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半导体激光器产业化升级改造项目环境影响报告表

审批

山东-青岛-黄岛区

发布时间： 2026年02月07日

项目详情

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[**] 半导体激光器产业化升级改造项目环境影响报告表

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根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我局共受理1个建设项目环境影响评价文件。现将受理情况予以公示，

公示期：从即日起，报告书为10个工作日，报告表为5个工作日。

联系电话： 0532-****0169 通讯地址： **市**区**南路17号邮政编码： 266000

项目名称：半导体激光器产业化升级改造项目环境影响报告表

建设地点：辛安街道前湾港路218号海信信息产业园

建设单位：****

建设内容：位于 1 号厂房 1 层东北部，总建筑面积约 4749m2，北部主要是超纯水制备间、MOCVD 外延室等，**主要是刻蚀室、薄膜沉积区、黄光室、湿法刻蚀室、曝光室、干法刻蚀室、研磨抛光室、划片裂片分选区、镀膜区等，其中为黄光室、曝光室为千级（ISO 6 级）、超洁净车间，其他区域为万级（ISO 7 级）超洁净车间。现有激光器芯片生产线在此车间内运行，在现有生产工艺流程的基础上新增 PECVD 沉积 SiNx:H 薄膜，ICP刻蚀光栅，湿法腐蚀半导体，氢氟酸腐蚀 SiNx:H 薄膜，湿法镀金，蒸发镀钛金，腐蚀 Au、Ti、SiO2/SiNx:H 薄膜，溅射镀膜以及退镀液退镀工序，增加金属有机化合物气相外延设备 MOCVD、反应离子刻蚀机 RIE、蒸发镀膜机、去胶剥离机等现有设备工作时长，新增等离子体增强化学气相沉积设备PECVD、反应离子刻蚀机 ICP、反应离子刻蚀机 RIE 等生产设备。

环评单位：****

受理单位：****环境局

温馨提示

1.该项目指提供国家及各省发改委、环保局、规划局、住建委等部门进行的项目审批信息及进展，属于前期项目。

2.根据该项目的描述，可依据自身条件进行选择和跟进，避免错过。

3.即使该项目已建设完毕或暂缓建设，也可继续跟踪，项目可能还有其他相关后续工程与服务。

400-688-2000

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