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中山大学先进制造学院自旋转磨床设备采购项目

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2026年01月26日

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大学制造学院磨床设备采购

招标详情

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***********公司企业信息

********学院自旋转磨床设备采购项目

发布时间： 2026-01-26 16:40

| 项目概况

采购类型	采购
项目编号	****
项目名称	********学院自旋转磨床设备采购项目
申购主题	自旋转磨床
项目类型	货物采购	项目预算
最高限价	650,000.00(人民币)
报名及响应开始时间	2026-01-26 16:40	报名及响应结束时间	2026-02-03 09:00
采购单位	****
经办人	王老师	经办人电话	****5092
期望收货时间	合同签订后40天内交货
是否送货	是	送货地址	省市公常路66号********学园B114室
电子签章	本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载
备注	1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、**学校不收取任何费用，外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书，请供应商根据指引（http://bidding..cn/article/4902）提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应，负偏离（不满足要求）将导致报价无效。6、如为进口免税报价，报价产品或报价产品的原产国属委员会公告的加征关税范围的，该产品的评审价=[供应商的免税报价×（1+本项目通知磋商谈判开始时间**委员会公告的加征关税税率）]，如高于项目最高限价/预算价，则报价无效。

| 采购明细

1 采购设备	自旋转磨床
数量	1台
参考品牌

“自旋转磨床”技术要求

序号技术要求内容评分等级是否星号条款是否需要附件说明

1	▲磨削晶圆直径(mm)：最大300	非常重要	否	是
2	▲磨削晶圆厚度(mm)：最大50	非常重要	否	是
3	减薄机形式：单轴单工位旋转工作台；操作方式：半自动磨削方式（人工上下料）	重要	否	否
4	磨削方式：晶圆旋转、轴向切入式进给磨削(in-Feed)	重要	否	否
5	★磨削主轴功率(kW)：≥11（气浮主轴）	重要	是	是
6	磨削主轴类型：气浮主轴/机械主轴	重要	否	否
7	▲磨削主轴转速(rpm)：≥500～3000	非常重要	否	是
8	▲磨削主轴转速最小控制量（rpm）：≤1	非常重要	否	是
9	▲Z轴有效行程(mm)：≥100（具有原点机能）	非常重要	否	是
10	主轴进给电动机功率(kW)：≥0.75	重要	否	否
11	Z轴磨削进给速率(μm/s)：0.1～80。Z轴快进速度(mm/s)：≥10。Z轴最小运动分辨率(μm)：≤0.1	重要	否	否
12	金刚石砂轮直径(mm)：≥300	重要	否	否
13	★夹持工作台类型：微孔陶瓷吸盘（4寸~12寸）	重要	是	是
14	晶圆夹持方式：真空吸附	重要	否	否
15	承片主轴转速(rpm)：0～300	重要	否	否
16	真空极限压力(kPa)：≤-88	重要	否	否
17	▲TTV(μm)：≤3，测量点为晶圆边缘往内5mm（12寸Si晶圆），五点测厚	非常重要	否	是
18	片间厚度变化(μm)：≤±3（12寸Si晶圆）	重要	否	否
19	▲表面粗糙度Ra(μm)：针对12寸晶圆，≤0.02（Si：金刚石砂轮粒度2000#）；≤0.3（蓝宝石：金刚石砂轮粒度500#）；≤0.003（SiC：金刚石砂轮粒度8000#）	非常重要	否	是
20	单工位减薄机1台。真空水冷控制单元1台。水箱1件。砂轮2片。17mm倾角调整支架1个。棘轮开口扳手1个。调整扳手1个。对刀仪（Z轴设定器)1个。5mm内六角扳手1个。内六角批头（拆装砂轮）1个。6150一字螺丝刀1个。17寸十字螺丝刀1个。工具箱1个。活动扳手1个。千分表1个。6寸斜口钳1个。275一字螺丝刀,1个。	重要	否	是

| 资质要求

序号要求名称条件类型要求内容是否需要附件说明

1	第1条资质参数	符合性参数	上传营业执照(副本原件扫描件)	是
2	第2条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公章）	是
3	第3条资质参数	符合性参数	填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）	是
4	第4条资质参数	符合性参数	填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）	是

| 商务要求

序号要求名称要求内容是否需要附件说明

1	免费保修年限	2年 3年 4年 5年及以上	是
2	合同履约	**学校合同范本执行下载地址：http://www..com:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意：（1）合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款其它付款方式选项不得选用；（2）本项目签署《**国内采购合同》的需开具增值税专用发票，如无法开具，需在签署合同时提供合理说明，否则将可能会影响合同签署。	否
3	产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）	厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式	是
4	售后服务要求	接到售后问题，30分钟线上响应远程指导，如果远程不能处理，2小时内到现场解决。	是
5	培训要求	熟悉操作设备及更换砂轮。	是

附件（1）

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2026-01-26

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