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高端晶圆处理设备及核心零部件研发及产业化项目
项目详情
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400-688-2000
1、建设项目基本信息
企业基本信息
| **** | 建设单位代码类型：|
| ****0112MACW6YHYXN | 建设单位法人：王绍勇 |
| 李季春 | 建设单位所在行政区划：**省**市**区 |
| **市**区东众路42号中****创业园B4栋 |
建设项目基本信息
| 高端晶圆处理设备及核心零部件研发及产业化项目 | 项目代码：**** |
| 建设性质： | |
| 2021版本:069-锅炉及原动设备制造；金属加工机械制造；物料搬运设备制造；泵、阀门、压缩机及类似机械制造；轴承、齿轮和传动部件制造；烘炉、风机、包装等设备制造；文化、办公用机械制造；通用零部件制造；其他通用设备制造业 | 行业类别（国民经济代码）：C3441-C3441-泵及真空设备制造 |
| 建设地点： | ******区 ******区 |
| 经度:23.140556 纬度: 113.500278 | ****机关：**市******管理局****审批局） |
| 环评批复时间： | 2024-10-28 |
| 穗开审批环评〔2024〕154号 | 本工程排污许可证编号：****0112MACW6YHYXN001Z |
| 2024-11-08 | 项目实际总投资(万元)：12000 |
| 50 | 运营单位名称：**** |
| ****0112MACWGYHYXN | 验收监测(调查)报告编制机构名称：******公司 |
| ****0101MA59QMGK1Y | 验收监测单位：公用环境****公司 |
| ****0101MA5AXC8GXD | 竣工时间：2025-08-31 |
| 2025-09-01 | 调试结束时间：2025-12-31 |
| 2026-01-05 | 验收报告公开结束时间：2026-01-30 |
| 验收报告公开载体： | http://m.kelvhuanbao.com/huanjinggongshi/2026/0202/440.html |
2、工程变动信息
项目性质
| 项目为**项目 | 实际建设情况：项目为**项目 |
| 不涉及变动 | 是否属于重大变动：|
规模
| 年研发光刻胶泵60台、高纯供液系统50台、划片机2台，达产后年产光刻胶泵6000台、高纯供液系统5000台、划片机10台 | 实际建设情况：年研发光刻胶泵60台、高纯供液系统50台、划片机2台，达产后年产光刻胶泵6000台、高纯供液系统5000台、划片机10台 |
| 不涉及变动 | 是否属于重大变动：|
生产工艺
| （1）光刻胶泵、高纯供液系统的研发工艺流程：设计、供应商打样/来料、装配调试、检验。 （2）光刻胶泵、高纯供液系统的生产工艺流程：零件采买、来料检验、部件装配、部件检验、成品装配、成品检验、包装发运。 （3）划片机的研发工艺流程：设计、供应商打样/来料、装配调试、检验。 （4）划片机的生产工艺流程：零件采买、来料检验、单元装调、单元检验、整机装调、整机检验、包装发运。 | 实际建设情况：（1）光刻胶泵、高纯供液系统的研发工艺流程：设计、供应商打样/来料、装配调试、检验。 （2）光刻胶泵、高纯供液系统的生产工艺流程：零件采买、来料检验、部件装配、部件检验、成品装配、成品检验、包装发运。 （3）划片机的研发工艺流程：设计、供应商打样/来料、装配调试、检验。 （4）划片机的生产工艺流程：零件采买、来料检验、单元装调、单元检验、整机装调、整机检验、包装发运。 |
| 不涉及变动 | 是否属于重大变动：|
环保设施或环保措施
| 1、废水：生活污水经三级化粪池处理达到**省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准后，排入市政污水管网由**水质净化厂集中处理。 2、废气：生产研发过程中产生的焊接烟尘（颗粒物、锡及其化合物）、有机废气（非甲烷总烃、TVOC）集中收集经“过滤棉+二级活性炭”处理，其中颗粒物、锡及其化合物应达到**省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段二级标准，非甲烷总烃、TVOC应达到**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)中表1挥发性有机物排放限值后引至排气筒(气-01)高空排放，排气口高度不低于15 米。各排气简应按有关环境监测规范要求设置取样孔及取样平台，以便环境监测部门进行取样监测。 3、噪声：应对声源设备进行合理布设，同时采取隔声、降噪、防振等措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准。 4、固废：①研发生产废液、废弃无尘布、废原料容器、废过滤棉、废活性炭等属《国家危险废物名录》中的废物，应按有关规定进行收集，委托具有相应危险废物经营许可证资质的单位进行集中处理。按时完成年度固体废物申报登记。危险废物暂存场应按照国家《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求进行设置。②废包装材料、废五金材料、废塑料件、废电器电子材料等属于一般工业固废，应委托有相应经营****公司回收或处理。③办公生活垃圾应按环卫部门的规定实行分类收集和处理。 | 实际建设情况：1、废水：生活污水经三级化粪池预处理达到**省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准后，排入市政污水管网由**水质净化厂集中处理。 2、废气：项目生产研发过程中产生的焊接烟尘（颗粒物、锡及其化合物）、有机废气（非甲烷总烃、TVOC）集中收集经“过滤棉+二级活性炭”处理由一根25m高排气筒（气-01）高空排放。经处理后，本项目气-01排气筒中颗粒物、锡及其化合物有组织排放满足**省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中第二时段二级标准，VOCs、非甲烷总烃有组织排放满足**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1挥发性有机物排放限值。 3、噪声：本项目选用低噪声设备，优化布局，同时采取隔声、降噪、防振等措施，厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。 4、固废：按要求加强固体废物和危险废物的存储管理，设置专门的一般固废暂存区及危废暂存间。本项目生活垃圾交由环卫部门清运处理。废包装材料、废五金材料/塑料件、废电器电子材料属于一般固废，交由交由相关回收单位回收处理。研发生产废液、废弃无尘布、废原料容器、废过滤棉、废活性炭等属于危险废物，妥善收集后交由危废资质单位处理，已签订危废合同。 |
| 不涉及变动 | 是否属于重大变动：|
其他
| 1、应设专职人员负责该项目的环境管理工作，建立健全环境管理制度，杜绝污染物超标排放；对物品在运输、存放、使用等全过程进行有效管理，并应采取有效措施防范和应对环境污染事故发生；妥善处置固体废物并承担监督责任，防止造成二次污染。 2、应按《关于印发**省污染源排污口规范化设置导则的通知》（粤环（2008）42号）要求设置排污口。 | 实际建设情况：1、本项目已设专职人员负责项目的环境管理工作，建立健全环境管理制度，防治污染物超标排放，对物品在运输、存放、使用等全过程均进行有效管理，并采取相关有效措施防范和应对环境污染事故发生，妥善处置固废并承担监督责任。 2、已按照要求做好排污口规范化工作。 |
| 不涉及变动 | 是否属于重大变动：|
3、污染物排放量
| 0 | 0.09 | 0 | 0 | 0 | 0.09 | 0.09 | |
| 0 | 0.1548 | 0 | 0 | 0 | 0.155 | 0.155 | |
| 0 | 0.0083 | 0 | 0 | 0 | 0.008 | 0.008 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |
| 0 | 432 | 0 | 0 | 0 | 432 | 432 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | / |
| 0 | 0.0708 | 0 | 0 | 0 | 0.071 | 0.071 | / |
4、环境保护设施落实情况
表1 水污染治理设施
| 1 | 三级化粪池 | **省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准 | 生活污水经三级化粪池预处理达到**省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准后，排入市政污水管网由**水质净化厂集中处理。 | 对本项目三级化粪池处理后采样口进行了监测 |
表2 大气污染治理设施
| 1 | 过滤棉+二级活性炭吸附装置 | **省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中第二时段二级标准；**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1挥发性有机物排放限值 | 项目生产研发过程中产生的焊接烟尘（颗粒物、锡及其化合物）、有机废气（非甲烷总烃、TVOC）集中收集经“过滤棉+二级活性炭”处理由一根25m高排气筒（气-01）高空排放。经处理后，本项目气-01排气筒中颗粒物、锡及其化合物有组织排放满足**省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中第二时段二级标准，VOCs、非甲烷总烃有组织排放满足**省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1挥发性有机物排放限值 | 对废气处理设施“过滤棉+二级活性炭吸附装置”处理前及处理后采样口进行了监测 |
表3 噪声治理设施
| 1 | 隔声降噪措施 | 《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准 | 选用低噪声设备，优化布局，同时采取隔声、降噪、防振等措施，厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准。 | 对本项目厂界噪声进行了监测 |
表4 地下水污染治理设施
表5 固废治理设施
| 1 | 1.研发生产废液、废弃无尘布、废原料容器、废过滤棉、废活性炭等属《国家危险废物名录》中的废物，应按有关规定进行收集，委托具有相应危险废物经营许可证资质的单位进行集中处理。按时完成年度固体废物申报登记。危险废物暂存场应按照国家《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2023)的要求进行设置。 2.废包装材料、废五金材料、废塑料件、废电器电子材料等属于一般工业固废，应委托有相应经营****公司回收或处理。 3.办公生活垃圾应按环卫部门的规定实行分类收集和处理。 | 已落实。 按要求加强固体废物和危险废物的存储管理，设置专门的一般固废暂存区及危废暂存间。本项目生活垃圾交由环卫部门清运处理。废包装材料、废五金材料/塑料件、废电器电子材料属于一般固废，交由交由相关回收单位回收处理。研发生产废液、废弃无尘布、废原料容器、废过滤棉、废活性炭等属于危险废物，妥善收集后交由危废资质单位处理，已签订危废合同。 |
表6 生态保护设施
表7 风险设施
5、环境保护对策措施落实情况
依托工程
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
| / |
环保搬迁
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
| / |
区域削减
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
| / |
生态恢复、补偿或管理
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
| / |
功能置换
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
| / |
其他
| 不涉及 | 验收阶段落实情况：不涉及 |
| / |
6、工程建设对项目周边环境的影响
| / |
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7、验收结论
| 1 | 未按环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定要求建设或落实环境保护设施，或者环境保护设施未能与主体工程同时投产使用 |
| 2 | 污染物排放不符合国家和地方相关标准、环境影响报告书（表）及其审批部门审批决定或者主要污染物总量指标控制要求 |
| 3 | 环境影响报告书（表）经批准后，该建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，建设单位未重新报批环境影响报告书（表）或环境影响报告书（表）未经批准 |
| 4 | 建设过程中造成重大环境污染未治理完成，或者造成重大生态破坏未恢复 |
| 5 | 纳入排污许可管理的建设项目，无证排污或不按证排污 |
| 6 | 分期建设、分期投入生产或者使用的建设项目，其环境保护设施防治环境污染和生态破坏的能力不能满足主体工程需要 |
| 7 | 建设单位因该建设项目违反国家和地方环境保护法律法规受到处罚，被责令改正，尚未改正完成 |
| 8 | 验收报告的基础资料数据明显不实，内容存在重大缺项、遗漏，或者验收结论不明确、不合理 |
| 9 | 其他环境保护法律法规规章等规定不得通过环境保护验收 |
| 不存在上述情况 | |
| 验收结论 | 合格 |
温馨提示
1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。
2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。
3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。
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