4英寸晶圆级硅基兼容多元复杂氧化物外延系统

发布时间: 2026年02月06日
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****2026年3月政府采购意向-4英寸晶圆级硅基兼容多元复杂氧化物外延系统 详细情况
4英寸晶圆级硅基兼容多元复杂氧化物外延系统
项目所在采购意向: ****2026年3月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 4英寸晶圆级硅基兼容多元复杂氧化物外延系统
预算金额: 1799.480000万元(人民币)
采购品目:
A032103电子工业专用生产设备
采购需求概况 :
主要功能:实现晶圆级高质量功能薄膜外延生长,控制薄膜厚度、成分与掺杂,实现一致的晶体取向与均匀性。具体包括多元复杂氧化物分子束外延设备、多元复杂氧化物分子束外延预处理设备、4英寸脉冲激光沉积设备。数量:一套 具体要求详见采购文件。供货期:签订合同之日起,240个日历日货到采购人指定地点并安装验收完毕。(包括供货,安装,调试,验收合格所需时间)。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 标书代写
预计采购时间: 2026-03
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2026-02-06
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