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面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目单片式湿法去胶机采购项目撤项公告

上海 -上海

发布时间： 2026年02月05日

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传感器集成工艺平台薄膜

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招标项目编号：****

项目名称：面向智能传感器的MEMS异质异构集成共性工艺平台项目VOX氧化钒薄膜溅射沉积设备采购项目单片式湿法去胶机采购项目

招标人：****

招标机构：****公司

招标方式：公开招标

招标结果：撤项

招标进度跟踪

2026-02-05

废标公告

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