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聚焦离子束电子束双束系统采购项目
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6000000.00
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***********公司企业信息
****2026年1至12月政府采购意向-聚焦离子束电子束双束系统采购项目 详细情况
| 聚焦离子束电子束双束系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 聚焦离子束电子束双束系统采购项目 |
| 预算金额： | 600.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0301显微镜
|
| 采购需求概况 ： |
本次采购为1套聚焦离子束电子束双束系统，需实现离子束精确定位加工（切割、沉积），包括样品截面制备、TEM样品制备及三维重构和微纳器件加工等功能，同时利用电子束进行高分辨率成像与元素分析。需满足的主要技术指标包括：离子束系统分辨率≤2.5nm @ 30kV，加速电压范围不低于500V - 30 kV，束流范围不低于：2pA - 60nA；电子束系统高电压分辨率≤ 0.8nm @15kV，低电压分辨率≤ 1.2nm @ 1kV，束流强度范围不低于3pA - 40nA；样品台X、Y方向移动范围不低于110mm，Z方向移动范围不低于50mm，可绕Z轴旋转任意角度（360度），倾角范围包含 -15至70度；具备独立分离式气体注入系统，具备金属沉积系统，可进行W\C等金属的沉积；纳米机械手漂移<50 nm / min，最小步长50 nm，振动<15 nm，全方向重复精度<+/- 150 nm；TEM样品全自动制备；三维连续切片和重构功能；能谱分析功能。该采购包含设备****实验室，及设备调试与使用培训
|
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-01-29
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