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中国科学院上海微系统与信息技术研究所2026年3至4月政府采购意向
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政府采购意向公告
****2026年3至4月政府采购意向
为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2026年3至4月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | **** | 晶圆激光解键合机 | A****0503 | 780.000000 | 2026年03月 | ||
| 2 | **** | 晶圆临时键合机 | A****0503 | 1150.000000 | 2026年03月 | ||
| 3 | **** | 晶圆光刻机 | A****0503 | 1300.000000 | 2026年03月 | ||
| 4 | **** | 晶圆涂胶显影机 | A****0503 | 600.000000 | 2026年03月 | ||
| 5 | **** | 磁控溅射PVD | A****0503 | 2750.000000 | 2026年03月 | ||
| 6 | **** | 高温管式炉 | A****0503 | 380.000000 | 2026年03月 | ||
| 7 | **** | 等离子去胶机 | A****0503 | 400.000000 | 2026年03月 | ||
| 8 | **** | 晶圆干法深硅刻蚀机 | A****0503 | 900.000000 | 2026年03月 | ||
| 9 | **** | 等离子体增强化学沉积 | A****0503 | 2750.000000 | 2026年04月 | ||
| 10 | **** | 晶圆清洗机 | A****0503 | 883.000000 | 2026年04月 | ||
| 11 | **** | 晶圆化学机械抛光机 | A****0503 | 900.000000 | 2026年04月 | ||
| 12 | **** | 镀层厚度测试仪（Ag含量测试仪） | A****0503 | 139.000000 | 2026年04月 | ||
| 13 | **** | 晶圆边缘切削机 | A****0503 | 98.000000 | 2026年04月 | ||
| 14 | **** | 晶圆贴片机（C2W） | A****0503 | 491.000000 | 2026年04月 | ||
| 15 | **** | 底填胶机台 | A****0503 | 140.000000 | 2026年04月 | ||
| 16 | **** | 真空压膜机 | A****0503 | 395.000000 | 2026年04月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026-02-06
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