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| **** | 建设单位代码类型:|
| 913********013367M | 建设单位法人:黄长庚 |
| 郑晓燕 | 建设单位所在行政区划:******区 |
| ****门市**区柯井社 |
| ****晶体生长研发实验扩建项目 | 项目代码:**** |
| 建设性质: | |
| 2021版本:098-专业实验室、****基地 | 行业类别(国民经济代码):M7320-工程和技术研究和试验发展 |
| 建设地点: | ******区 ******区 |
| 经度:118.157500 纬度: 24.534167 | ****机关:****环境局 |
| 环评批复时间: | 2024-11-13 |
| 厦湖环审〔2024〕16号 | 本工程排污许可证编号:913********013367M002X |
| 项目实际总投资(万元): | 300 |
| 10 | 运营单位名称:**** |
| 913********013367M | 验收监测(调查)报告编制机构名称:**** |
| 913********013367M | 验收监测单位:中**(厦****公司 |
| ****0205MADYY15W32 | 竣工时间:2025-12-05 |
| 调试结束时间: | |
| 2025-12-31 | 验收报告公开结束时间:2026-01-28 |
| 验收报告公开载体: | https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=495181 |
| 扩建 | 实际建设情况:扩建 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 碘化钠晶体生长实验(纯NaI晶体毛坯100kg/a)、贵金属酸洗实验和提纯实验(铂金50kg/a)、晶体元件加工实验250kg/a(含BGO晶体加工件50kg/a、YCOB晶体加工件50kg/a、溴化镧晶体加工件50kg/a、CsI晶体加工件50kg/a、纯NaI晶体加工件50kg/a) | 实际建设情况:贵金属酸洗实验和提纯实验(铂金50kg/a)、晶体元件加工实验250kg/a(含BGO晶体加工件50kg/a、YCOB晶体加工件50kg/a、溴化镧晶体加工件50kg/a、CsI晶体加工件50kg/a、纯NaI晶体加工件50kg/a) |
| 项目碘化钠晶体研发试验不建设,生产、处置或储存能力减小。 | 是否属于重大变动:|
| 1、碘化钠晶体生长研发工艺:酸洗坩埚、整形:使用模具将铂金坩埚定形后开始清洗,依托现有工程C栋酸洗间。坩埚用纯水配合洗洁精进行3-5次清洗,单次用水量约0.6L,清洗完成后将坩埚放置在5%浓度的盐酸溶液中常温浸泡1个小时,盐酸溶液重复使用,盐酸配置过程以及酸洗过程盐酸挥发会产生酸雾,经通风橱柜收集后排入C栋现有的碱液喷淋塔TA006处理后通过排气筒DA006排放。浸泡完成后将坩埚取出用1.5L纯水冲洗表面,洗掉残留的杂质和盐酸溶液,再进行超声波烘干。坩埚泡酸废液和盐酸空桶收集做危废处置,坩埚清洗废水收集至空桶(约10L带盖塑料桶)暂存后每个月转移至B栋**的一体化废水处理设施处理。 装料:将碘化钠原料拆封后倒入铂金坩埚中并封口,无需使用衬底材料。在手套箱内装料,倒料时会有少量原料粉尘,单次装料量小(约0.4kg),扬尘少,大部分沉降在手套箱内,剩余扬尘经移动式****实验室内无组织排放。 上炉晶体生长:将封口后的坩埚放入生长炉导热循环系统中,升至指定位置进行升温熔料(设定温度780℃~830℃),生长周期约1个月,炉内抽真空。在熔料的过程中若坩埚出现漏点则会有少量NaI挥发废气,****实验室设备可以继续生长。若坩埚完全破损导致大量漏料,则会立即降温,停止晶体生长,进行排气。正常实验过程中发生坩埚破损的概率极小,正常无NaI废气排放,建设单位新增1套移动式活性炭吸附装置,用于收集坩埚破损事故状态下逸散挥发出的少量NaI废气。 出炉:碘化钠晶体生长结束后,待铂金坩埚降至室温后再从晶体生长炉内取出。将取出后的铂金****实验室取出碘化钠晶体,然后将铂金坩埚剥离,质量完好的坩埚可继续使用,有破损的铂金坩埚收集后进行贵金属酸洗、提纯出铂金。生长过程中碘化钠装填在密封的铂金坩埚中,无物料泄漏沉积在生长炉内腔。 2、贵金属提纯工艺:整理、装坩埚:使用锤子对大块的铂金碎片(来源于碘化钠晶体生长使用过程淘汰下的废弃铂金坩埚)进行整形处理,把整形后的铂金碎片和纯度<99.95%的铂金一起放入氧化锆坩埚。 高温提纯:将装有铂金的氧化锆坩埚放入金属高温提纯炉中,作业周期约2~3个月,在高温加热(设定温度1800℃~2000℃)时铂金会由固态转变为液态,铂金熔融成液态过程其中的杂质会挥发出去,挥发的含有微量金属元素的含尘废气(含Ge、Bi、Cu、Si元素),经提纯炉排口排放,实验室内拟新配置1套移动式****实验室内无组织排放。 降温出炉:将提纯完成的铂金从氧化锆坩埚中取出,使用毛刷清理铂金锭表面附着的灰尘,灰尘少,经拟新增配置的移动式****实验室内无组织排放。质量合格的氧化锆坩埚可继续使用,有破损的氧化锆坩埚则收集后进行贵金属酸洗加工。 锻压整形:若出炉金锭形状规则,使用金属锻压机对金锭进行锻压定形,方便后续金锭的清洗、保存、运输,该过程会产生噪声。 清洗:观察铂金锭的表面状态,如果铂金表面干净直接使用**简易清洗即可,该过程会产生**洗含尘废水,收集排入新增的一体化废水设施TW007处理后通过废水排放口(DW007)排放。若铂金表面有粘贴的固体灰尘则需要进行酸洗操作,酸洗液反复使用,酸液浓度降低时继续混入浓酸配比合适浓度后继续使用,定期更换作为危废处置。 3、贵金属酸洗工艺:敲碎:使用锤子、破碎机对含有铂金的保温砖、氧化锆坩埚进行敲碎处理(含有铂金的保温砖、氧化锆坩埚来自本项目碘化钠晶体生长实验、贵金属提纯实验产生的废弃坩埚),以锤子敲碎为主,为大块物料,敲碎过程基本无粉尘,可忽略不计;破碎机使用时工作区域内有防迸溅防护装置,把大块的砖/坩埚敲碎为粒径在2-5mm的大颗粒,破碎机作业时整体密闭无粉尘外排。 泡酸:将敲碎后的粉料放入1-1.5L的硝酸与氢氟酸的混合溶液中,将装有酸液的塑料容器简易密封。在加热平台上使用水浴加热法对容器进行加热,加热温度在40-50℃,浸泡12h左右。以上全部操作在通风橱内进行,酸洗期间产生的硝酸、氢氟酸废气经通风橱收集后末端管道接入碱性溶液中吸收沉降。配置酸液调节pH及清除沉渣后可重复使用,每半年更换一次,会产生硝酸和氢氟酸废液。泡酸过程中会分离出少量杂质固废(主要为耐火砖、氧化锆成分),沾染有硝酸和氢氟酸,收集后作为危废处置。 清洗:将酸洗后产生的铂金在装有1L**的容器中清洗掉其表面附着的酸液后,第一遍清洗的含酸废液收集作为危废处置;再用**重复冲洗3~5遍,冲洗废水收集后排入自建的一体化废水设施TW007处理后通过废水排口DW007排入市政污水管网。 烘干:对清洗完成的铂金进行烘干(成品铂金含量≥99.95%),烘干温度控制在120~150℃,烘干时长≥3小时,操作后铂金入库。 4、晶体元件加工工艺:晶体定向:****实验室现有的X射线束装置对单晶材料进行定向分析的方法。 晶体切割:此工序主要用线切割机、带锯或内圆切片机将大块的单晶材料切割成小块、薄片或晶柱等形状规格,以满足具体的应用要求。切割时机台喷淋切削液在晶体表面,加工过程产生晶体泥渣、废切削液(D80溶剂油)、噪声、加工过程溶剂油挥发产生的废气。 晶体磨削:使用磨料对晶片表面进行切削和磨削,以达到所需的精度和表面质量。该过程常用的工具有金刚石砂轮和研磨液(D80溶剂油),其产污环节主要是磨屑泥渣、废切削液、废金刚砂磨料、设备运转产生的噪声、加工过程溶剂油(D80)挥发产生的废气。 晶体研磨:使用研磨液对晶片表面进行精密的研磨,以提高表面质量和光学性能。研磨液根据晶体是否吸湿,研磨液成分不同,一种是水+磨料(氧化铝/碳化硅),另外一种是D80/二甲基硅油+磨料(氧化铝),研磨过程会产生废磨料和研磨废液,以及D80溶剂油挥发的少量有机废气。 晶体抛光:将研磨后的晶片表面进行进一步抛光处理,使其达到高精度、高光洁度的要求。研磨液根据晶体是否吸湿,研磨液成分不同,一种是水+磨料(氧化铈),另外一种是D80或二甲基硅油+磨料(氧化铈),抛光过程会产生废磨料和研磨废液,抛光屑,以及D80溶剂油挥发的少量有机废气。 晶体清洗:将抛光后的晶片放入盛有清洗液(水、去离子水、D80溶剂油)的超声波清洗机内进行清洗,先用3L**和0.1L溶剂油进行第一遍清洗,再用3L纯水和0.1L溶剂油进行第二遍清洗。清洗过程的产污环节主要是清洗废液,收集后排入**的一体化废水设施TW007处理后通过废水排口DW007排入市政污水管网。 另外,晶体磨削、研磨或抛光后用酒精抹布擦拭晶体表面切削液,便于观察判断晶体加工情况,酒精使用时会挥发有机废气。 | 实际建设情况:1、贵金属提纯研发工艺:酸煮:根据晶体生长情况,配置合适比例的盐酸溶液装入酸煮瓶中;将铂金碎片放入酸煮瓶中,并将酸煮瓶置于加热炉上进行加热煮沸,酸煮瓶瓶口有冷凝管,因此不会有酸挥发扩散;待降温后,将酸洗瓶从加热装置中取出,使用**反复冲洗酸洗瓶和铂金碎片,去除部分酸液,再将酸洗瓶和铂金碎片放入超声波清洗机中,进行超声波清洗,去除残留酸液和附着物,再次用**反复冲洗酸洗瓶和铂金碎片,酸煮后**清洗过程少量挥发酸雾通过通风橱收集至碱液喷淋塔TA007(依托现有)处理有组织排放,清洗过程会产生的含有盐酸的低浓度清洗废水;最后将清洗后的酸洗瓶和铂金碎片放入烘干机中烘干,去除铂金碎片表面的水分。此过程会产生含有盐酸的低浓度清洗废水,酸煮瓶中的盐酸溶液循环使用,消耗补充,不产生废液。 整理、装坩埚:使用锤子对大块的铂金碎片进行整形处理,把整形后的铂金碎片和纯度<99.95%的铂金一起放入氧化锆坩埚。 高温提纯:将装有铂金的氧化锆坩埚放入金属高温提纯炉中,作业周期约2~3个月,在高温加热(设定温度1800℃~2000℃)时铂金会由固态转变为液态,铂金熔融成液态过程其中的杂质会挥发出去,挥发的含有微量金属元素的含尘废气(含Ge、Bi、Cu、Si元素),经提纯炉排口排放,通过集气罩收集后经1套除尘净化器处理后由DA012排放口排放。 降温出炉:将提纯完成的铂金从氧化锆坩埚中取出,使用毛刷清理铂金锭表面附着的灰尘,灰尘少,经移动式除尘器收集处理。质量合格的氧化锆坩埚可继续使用,有破损的氧化锆坩埚则收集后进行贵金属酸洗加工。 锻压整形:若出炉金锭形状规则,使用金属锻压机对金锭进行锻压定形,方便后续金锭的清洗、保存、运输,该过程会产生噪声。 清洗:观察铂金锭的表面状态,如果铂金表面干净直接使用**简易清洗即可,该过程会产生**洗含尘废水,若铂金表面有粘贴的固体灰尘则需要进行酸洗操作,使用5%盐酸进行酸洗液反复使用,酸液浓度降低时继续混入浓酸配比合适浓度后继续使用,定期更换时实验人员将pH调至中性一同作为实验废水处理,用收集桶收集后委托****进行处理,酸洗过程产生少量的挥发酸雾经通风橱收集后排至碱液喷淋塔TA007(依托现有)处理有组织排放。 2、贵金属酸洗研发工艺:敲碎:使用锤子、破碎机对含有铂金的保温砖、氧化锆坩埚进行敲碎处理(含有铂金的保温砖、氧化锆坩埚来自本项目碘化钠晶体生长实验、贵金属提纯实验产生的废弃坩埚),以锤子敲碎为主,为大块物料,敲碎过程基本无粉尘,可忽略不计;破碎机使用时工作区域内有防迸溅防护装置,把大块的砖/坩埚敲碎为粒径在2-5mm的大颗粒,破碎机作业时整体密闭无粉尘外排。 泡酸:将敲碎后的粉料放入1-1.5L的硝酸与氢氟酸的混合溶液中,将装有酸液的塑料容器简易密封。在加热平台上使用水浴加热法对容器进行加热,加热温度在40-50℃,浸泡12h左右。以上全部操作在通风橱内进行,酸洗期间产生的硝酸、氢氟酸废气经通风橱收集后末端管道接入碱性溶液中吸收沉降。配置酸液调节pH及清除沉渣后可重复使用,每半年更换一次,会产生硝酸和氢氟酸废液。泡酸过程中会分离出少量杂质固废(主要为耐火砖、氧化锆成分),沾染有硝酸和氢氟酸,收集后作为危废处置。 清洗:将酸洗后产生的铂金在装有1L**的容器中清洗掉其表面附着的酸液后,第一遍清洗的含酸废液收集作为危废处置;再用**重复冲洗3~5遍,冲洗废水用收集桶收集后委托****进行处理,。 烘干:对清洗完成的铂金进行烘干(成品铂金含量≥99.95%),烘干温度控制在120~150℃,烘干时长≥3小时,操作后铂金入库。 3、晶体元件加工研发工艺:晶体定向:****实验室现有的X射线束装置对单晶材料进行定向分析的方法。 晶体切割:此工序主要用线切割机、带锯或内圆切片机将大块的单晶材料切割成小块、薄片或晶柱等形状规格,以满足具体的应用要求。切割时机台喷淋切削液在晶体表面,加工过程产生晶体泥渣、废切削液(D80溶剂油)、噪声、加工过程溶剂油挥发产生的废气。 晶体磨削:使用磨料对晶片表面进行切削和磨削,以达到所需的精度和表面质量。该过程常用的工具有金刚石砂轮和研磨液(D80溶剂油),其产污环节主要是磨屑泥渣、废切削液、废金刚砂磨料、设备运转产生的噪声、加工过程溶剂油(D80)挥发产生的废气。 晶体研磨:使用研磨液对晶片表面进行精密的研磨,以提高表面质量和光学性能。研磨液根据晶体是否吸湿,研磨液成分不同,一种是水+磨料(氧化铝/碳化硅),另外一种是D80/二甲基硅油+磨料(氧化铝),研磨过程会产生废磨料和研磨废液,以及D80溶剂油挥发的少量有机废气。 晶体抛光:将研磨后的晶片表面进行进一步抛光处理,使其达到高精度、高光洁度的要求。研磨液根据晶体是否吸湿,研磨液成分不同,一种是水+磨料(氧化铈),另外一种是D80或二甲基硅油+磨料(氧化铈),抛光过程会产生废磨料和研磨废液,抛光屑,以及D80溶剂油挥发的少量有机废气。 晶体清洗:将抛光后的晶片放入盛有清洗液(水、去离子水、D80溶剂油)的超声波清洗机内进行清洗,先用3L**和0.1L溶剂油进行第一遍清洗,再用3L纯水和0.1L溶剂油进行第二遍清洗。清洗过程的产污环节主要是清洗废液,用收集桶收集后委托****进行处理。 另外,晶体磨削、研磨或抛光后用酒精抹布擦拭晶体表面切削液,便于观察判断晶体加工情况,酒精使用时会挥发有机废气。 |
| 项目碘化钠晶体研发试验不建设。 | 是否属于重大变动:|
| 1、生活污水:南地块生活污水收集至化粪池(TW003)处理后通过生活污水排放口(DW003)排放,最终进入前埔水质净化厂处理。北侧地块生活污水收集至化粪池(TW004)处理后通过生活污水排放口(DW004)排放,进入前埔水质净化厂处理。不新增职工,无新增生活污水。 2、实验清洗废水:贵金属提纯实验-铂金锭清洗废水、贵金属酸洗实验-铂金锭清洗废水、晶体元件加工清洗废水、晶体加工工装夹具清洗收集后排入B栋**的一体化废水设施TW007处理后经废水排口DW007排放。 3、贵金属提纯实验产生的粉尘:B栋:贵金属提纯实验产生的粉尘经新增的移动式除尘器收集处理后车间内达标排放。 4、铂金表面清扫灰尘:B栋:贵金属提纯铂金表面清扫灰尘采用移动除尘器收集处理。 5、贵金属酸洗实验产生的酸雾:B栋:贵金属酸洗实验产生的酸雾(硝酸、氢氟酸)经通风橱收集后末端管道接入碱液水池中吸收处理。 6、有机废气:B栋:晶体元件加工产生的有机废气经**的2套移动式活性炭吸附装置收集处理。 7、NaI废气:C栋:晶体生长过程产生的NaI废气收集至**的1套移动式活性炭吸附装置处理后车间内达标排放;碘化钠装料粉尘经新增的1套移动式除尘器收集处理后车间内达标排放。 坩埚酸洗废气:C栋:坩埚酸洗废气依托现有的碱液喷淋塔TA006处理后通过排气筒DA006排放。 9、噪声:设备加设基础减震垫,采取墙体隔音等措施。 10、危险废物:设置1间危废贮存间(约50m2),位于1F车间内东南角。 11、一般固废:设置1个一般工业固废存放区域(约20m2),位于1F车 间内。 | 实际建设情况:1、生活污水:南地块生活污水收集至化粪池(TW003)处理后通过生活污水排放口(DW003)排放,最终进入前埔水质净化厂处理。北侧地块生活污水收集至化粪池(TW004)处理后通过生活污水排放口(DW004)排放,进入前埔水质净化厂处理。不新增职工,无新增生活污水。 2、实验清洗废水:实验清洗废水使用收集桶收集后委托****处理。 3、贵金属提纯实验产生的粉尘:B栋:贵金属提纯实验产生的粉尘集气罩收集后经除尘净化处理后有组织排放DA012。 4、铂金表面清扫灰尘:B栋:贵金属提纯铂金表面清扫灰尘采用移动除尘器收集处理。 5、贵金属酸洗实验产生的酸雾:B栋:贵金属酸洗实验产生的酸雾(硝酸、氢氟酸)经通风橱收集后末端管道接入碱液水池中吸收处理。 6、有机废气:B栋:晶体元件加工产生的有机废气经移动式活性炭吸附装置收集处理。 7、NaI废气:碘化钠实验不建设。 8、坩埚酸洗废气:贵金属酸煮及后道整形后低溶度盐酸清洗少量挥发酸雾通过通风橱+碱液喷淋塔TA007+1根19m排气筒(DA007),风量20000m3/h。 9、噪声:设备加设基础减震垫,采取墙体隔音等措施。 10、危险废物:设置1间危废贮存间(约30m2),位于1F车间内东南角。 11、一般固废:设置1个一般工业固废存放区域(约20m2),位于1F车间内东南角,危废间旁。 |
| 1、实验清洗废水委外处理;2、贵金属提纯实验产生的粉尘无组织改有组织收集处理;3、碘化钠实验不建设;4、坩埚酸洗废气:TA006处理设施暂停使用,改依托现有TA007处理设施处理;5、危险废物:面积缩小,能满足贮存能力。 | 是否属于重大变动:|
| 无 | 实际建设情况:无 |
| 无 | 是否属于重大变动:|
| 0 | 0.3798 | 0 | 0 | 0 | 0.38 | 0.38 | |
| 0 | 1.8994 | 0 | 0 | 0 | 1.899 | 1.899 | |
| 0 | 0.1709 | 0 | 0 | 0 | 0.171 | 0.171 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0092 | 1 | 0 | 0 | 0.009 | 0.009 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 1 | 除尘净化器 | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表1排放限值 | 贵金属提纯实验产生的粉尘集气罩收集后经除尘净化处理后有组织排放DA012 | 放浓度最大值为1.6mg/m3、排放速率最大值为4.62×10-3kg/h | |
| 2 | 碱液喷淋塔TA007 | 《**市大气污染物排放标准》(DB35/323-2018)表1排放限值 | 贵金属酸煮及后道整形后低溶度盐酸清洗少量挥发酸雾通过通风橱+碱液喷淋塔TA007+1根19m排气筒(DA007),风量20000m3/h | 排放浓度最大值为17.4mg/m3、排放速率最大值为0.0986kg/h |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
| / |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
| / |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
| / |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
| / |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
| / |
| 无 | 验收阶段落实情况:无 |
| / |
| / |
| / |
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| / |
| / |
| 1 | 未按环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施,或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书(表)及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书(表)经批准后,该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动,建设单位未重新报批环境影响报告书(表)或环境影响报告书(表)未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成,或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目,无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目,其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚,被责令改正,尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实,内容存在重大缺项、遗漏,或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |