真空非晶原子团簇筛选与组装系统采购项目的采购结果公告

名次

供应商名称

投标报价（元）

总得分

第一名

****

****800.00

99.80

第二名

****公司

****000.00

74.34

第三名

******公司

****000.00

72.39

货物名称

货物品牌及型号

数量及单位

单价（元）

交货期

多元沉积系统

扩维原子；原子气源生成原子团簇、磁控溅射、三个磁控溅射直线驱动系统、一套RF 射频溅射电源300W、两套直流溅射电源500W

1套

105,120.00

合同签订后210个日历日内

气相凝聚系统

扩维原子；圆柱尖锥型冷凝腔体、旁抽阻断阀、公称直径DN25、控制主腔室与冷凝腔室气路通断

1套

196,480.00

系统维护窗口

扩维原子；Skimmer观察窗，DN150、观察视窗、液氮进出管道、脂润滑分子泵 DN200、可调喷嘴:调节范围1mm～10mm、Skimmer 组件

1套

25,000.00

独立观察窗

扩维原子；DN16观察视窗

1套

4,000.00

真空系统

扩维原子；圆柱形真空主腔体全金属密封

1套

40,000.00

超声膨胀束流沉积系统

扩维原子；真空主腔体 DN100、2英寸束流收集样品台、2英寸XYZ 束流沉积移动控制系统、磁悬浮分子泵、CCQ100 插板阀充气阀、可根据需求选择气体快开沉积腔观察窗

1套

234,440.00

加速器系统

扩维原子；离子光学透镜、圆柱形真空主腔体、脂润滑分子泵、系统维护窗口 DN150、离子光学与质量选择转换法兰

1套

137,240.00

离子光学束流沉积系统

扩维原子；真空主腔体 DN63、1英寸束流收集样品台、1英寸XYZ 束流沉积移动控制系统、磁悬浮分子泵、CCQ63 插板阀充气阀、可根据需求选择气体快开沉积腔观察窗

1套

207,440.00

分离系统

扩维原子；真空主腔体 DN300、横向TOF 分辨率=M/dM>20，选择范围=30amu-无上限、终端束流:白束束流强度>1nA;选择束流强度>60PA、脂润滑分子泵 DN150、高压脉冲电源

1套

533,600.00

沉积系统

扩维原子；双通道再聚焦离子光学透镜、CCQ63 插板阀2个、快开沉积腔观察窗、脂润滑分子泵 DN150、充气阀、竖直线性驱动系统、束流收集样品台

1套

195,560.00

电气与控制系统

扩维原子；多路高压阵列电源(16路)、真空规、复合真空规、真空电极，电极法兰、皮安表及其辅助电源、工控计算机及控制软件

1套

710,600.00

其他

扩维原子；循环水冷却机、气体质量流量计、干式真空泵(涡旋)、手动挡板阀、定制框架标准组装件电柜、控制柜

1套

326,320.00