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原子层沉积机（HITSZWJ260002）采购公告

公告-招标公告

广东 -深圳

发布时间： 2026年02月09日

摘要信息

招标单位

招标编号

招标估价

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招标代理机构

代理联系人

报名截止时间

投标截止时间

关键信息

IT 采购公告

招标详情

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项目名称项目编号公告开始日期公告截止日期采购单位付款方式联系人联系电话签约时间要求到货时间要求预算总价发票要求含税要求送货要求安装要求收货地址供应商资质要求公告说明

原子层沉积机	****
2026-02-09 08:37:42	2026-02-13 10:00:00
**（）	预付款70%，到货验收后尾款30%

	签约后180个日历日内
￥700000.00




**（）理学楼
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

原子层沉积设备

台

其他机械设备

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

**科民****公司

TALD-100

￥ 700000.00

1. 腔室：独立的内外嵌套双腔结构，内腔安装在外腔内； 2. 外腔：真空加热腔，对整个内腔进行加热，外层设置有水冷循环装置；内侧设有多层热反射装置，提高内腔升温效率，外腔设置有维护口，方便打开维护； 3. 内腔：可拆卸内反应腔，负责工艺执行。需要维护时，可直接将整个内腔取下更换维护。压差自压合机构可使内腔腔盖与内腔腔体自动压合密封； 4. 内腔最大可放置直径4英寸晶圆，向下兼容，标配两套内腔，高温、低温、特殊工艺内腔可选； 5. 反应温度：最高450℃（低温内腔250℃），1套低温工艺内腔50-250℃；1套高温工艺内腔100-450℃，可自由搭配，温度控制精度±1℃； 6. 4路标准加热液态前驱体源，配置高温快速ALD阀（响应时间＜15ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶，源瓶及管路加热温度RT-200℃，控制精度±1℃； 7. 1路常温源，配置快速ALD阀（响应时间＜15ms）、手动阀、50ml不锈钢源瓶； 8. 预留：预留1个臭氧接口； 9. 在 4 英寸硅晶圆上以厂家提供的工艺配方沉积 300 循环氧化钛，以晶圆上至少9个均匀分散点进行膜厚测试，膜厚非均匀性≤±5%为合格；；

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附件下载:标书代写网上竞价需求书附件-技术指标.docx

附件下载:标书代写附件2：竞价应答文件（供应商填写）.docx

附件下载:标书代写附件3：项目联系方式.docx

附件（4）