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西安文理学院机械与材料工程学院实验室建设项目-陕西省表面工程与再制造重点实验室平台强化项目
招标详情
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****（本级）2026年02月至2026年04月政府采购意向-********学院实验室建设项目-**省表面****实验室平台强化项目 详细情况
| ********学院实验室建设项目-**省表面****实验室平台强化项目 | |
| 项目所在采购意向： | ****（本级）2026年02月至2026年04月政府采购意向 |
| 采购单位： | ****（本级） |
| 采购项目名称： | ********学院实验室建设项目-**省表面****实验室平台强化项目 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
采购内容:双腔室高真空等离子体ALD设备 采购数量:1.0000项 主要功能或目标:（1）极限真空度更高（如≤10 Pa），腔室材质与密封性更优，极大降低杂质背景（2）配备射频/ICP等更高能量、更稳定的高级等离子体源，功率、脉冲时序可精细调控，（3）样品台温控范围更宽、精度更高（如-150℃至600℃） （4）可能配备多位置样品台或传输机构，提升实验通量和效率。 （5）预留石英晶体微天平、原位椭圆偏振仪、（6）前驱体管路和腔室材料兼容高活性、液态或固态前驱体 需满足的要求:（）可实现超导类薄膜、半导体类薄膜制备，（2）高真空HV腔体 2个腔室， （3）工艺腔极限真空 Ultimate Pressure <5E-7Torr （4）等离子体 Plasma 最大600W RF自匹配电源 （5）最大基板尺寸Max Wafer Size Ф200mm，氧化铝均匀性<1% （6）高精准样品加热控制 （7）前驱体 Max Precursor （8）臭氧发生器Ozone Gener
|
| 预计采购时间： | 2026-04 |
| 备注： |
无
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-02-06
招标预告
西安文理学院机械与材料工程学院实验室建设项目-陕西省表面工程与再制造重点实验室平台强化项目
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