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西安文理学院（本级）2026年02月至2026年04月政府采购意向
招标详情
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为便****政府采购信息，根据《****政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将****2026年度（第52批）采购意向公开如下：
| 1 | ****学院****学院实验室建设项目-**省表面****实验室平台强化项目 |
采购内容：双腔室高真空等离子体ALD设备
采购数量：1项
主要功能或目标：（1）极限真空度更高（如≤10 Pa），腔室材质与密封性更优，极大降低杂质背景（2）配备射频/ICP等更高能量、更稳定的高级等离子体源，功率、脉冲时序可精细调控，（3）样品台温控范围更宽、精度更高（如-150℃至600℃） （4）可能配备多位置样品台或传输机构，提升实验通量和效率。 （5）预留石英晶体微天平、原位椭圆偏振仪、（6）前驱体管路和腔室材料兼容高活性、液态或固态前驱体
需满足的要求：（）可实现超导类薄膜、半导体类薄膜制备，（2）高真空HV腔体 2个腔室， （3）工艺腔极限真空 Ultimate Pressure <5E-7Torr （4）等离子体 Plasma 最大600W RF自匹配电源 （5）最大基板尺寸Max Wafer Size Ф200mm，氧化铝均匀性<1% （6）高精准样品加热控制 （7）前驱体 Max Precursor （8）臭氧发生器Ozone Gener
|
200.000000 | 2026年04月 | 无 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026年02月06日
招标进度跟踪
2026-02-06
招标预告
西安文理学院（本级）2026年02月至2026年04月政府采购意向
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