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| 快速退火炉 | |
| 项目所在采购意向: | zycgr240****12026年4至5月政府采购意向 |
| 采购单位: | zycgr****1501 |
| 采购项目名称: | 快速退火炉 |
| 预算金额: | 100.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****2001-工业电热设备(电炉)
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| 采购需求概况 : |
1.支持最大200mm(8英寸)晶圆。 2.最快升温速率100度/秒。 3.双红外灯管加热(2*21kW),顶部和底部双层加热设计。 4.最快降温速率T=1000 °C>400 °C 200 K/min,T= 400 °C>150 °C 30 K/min。 5.最高真空度 10-3 hPa (泵和真空计另配)。
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| 预计采购时间: | 2026-04 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写