快速退火炉

发布时间: 2026年02月06日
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zycgr240****12026年4至5月政府采购意向-快速退火炉 详细情况
快速退火炉
项目所在采购意向: zycgr240****12026年4至5月政府采购意向
采购单位: zycgr****1501
采购项目名称: 快速退火炉
预算金额: 100.000000万元(人民币)
采购品目:
A****2001-工业电热设备(电炉)
采购需求概况 :
1.支持最大200mm(8英寸)晶圆。 2.最快升温速率100度/秒。 3.双红外灯管加热(2*21kW),顶部和底部双层加热设计。 4.最快降温速率T=1000 °C>400 °C 200 K/min,T= 400 °C>150 °C 30 K/min。 5.最高真空度 10-3 hPa (泵和真空计另配)。
预计采购时间: 2026-04
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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