人证书或其它营业登记证书；

2.单位法定代表人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目应答；

3.本项目不接受联合体应答。

4.供应商不得存在下列情形之一：

（1）不同供应商之间的单位负责人为同一人，或者存在直接控股、管理关系；

（2）处于被责令停产停业、暂扣或者吊销执照、暂扣或者吊销许可证、吊销资质证书状态；

（3）被本项目所在地省级以上行业主管部门依法暂停或者取消投标资格；

（4）进入清算程序，或被宣告破产，或其他丧失履约能力的情形；

（5****集团供应商管理要求，被禁止参与采购活动且处于有效期。供应商处于灰/黑名单中且处于有效期内：◆****集团供应商灰/黑名单、◆****灰/黑名单；

（6）不同供****集团电子采购平台参与项目被提示异常的；

（7）采购文件规定的其它情形。标书代写

三、报名方式

本项目采取公开方式选择供应商，有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台（https://www.****.com/）在2026年01月30日 16时00分00秒前报名参加本项目。

四、采购文件的获取标书代写

1、采购文件获取地地址：本项目不再提供纸质采购文件，参与本项目的潜在供应商****集团电子采购平台下载采购文件。标书代写

2、有意参与本项目的潜在****集团电子采购平台进行注册。注册账号审核通过后，在首页“用户登录”，输入账号及密码登录系统，依次点击→系统功能菜单→项目管理→我要报名，找到《准环对称探针诊断加工》，点击“我要报名”，即可查看项目信息并报名参与项目。****公司审核通过后即可下载本项目采购文件。标书代写

五、应答文件/报价文件的递交

1、应答文件递交截止时间：请参与本项目的应答人在（**时间）标书代写2026年02月02日 14时00分00秒****集团电子采购平台（https://www.****.com/）登录并上传应答文件电子版。若采购方另有要求递交纸质应答文件的，请按采购方要求的时间及方式递交：。

2、提交应答文件的方式：在线上传应答文件。（若采购方另有要求递交纸质应答文件的，请按采购方要求递交，并以在线上传文件为准）

3、未在线报名、逾期上传/送达的、未上传的，采购人不予受理。

六、公告媒体

****集团电子采购平台（https://www.****.com/）发布。对于其他媒介发布的本项目公告，采购人对其准确性不承担任何责任。本次采购活动的最终解释权在****

七、联系方式

采购人：****

地址：

邮编：

联系人：陈老师

电话：028-****0386

传真：

电子邮件：

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2026年01月26日