[安徽] 合肥升滕半导体技术有限公司半导体设备部件精密洗净再生项目竣工环境保护验收报告

2026年2月9日，****半导体设备部件精密洗净再生项目竣工环境保护验收监测报告表，严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、项目环境影响报告表和审批部门审批决定等要求对本项目工程进行验收，提出意见如下：

一、工程建设基本情况

（一）建设地点、规模、主要建设内容

****半导体设备部件精密洗净再生项目位于**市****开发区新**路与谷河路**佳海工业城G区33号，依托现有厂房进行生产，项目投资200万元，验收后可年产半导体设备的不锈钢件、石墨件、铝件等部件的维修制造产品1.05万件。

（二）建设过程及环保审批情况

2024年2月27日，****半导体设备部件精密洗净再生项目于经**合****发展局备案，项目代码：****。****于2024年4月委托****编制《半导体设备部件精密洗净再生项目环境影响报告表》；2024年4月26日取得了由**市****开发区****分局《关于****半导体设备部件精密洗净再生项目环境影响报告表审批意见的函》（环建审[2024]12020号）。项目于2024年5月开工建设，2025年5月完成建设，与项目生产线配套的环境保护设施也同期建设完成，并开始调试，具备环境保护设施竣工验收条件。

（三）投资情况

项目阶段性总投资200万元，其中环保投资15万元。

（四）验收范围

本次验收为整体验收，验收范围主要为年新增半导体设备的不锈钢件、石墨件、铝件等部件的维修制造产品1.05万件的生产能力及其配套设施。

二、工程变动情况

根据《中华人民**国环境影响评价法》和《建设项目环境保护管理条例》中的有关规定，本项目性质、规模、地点、生产工艺、环保处理措施等均未发生重大变动。

三、环境保护设施建设情况

（一）废水

项目区排水采用雨、污分流制。厂区雨水直接排入市政雨水管网；本项目主要为职工生活污水、研磨废水以及纯水制备浓水，研磨废水经三级沉淀后回用，生活污水经化粪池处理后汇同纯水制备浓水一同排入市政污****处理厂处理后排至二十埠河。

（二）废气

本项目主要产生废气为砂磨废气。

砂磨工序产生的颗粒物经密闭收集由覆膜滤筒除尘器+水喷淋处理，处理后通过1根18m高的排气筒（DA009）排放，收集效率100%，覆膜滤筒除尘器处理效率约为99.9%，水喷淋处理效率为50%。

（三）噪声

本项目噪声主要来源于生产设备的运行噪声，主要设备包括各类砂磨机、超声波清洗机等，噪声源强约为75～90dB（A）之间。优选低噪声设备、加强设备维护、基础减振等。项目区厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类标准。

（四）固废

本项目产生的固体废物分为危险废物、一般固体废物。根据《国家危险废物名录》（2021版）中有关分类，本项目产生的危险废物主要包括废白刚玉、废包装桶、废无尘纸、浸泡槽更换废液、研磨槽更换废液（研磨废水部分回用，其余作危废处置）、超声波清洗槽更换废液、研磨沉渣、水喷淋更换废液、滤袋收集粉尘、废滤袋、废乳胶手套，暂存一层西南侧危废暂存间，定期交由有资质单位处置。一般固废为废白刚玉袋，收集后定期交由物资回收单位回收。生活垃圾统一收集后由市政环卫部门定期清运。

（五）其他环境保护措施

企业无环境防护距离要求。

****于2022年3月3日取的**排污许可证（重点管理），****0100MA2U38049K001P；已经于2025年5月29号申请变更通过。****于2026年2月5日针对本项目应急预案重新修编。项目应急预案备案编号为：340163-2024-031-M。

四、环境保护设施调试效果

（一）污染物达标排放情况

根据******公司出具检测报告，本项目污染物排放达标情况如下：

1、废水

项目区总排口两日废水监测浓度平均****处理厂接管要求及《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准限值。

2、废气

9#排气筒出口有组织颗粒物最大浓度为2.2mg/m3，小于标准排放限值120mg/m3；砷及其化合物最大浓度<0. 1mg/m3，小于标准排放限值0.5mg/m3；废气颗粒物满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2新污染源大气污染物排放限值。砷及其化合物满足**市《大气污染物综合排放标准》（DB31/933-2015）表1标准限值。

3、噪声

本项目厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》3类噪声标准限值。

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2026年2月9日