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新昇集成电路用300mm硅片产能升级太原项目

审批

山西-太原-尖草坪区

发布时间： 2026年01月31日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
****0124MADQY7HC5H	李炜
李博	省市****开发区
市区柏板乡南侧约450m处

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

新昇集成电路用300mm硅片产能升级**项目

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	****区 ****区
经度:112.474722 纬度: 38.015278	****开发区**审批局
	2024-09-25
高新审批环评〔2024〕7号	****
2024-10-10	908672
18960	****
****0124MADQY7HC5H	****
****0124MADQY7HC5H	******公司
****0100MA0H00395Q	2025-11-01
2025-11-01	2026-10-31
2025-12-30	2026-01-28
	http://sxhbxxw.cn

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

**	**
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产720万片/年300mm拉晶硅片（其中300mm切磨抛硅片240万片/年）	年产720万片/年300mm拉晶硅片（其中300mm切磨抛硅片240万片/年）
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

拉晶-拆炉-截断、取片-蚀刻检验-滚磨；线切割-切割后清洗-双面研磨-边缘研磨-应力消除-热处理-双面抛光-双面抛光后清洗-边缘抛光-边缘抛光后清洗-薄膜沉积-边缘清洗-最终抛光-最终抛光预清洗-检测-最终清洗-外延-分拣包装;	拉晶-拆炉-截断、取片-蚀刻检验-滚磨；线切割-切割后清洗-双面研磨-边缘研磨-应力消除-热处理-双面抛光-双面抛光后清洗-边缘抛光-边缘抛光后清洗-薄膜沉积-边缘清洗-最终抛光-最终抛光预清洗-检测-最终清洗-外延-分拣包装;
无

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

原料配料间多晶硅、掺杂剂过筛废气采用负压集气，收集后的废气经过滤器+脉冲清灰真空清扫系统进行清扫，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。掺杂剂为砷的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+高效滤筒（0.35μm）+2级碱喷淋处理；掺杂剂磷的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+水喷淋处理；掺杂剂硼的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+中效滤筒处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。石墨件清理废气采用负压集气，收集后的废气经布袋除尘器处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。酸性废气采用负压集气，收集后的废气经碱洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。碱性废气采用负压集气，收集后的废气经酸洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。薄膜沉积酸性废气采用密闭集气，收集后的废气经燃烧装置燃烧处理后进入水喷淋降温后接入挥发性酸性废气碱洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。有机废气采用负压集气，收集后的废气经活性炭吸附+脱附+催化燃烧处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。使用砷烷产生的外延废气采用负压集气，收集后的废气经干式吸附+水洗塔处理；使用磷烷产生的外延废气采用负压集气，收集后的废气经水洗塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。污泥房、废水收集池、储罐均全封闭，臭气采用负压集气，收集后的臭气经酸洗塔+碱洗塔处理，处理后满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）限值后有组织排放。燃气热水锅炉采用低氮燃烧、烟气再循环工艺，废气满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB14/1929-2019）标准中大气污染物排放限值，NOX同时满足《市关于推进生物质锅炉超低排放改造和燃气锅炉低氮改造的通知》中燃气锅炉限值要求后有组织排放。含铬废水、含铬废水经各自预处理系统进行预处理，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A级标准及中北园区处理厂纳管标准后混合，经含砷、含铬废水管道进入中北园区处理厂处理。酸碱废水、含氟废水、切割废水、氨氮废水、制纯水废水、纯水再生废液和冷却排水经各自处理系统处理后，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）企业废水总排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A级标准及中北园区处理厂纳管标准后混合，经综合废水管道进入中北园区处理厂处理。抛光废水经UF+RO处理后，满足《城市污水再生利用-工业用水水质》（GBT19923-2024）中的间接开式循环冷却水补充水的水质标准后回用于外延尾气处理系统和冷却塔补水。食堂废水经隔油装置处理后和生活污水汇入综合废水处理系统处理。危险废物分类分区暂存于固废站中危废贮存库，定期交由有资质单位处置。危险废物贮存、处置等严格执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。一般固体废物分类分区暂存于固废站中一般固废贮存库内，定期委外综合利用；不合格产品蚀刻后回用于生产；**填埋场进行安全填埋。生活垃圾由环卫部门定期清运处置。餐厨垃圾集中收集后交由有资质的单位清运处置。运营期产噪设备合理布置，选用低噪声设备，采取隔声、减振、室内安装等综合治理措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的2类标准。	原料配料间多晶硅、掺杂剂过筛废气采用负压集气，收集后的废气经过滤器+脉冲清灰真空清扫系统进行清扫，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。掺杂剂为砷的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+高效滤筒（0.35μm）+2级碱喷淋处理；掺杂剂磷的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+水喷淋处理；掺杂剂硼的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+中效滤筒处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。石墨件清理废气采用负压集气，收集后的废气经布袋除尘器处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。酸性废气采用负压集气，收集后的废气经碱洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。碱性废气采用负压集气，收集后的废气经酸洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。薄膜沉积酸性废气采用密闭集气，收集后的废气经燃烧装置燃烧处理后进入水喷淋降温后接入挥发性酸性废气碱洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。有机废气采用负压集气，收集后的废气经活性炭吸附+脱附+催化燃烧处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。使用砷烷产生的外延废气采用负压集气，收集后的废气经干式吸附+水洗塔处理；使用磷烷产生的外延废气采用负压集气，收集后的废气经水洗塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。污泥房、废水收集池、储罐均全封闭，臭气采用负压集气，收集后的臭气经酸洗塔+碱洗塔处理，处理后满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）限值后有组织排放。燃气热水锅炉采用低氮燃烧、烟气再循环工艺，废气满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB14/1929-2019）标准中大气污染物排放限值，NOX同时满足《市关于推进生物质锅炉超低排放改造和燃气锅炉低氮改造的通知》中燃气锅炉限值要求后有组织排放。含铬废水、含铬废水经各自预处理系统进行预处理，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A级标准及中北园区处理厂纳管标准后混合，经含砷、含铬废水管道进入中北园区处理厂处理。酸碱废水、含氟废水、切割废水、氨氮废水、制纯水废水、纯水再生废液和冷却排水经各自处理系统处理后，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）企业废水总排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A级标准及中北园区处理厂纳管标准后混合，经综合废水管道进入中北园区处理厂处理。抛光废水经UF+RO处理后，满足《城市污水再生利用-工业用水水质》（GBT19923-2024）中的间接开式循环冷却水补充水的水质标准后回用于外延尾气处理系统和冷却塔补水。食堂废水经隔油装置处理后和生活污水汇入综合废水处理系统处理。危险废物分类分区暂存于固废站中危废贮存库，定期交由臣功固体废物**公司处置。危险废物贮存、处置等严格执行《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）要求。一般固体废物分类分区暂存于固废站中一般固废贮存库内，定期委外综合利用；不合格产品蚀刻后回用于生产；**填埋场进行安全填埋。生活垃圾由环卫部门定期清运处置。餐厨垃圾集中收集后交由有资质的单位清运处置。运营期产噪设备合理布置，选用低噪声设备，采取隔声、减振、室内安装等综合治理措施，确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的2类标准。
掺杂剂硼石墨清理工序粉尘处理由3套布袋除尘器处理改为2套布袋除尘器处理，处理后通过2根35m排气筒（DA008、DA009）高空排放。变动原因：根据掺杂剂硼石墨清理工序实际建设情况，合理设计后建设，可以满足掺杂剂硼石墨清理工序废气收集、处理需求。本项目锅炉燃料由天然气改为柴油；增加一台切割机，切割废气经除尘后排入厂房无组织排放，不新增污染物排放种类，不新增污染物排放量；掺杂剂硼石墨清理工序粉尘处理由3台除尘器变为2台除尘器，可以满足废气处理需求。不属于重大变动。

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

设置1台燃气备用锅炉；废金刚线交由厂家回收。	设置1台燃油备用锅炉；废金刚线轮交由厂家回收，****回收站。
原环评备用锅炉燃料由天然气改为柴油。变动原因：备用锅炉主要是考虑燃气供应或锅炉故障等突发情况下，能够确保锅炉系统运行，本项目在用锅炉燃料均为天然气，因此将原设计的备用燃气锅炉调整为燃油锅炉，以确保在天然气供应出现突发情况时，锅炉系统可以运行。废金刚线经切割后，线轮可由厂家回收利用，增加一台切割机，切**设备处理后无组织排入厂房内。变动原因：厂家仅回收废线轮，金刚线不进行回收，需切割后将金刚线与线轮分离。线轮由厂家回收利用。**回收站。

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）

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207690	0	207690	207690	/
0	1.2	0	0	/
2.201	2.6	2.201	2.201	/
0.634	2.71	0.634	0.634	/
0.508	1.2	0.508	0.508	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

含铬、含铬废水预处理设施、酸碱废水、含氟废水、切割废水、氨氮废水、制纯水废水、纯水再生废液和冷却排水各自处理系统，抛光回收水处理设施

《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）企业废水总排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A 级标准及中北****园区****处理厂纳管标准

酸碱废水：酸碱废水处理系统，加酸/碱二级中和+缓存处理后排入中北****园区****处理厂。含铬废水：含铬废水处理系统，加酸/碱/还原剂进行还原反应+加酸/碱、CaCl2反应+混凝+絮凝+沉淀+缓存处理后汇入含砷废水处理系统收集，处理后排入中北****园区****处理厂。含氟废水：含氟废水处理系统，PH调节+两级反应+混凝+絮凝+沉淀+放流处理后汇入酸碱缓冲池与其他废水一起混合后排入中北****园区****处理厂。氨氮废水：氨氮废水处理系统，PH调节+2级HEX+2级吹脱塔处理后汇入含氟废水收集池。含砷废水：含砷废水处理系统，PH调节+混凝+絮凝+沉淀+过滤+树脂吸附+放流处理后排入中北****园区****处理厂。切割废水：切割废水处理系统，PH调节+混凝+絮凝+沉淀+PH调节+缓存处理后汇入排入酸碱缓冲池与其他废水一起混合后排入中北****园区****处理厂。抛光废水：经加酸/碱/PAC+过滤+UF+RO处理后抛光废水回收系统回用，部分混入切割废水处理系统。制纯水树脂再生浓水进入除盐系统，处理后排入酸碱废水缓冲池，排入中北****园区****处理厂。制纯水再生其他废水与冷却水系统排水汇入酸碱废水收集池处理后，排入中北****园区****处理厂。

含铬、含铬废水：经各自预处理系统进行预处理，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）车间或生产设施排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A 级标准及中北****园区****处理厂纳管标准后混合，经含砷、含铬废水管道进入中北****园区****处理厂处理。综合废水：酸碱废水、含氟废水、切割废水、氨氮废水、制纯水废水、纯水再生废液和冷却排水经各自处理系统处理后，达到《电子工业水污染物排放标准》（GB39731-2020）企业废水总排放口水污染物排放限值和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A 级标准及中北****园区****处理厂纳管标准后混合，经综合废水管道进入中北****园区****处理厂处理。生活污水：食堂废水经隔油池后，与生活污水经化粪池处理后，满足《污水排入城镇下水道水质标准》（GB31962-2015）A 级标准，经园区生活污水管网，****处理厂处理。

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

含尘废气废气处理设施、酸性废气处理设施、碱性废气废气处理设施、外延废气处理设施、污水处理臭气处理设施

《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）、《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）、《锅炉大气污染物排放标准》（DB14/1929-2019）

原料配料间多晶硅、掺杂剂过筛废气采用负压集气，收集后的废气经过滤器+脉冲清灰真空清扫系统进行清扫，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。掺杂剂为砷的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+高效滤筒（0.35μm）+2级碱喷淋处理；掺杂剂磷的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+水喷淋处理；掺杂剂硼的单晶炉熔料、拉晶、引晶过程抽真空废气采用密闭集气，收集后的废气经工艺集尘罐（10μm）+干式真空泵+中效滤筒处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。石墨件清理废气采用负压集气，收集后的废气经布袋除尘器处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。酸性废气采用负压集气，收集后的废气经碱洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。碱性废气采用负压集气，收集后的废气经酸洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。薄膜沉积酸性废气采用密闭集气，收集后的废气经燃烧装置燃烧处理后进入水喷淋降温后接入挥发性酸性废气碱洗涤塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。有机废气采用负压集气，收集后的废气经活性炭吸附+脱附+催化燃烧处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。使用砷烷产生的外延废气采用负压集气，收集后的废气经干式吸附+水洗塔处理；使用磷烷产生的外延废气采用负压集气，收集后的废气经水洗塔处理，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）标准中大气污染物排放限值后有组织排放。污泥房、废水收集池、储罐均全封闭，臭气采用负压集气，收集后的臭气经酸洗塔+碱洗塔处理，处理后满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）限值后有组织排放。燃气热水锅炉采用低氮燃烧、烟气再循环工艺，废气满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB14/1929-2019）标准中大气污染物排放限值，NOX同时满足《**市关于推进生物质锅炉超低排放改造和燃气锅炉低氮改造的通知》中燃气锅炉限值要求后有组织排放。

1#：配料拆炉废气处理设施出口DA001颗粒物排放浓度1.0L—1.5mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 2#：配料拆炉废气处理设施出口DA002颗粒物排放浓度1.0L—1.5mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 3#：抽真空废气处理设施出口DA003颗粒物排放浓度0.2L，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 4#：抽真空废气处理设施出口DA004颗粒物排放浓度1.0L，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 5#：抽真空废气处理设施出口DA005颗粒物排放浓度1.0L，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 6#：石墨清理废气处理设施出口DA006颗粒物排放浓度1.0L，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 7#：石墨清理废气处理设施出口DA007颗粒物排放浓度1.0L—1.6mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 8#：石墨清理废气处理设施出口DA008颗粒物排放浓度1.0L—2.2mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 9#：石墨清理废气处理设施出口DA009颗粒物排放浓度1.0L，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率100%。 10#：酸洗、清洗废气处理设施出口DA011氟化物、氮氧化物、非甲烷总烃、铬酸雾排放浓度分别为0.06L、3L—4mg/m3、0.42—0.56mg/m3、1.4×10-2—3.0×10-2mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值9mg/m3、240mg/m3、120mg/m3、0.07mg/m3，达标率均为100%。 11#：碱洗、清洗废气处理设施出口DA012氨排放速率为0.00424—0.0565mg/m3，满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中污染物排放标准限值27kg/h(35m高排气筒)，达标率为100%。 12#：酸洗、清洗废气处理设施出口DA013颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、非甲烷总烃、氟化物、氯化氢排放浓度分别为1.0L—2.3mg/m3、3L、3L、0.46—0.54mg/m3、0.50—0.57mg/m3、0.1L—0.16mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3、550mg/m3、240mg/m3、120mg/m3、9mg/m3、100mg/m3，达标率为100%。 13#：酸洗、清洗废气处理设施出口DA014颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、非甲烷总烃、氟化物、氯化氢排放浓度分别为1.0L—3.1mg/m3、3L、3L、0.52—0.62mg/m3、0.50—0.61mg/m3、0.1L—0.16mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3、550mg/m3、240mg/m3、120mg/m3、9mg/m3、100mg/m3，达标率为100%。 14#：碱洗、清洗废气处理设施出口DA015氨排放速率为1.15—1.56kg/h，满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2中污染物排放标准限值27kg/h(35m高排气筒)，达标率为100%。 15#：有机废气处理设施出口DA016非甲烷总烃排放浓度为0.45—0.54mg/m3，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值120mg/m3，达标率为100%。 16#：废水站废气处理设施出口DA017氟化物、臭气浓度、氨、氯化氢排放浓度分别为0.06L、977—1737、1.37—3.31kg/h、0.1L，满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中污染物排放标准限值9mg/m3、15000（无量纲）、20mg/m3、100mg/m3，达标率为100%。 17#：4.2MW燃气热水锅炉烟气排气筒出口DA019颗粒物、二氧化硫、烟气黑度林格曼级排放浓度分别为2.7—4.8mg/m3、<4mg/m3、<1级，满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB14/1929-2019）标准中大气污染物排放限值5mg/m3、35mg/m3、≤1级，NOX排放浓度24-29mg/m3，满足《**市关于推进生物质锅炉超低排放改造和燃气锅炉低氮改造的通知》中燃气锅炉限值要求30mg/m3，达标率为100%。 18#：4.2MW燃气热水锅炉烟气排气筒出口DA019颗粒物、二氧化硫、烟气黑度林格曼级排放浓度分别为1.0L、<4mg/m3、<1级，满足《锅炉大气污染物排放标准》（DB14/1929-2019）标准中大气污染物排放限值5mg/m3、35mg/m3、≤1级，NOX排放浓度22-24mg/m3，满足《**市关于推进生物质锅炉超低排放改造和燃气锅炉低氮改造的通知》中燃气锅炉限值要求30mg/m3，达标率为100%。

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

噪声源主要为风机、水泵、空压机及割断、滚磨机等机械设备噪声

《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）

1.泵类噪声防治措施本项目工业用泵类较多，应该有针对性地采取如下措施降低噪声：（1）泵房做吸声、隔声处理。如利用吸声材料做吸声吊顶，墙体做吸声处理；（2）泵的进出口接管做挠性连接或弹性连接；（3）泵机组做金属弹簧、橡胶减震器等隔振、减振处理。2.风机类噪声防治措施（1）设置隔声罩，但要充分考虑通风散热问题；（2）风机进、出口加设合适型号的消声器；（3）在满足风机特性参数的前提下选用低噪声风机；（4）在满足工艺条件的情况下，尽量配置专用风机房，并采取相应综合治理措施；（5）对震动较大的风机机组的基础采用隔振与减振措施，其管路选用弹性软连接。

本项目厂区1#~3#昼间噪声值53—58dB（A）、夜间噪声值45—47dB（A），噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中2类标准，4#昼间噪声值60—61dB（A）、夜间噪声值49—51dB（A），满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中4类标准。达标率100%

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

采取分区防渗措施，事故水厂、废水收集提升站、垃圾堆存处、污水管沟、固废站、拉晶厂房、切磨抛厂房、动力站室外充装区、仓库、甲类库、初期雨水收集池、污水站、污水管沟等进行重点防渗，渗透系数不大于1×10-12cm/s；其他生产区域进行一般防渗，渗透系数不大于1×10-7cm/s；厂区地面等划为简单防渗区。

采取了分区防渗措施，事故水厂、废水收集提升站、垃圾堆存处、污水管沟、固废站、拉晶厂房、切磨抛厂房、动力站室外充装区、仓库、甲类库、初期雨水收集池、污水站、污水管沟等进行重点防渗，渗透系数不大于1×10-12cm/s；其他生产区域进行一般防渗，渗透系数不大于1×10-7cm/s；厂区地面等划为简单防渗区。。1#厂区下游南侧1个地下水监测点位进行了监测，各监测点位中各监测因子均满足《地下水质量标准》（GB/T14848-2017）中Ⅲ类标准。达标率100%。

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

生活垃圾厂区设有垃圾箱收集后定期清运至环卫部门指定地点处理；一般工业固废分类分区暂存于一般固废贮存库内，定期委外综合利用；危险废物分类分区暂存于危废贮存库，定期交由有资质单位处置

（1）一般工业固体废物一般固体废物包括：（1）拉晶单晶炉产生的废石英坩埚、废石墨件、废锅底料；（2）截断、线切割产生的废金刚线、废钢线；（3）检验产生的不合格产品；（4）纯水制备产生的废反渗透膜、树脂；（5）环保设备产生的除尘粉尘（不含砷）、废除尘器滤料（不含砷）；（6）线切割产生的废砂浆、废树脂板（不含砷）、废过滤袋（不含砷）；（7）外延式炉擦拭、拉晶产生的废无尘布（不含砷）；（8）切割、倒角、沿磨产生的废砂轮磨轮；（9）抛光产生的废抛光垫、废底吸盘；（10）废水处理产生的杂盐。上述固废分类分区在一般固废贮存库内。其中不合格产品蚀刻后回用于生产；****填埋场进行安全填埋。其余固废委托综合利用。（2）危险废物项目产生的危险固废包括1）环保设备产生的除尘粉尘（含硅、砷）、废滤料（含硅、砷），废活性炭；2）设备检修产生的废矿物油、设备废油桶，变压油产生的废矿物油；3）化学品、原辅料包装产生的废塑料桶、玻璃瓶；4）蚀刻检验产生的混酸废液；5）污水处理产生的含铬污泥、含砷污泥、多介质过滤器滤料、除氟树脂、废水站离子交换树脂；6）线切割产生的含砷废砂浆、含砷废树脂；7）线切割清洗产生的含砷废树脂；8）外延炉擦拭、拉晶产生的含砷无尘布；9）拉晶产生的含砷废石英坩埚、废锅底料；10）检验产生的仪器仪表试剂、汞废液；11）变电站产生的废铅酸电池；12）废UV灯管；13）废硒鼓墨盒；14）废药物、废药品；15）含铬废液。上述固废分类分区在危险贮存库内暂存。定期交由**臣功固体废物****公司处置。（3）生活垃圾厂区设带盖垃圾桶分类收集，定期由环卫部门统一清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

严格落实各项环境风险防控措施，制定突发环境事件应急预案，定期开展演练。

严格落实了各项环境风险防控措施，制定了突发环境事件应急预案，定期开展演练。

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程