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苏州协鑫光伏科技有限公司高效能大尺寸超薄单晶硅片产业化项目第一阶段

审批

江苏-苏州-虎丘区

发布时间： 2026年02月11日

项目详情

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1、建设项目基本信息

企业基本信息

建设单位名称：建设单位代码类型：建设单位机构代码：建设单位法人：建设单位联系人：建设单位所在行政区划：建设单位详细地址：

****
913********6682216	瞿述良
刘宏远	省市****开发区
省市高新区五**路169号

建设项目基本信息

项目名称：项目代码：项目类型：建设性质：行业类别（分类管理名录）：行业类别（国民经济代码）：工程性质：建设地点：中心坐标： ****机关：环评文件类型：环评批复时间：环评审批文号：本工程排污许可证编号：排污许可批准时间：项目实际总投资(万元)：项目实际环保投资(万元)：运营单位名称：运营单位组织机构代码：验收监测(调查)报告编制机构名称：验收监测(调查)报告编制机构代码：验收监测单位：验收监测单位组织机构代码：竣工时间：调试起始时间：调试结束时间：验收报告公开起始时间：验收报告公开结束时间：验收报告公开形式：验收报告公开载体：

****高效能大尺寸超薄单晶硅片产业化项目第一阶段

2021版本:081-电子元件及电子专用材料制造	C3985-C3985-电子专用材料制造
	省市**开发区五路169号
经度:120.42479 纬度: 31.371369	****环境局
	2023-07-25
苏环建（2023）05第0166号	****
2019-09-04	21750
100	******公司
913********608162R	****
913********6682216	创盛**公司
913********9873732	2024-11-11

2026-01-12	2026-02-06
	https://gongshi.****.com/h5public-detail?id=497160

2、工程变动信息

项目性质

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

改建项目，年产硅片（182~210mm）：30.07亿片	此为一阶段验收，改建项目，年产硅片（182~210mm）：10亿片
无

规模

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

年产硅片（182~210mm）：30.07亿片	年产硅片（182~210mm）：10亿片
无

生产工艺

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

酒精擦拭：原料硅棒和塑料板粘结的接触面需使用酒精擦洗保持洁净；该过程产生有机废气 G1-1和废抹布 S1-1；胶纸固定：使用胶纸围住原料接触面四周，以防后续粘结的胶水溢出，该过程产生废胶纸 S1-2和废胶桶 S1-3；粘结固定：硅片切割前需要使用胶粘剂将硅锭和塑料板粘结在一起，再使用胶粘剂将塑料板与铁板粘结在一起，以固定硅锭在切割机上的切割位置。该粘结过程胶粘剂少量挥发产生有机废气 G1-2（以非甲烷总烃计），同时产生废树脂胶S1-4、废胶桶 S1-5；切片：切割过程在密闭条件下进行。金刚线的表面附着有金刚石颗粒，金刚石的莫氏硬度为10，硅的莫氏硬度为 6，因此，金刚线容易对原料进行切割。切割深度控制在原料+塑料板的厚度，不切到晶托。切割过程中辅以纯水调配的切割液来冷却金刚线对原料摩擦过程中产生的热量，切割液与纯水以1:100比例配置，切割过程中使用在线处理装置（压滤）去除切割液中的碎硅片和硅粉后（在切片机内进行过滤，过滤后产生的浓水通过压滤机进行压滤，可循环使用，每天排放一部分即可，该过程产生有机废气 G1-3、切片废水 W1-1，切割的碎硅泥 S1-6，压滤时产生废滤布 S1-7、废金刚线 S1-8。设备清洗：***工艺部介绍，为了使切割设备稳定运行，不影响切割效率，切割机的各组件、部件需定期清洗；其中切割过程中使用的在线处理设备--压滤机的滤桶和滤袋每切割一刀需清洗一次；切割液的喷嘴和引流板每天需清洗一次；切割机换导轮时碎片盒、抽屉、挡板、浆液缸每20天需清洗一次；切割机滑轮每一个月清洗一次，该过程产生设备清洗废水 W1-2。脱胶清洗：将切割好的原料放入全自动硅片清洗机（电加热）中进行冲洗，原料（脱胶机共设6个槽，每个槽体积均为188L，水槽尺寸：1253500300mm，每清洗16800 片更换一次水槽的水（全部更换）；前两个槽采用喷淋清洗，主要是将原料表面附着的硅粉、切割液、少量的金刚线磨损粉料去除，喷淋的压力控制在 0.2~0.3MPa之间，水温控制在 20~40℃（电加热）之间；第三个槽、第四个槽，槽体两侧安装有超声振子，通电振动后形成超声，硅片浸泡在槽体中进行超声波清洗，水温控制在50-60℃（电加热）之间，时间控制在120s左右；在强烈的超声波作用下，在水中形成微小的气泡，在树脂胶与硅片界面产生局部压力，使其分离，该过程为物理过程，树脂胶成分不进入废水；最后两个槽为脱胶槽，使硅锭、塑料板和铁板之间实现脱胶分离；其原理是通过温度（控制在75℃左右）使固化的树脂胶软化，同时，在后两个脱胶槽中加入脱胶剂(脱胶剂和水的配比是1:50)可缩短树脂胶软化的时间，同时也防止硅片在高温情况下发生氧化，脱胶时间一般控制在 600s；脱胶清洗过程对用水洁净度要求不高，用水均可使用回用水，回用水量不足时使用自来水补充。该过程产生脱胶废气G1-4、脱胶清洗废水W1-3、废胶块S1-9、废塑料板S1-10。表2-4 脱胶清洗机各槽体情况槽体体积（L）物料清洗方式更换频次 1# 188 回用水、自来水喷淋洗 / 2# 188 回用水、自来水喷淋洗 / 3# 188 回用水、自来水超声波浸洗 16800片更换一次 4# 188 回用水、自来水超声波浸洗 16800片更换一次 5# 188 脱胶剂、回用水、自来水浸洗 16800片更换一次 6# 188 脱胶剂、回用水、自来水浸洗 16800片更换一次硅片清洗：脱胶后的硅片进入硅片清洗机，在清洗机中进行 9道清洗和1道烘干（电加热），均采用溢流的方式，每个槽体积均为124.5L，槽体尺寸830500*300mm；前六道采用自来水清洗，第三道加入清洗剂（清洗剂和水的配比是1: 50），第四道、第五道加入氢氧化钾、双氧水和氢氧化钠；后三道采用纯水清洗。后三道纯水清洗槽产生的清洗废水比较干净，可回用至六槽，六槽可再回用至一槽，实现逆流漂洗，充分节水。在一槽、二槽、六槽、七槽、八槽两侧安装有超声波振子，即可实现超声波清洗，使硅片清洗得更洁净。最后进行烘干（电加热）处理。药剂槽温度控制在 55℃（电加热）左右，非药剂槽控制在35~40℃（电加热）之间。该过程产生清洗废气 G1-5、硅片清洗废水 W1-4。表2-4硅片清洗机各槽体情况槽体体积（L）物料清洗方式 1# 124.5 自来水超声波溢流洗 2# 124.5 自来水超声波溢流洗 3# 124.5 硅片清洗剂、自来水溢流洗 4# 124.5 氢氧化钾、双氧水、氢氧化钠、自来水溢流洗 5# 124.5 氢氧化钾、双氧水、氢氧化钠、自来水溢流洗 6# 124.5 自来水超声波溢流洗 7# 124.5 纯水超声波溢流洗 8# 124.5 纯水超声波溢流洗 9# 124.5 纯水溢流洗分选检测包装：对清洗干燥后硅片的相关技术参数进行在线检测，主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率和微裂纹等，检验合格后用泡沫、纸箱封装入库，该过程产生不合格品 S1-11（不完整，残缺品）和废外包装材料 S1-12。本项目化学品拆包过程产生承装酒精、切割液、盐酸的废包装容器 S1-13。配套设施：浆液循环系统：切割过程中使用切割浆液循环系统中经超滤+压滤处理后循环使用，定期补充；因此不再使用盐酸和树脂，不再产生废树脂，定期产生压滤污泥和压滤膜，此过程产生浆液超滤压滤定期外排废水W1-5。导轮开槽：金刚线切割主要是将金刚石颗粒以一定的分布密度均匀的固着在高强度的钢线上，通过将金刚线反复缠绕在导线装置上，对金刚线高速的来回拉扯，来完成对硅片的切割。导线装置主要为若干外圈开设有线槽的导轮，当线槽一旦磨损，就需要将导轮更换掉重新开槽。建设单位原导轮开槽外协，现为了更好地控制切割质量，在十车间新增导轮开槽的配套工段：将待开槽的导轮装到数控机床上，头尾夹锁紧，使用T形刀具，对导轮上的聚氨酯层进行切割开槽，切割过程采用切削液进行润滑冷却，每个导轮可重复开槽使用8-10次。此过程产生废切削液S1-19及废导轮S1-20。	酒精擦拭：原料硅棒和塑料板粘结的接触面需使用酒精擦洗保持洁净；该过程产生有机废气 G1-1和废抹布 S1-1；胶纸固定：使用胶纸围住原料接触面四周，以防后续粘结的胶水溢出，该过程产生废胶纸 S1-2和废胶桶 S1-3；粘结固定：硅片切割前需要使用胶粘剂将硅锭和塑料板粘结在一起，再使用胶粘剂将塑料板与铁板粘结在一起，以固定硅锭在切割机上的切割位置。该粘结过程胶粘剂少量挥发产生有机废气 G1-2（以非甲烷总烃计），同时产生废树脂胶S1-4、废胶桶 S1-5；切片：切割过程在密闭条件下进行。金刚线的表面附着有金刚石颗粒，金刚石的莫氏硬度为10，硅的莫氏硬度为 6，因此，金刚线容易对原料进行切割。切割深度控制在原料+塑料板的厚度，不切到晶托。切割过程中辅以纯水调配的切割液来冷却金刚线对原料摩擦过程中产生的热量，切割液与纯水以1:100比例配置，切割过程中使用在线处理装置（压滤）去除切割液中的碎硅片和硅粉后（在切片机内进行过滤，过滤后产生的浓水通过压滤机进行压滤，可循环使用，每天排放一部分即可，该过程产生有机废气 G1-3、切片废水 W1-1，切割的碎硅泥 S1-6，压滤时产生废滤布 S1-7、废金刚线 S1-8。设备清洗：***工艺部介绍，为了使切割设备稳定运行，不影响切割效率，切割机的各组件、部件需定期清洗；其中切割过程中使用的在线处理设备--压滤机的滤桶和滤袋每切割一刀需清洗一次；切割液的喷嘴和引流板每天需清洗一次；切割机换导轮时碎片盒、抽屉、挡板、浆液缸每20天需清洗一次；切割机滑轮每一个月清洗一次，该过程产生设备清洗废水 W1-2。脱胶清洗：将切割好的原料放入全自动硅片清洗机（电加热）中进行冲洗，原料（脱胶机共设6个槽，每个槽体积均为188L，水槽尺寸：1253500300mm，每清洗16800 片更换一次水槽的水（全部更换）；前两个槽采用喷淋清洗，主要是将原料表面附着的硅粉、切割液、少量的金刚线磨损粉料去除，喷淋的压力控制在 0.2~0.3MPa之间，水温控制在 20~40℃（电加热）之间；第三个槽、第四个槽，槽体两侧安装有超声振子，通电振动后形成超声，硅片浸泡在槽体中进行超声波清洗，水温控制在50-60℃（电加热）之间，时间控制在120s左右；在强烈的超声波作用下，在水中形成微小的气泡，在树脂胶与硅片界面产生局部压力，使其分离，该过程为物理过程，树脂胶成分不进入废水；最后两个槽为脱胶槽，使硅锭、塑料板和铁板之间实现脱胶分离；其原理是通过温度（控制在75℃左右）使固化的树脂胶软化，同时，在后两个脱胶槽中加入脱胶剂(脱胶剂和水的配比是1:50)可缩短树脂胶软化的时间，同时也防止硅片在高温情况下发生氧化，脱胶时间一般控制在 600s；脱胶清洗过程对用水洁净度要求不高，用水均可使用回用水，回用水量不足时使用自来水补充。该过程产生脱胶废气G1-4、脱胶清洗废水W1-3、废胶块S1-9、废塑料板S1-10。表2-4 脱胶清洗机各槽体情况槽体体积（L）物料清洗方式更换频次 1# 188 回用水、自来水喷淋洗 / 2# 188 回用水、自来水喷淋洗 / 3# 188 回用水、自来水超声波浸洗 16800片更换一次 4# 188 回用水、自来水超声波浸洗 16800片更换一次 5# 188 脱胶剂、回用水、自来水浸洗 16800片更换一次 6# 188 脱胶剂、回用水、自来水浸洗 16800片更换一次硅片清洗：脱胶后的硅片进入硅片清洗机，在清洗机中进行 9道清洗和1道烘干（电加热），均采用溢流的方式，每个槽体积均为124.5L，槽体尺寸830500*300mm；前六道采用自来水清洗，第三道加入清洗剂（清洗剂和水的配比是1: 50），第四道、第五道加入氢氧化钾、双氧水和氢氧化钠；后三道采用纯水清洗。后三道纯水清洗槽产生的清洗废水比较干净，可回用至六槽，六槽可再回用至一槽，实现逆流漂洗，充分节水。在一槽、二槽、六槽、七槽、八槽两侧安装有超声波振子，即可实现超声波清洗，使硅片清洗得更洁净。最后进行烘干（电加热）处理。药剂槽温度控制在 55℃（电加热）左右，非药剂槽控制在35~40℃（电加热）之间。该过程产生清洗废气 G1-5、硅片清洗废水 W1-4。表2-4硅片清洗机各槽体情况槽体体积（L）物料清洗方式 1# 124.5 自来水超声波溢流洗 2# 124.5 自来水超声波溢流洗 3# 124.5 硅片清洗剂、自来水溢流洗 4# 124.5 氢氧化钾、双氧水、氢氧化钠、自来水溢流洗 5# 124.5 氢氧化钾、双氧水、氢氧化钠、自来水溢流洗 6# 124.5 自来水超声波溢流洗 7# 124.5 纯水超声波溢流洗 8# 124.5 纯水超声波溢流洗 9# 124.5 纯水溢流洗分选检测包装：对清洗干燥后硅片的相关技术参数进行在线检测，主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率和微裂纹等，检验合格后用泡沫、纸箱封装入库，该过程产生不合格品 S1-11（不完整，残缺品）和废外包装材料 S1-12。本项目化学品拆包过程产生承装酒精、切割液、盐酸的废包装容器 S1-13。配套设施：浆液循环系统：切割过程中使用切割浆液循环系统中浆液经砂滤+膜压滤处理后循环使用用于切片，定期补充；因此不再使用盐酸和树脂，不再产生废树脂，定期产生压滤污泥和压滤膜，此过程产生浆液超滤压滤定期外排废水W1-5。导轮开槽：现阶段外协。
变动情况：本项目环评中依托原有设备配套浆液循环系统，切割浆液利用离子再生罐中树脂进行浆液再生，盐酸与浆料中离子进行交换后恢复切割液的功能，实际经超滤+压滤处理后循环使用，定期补充；因此不再使用盐酸和树脂，不再产生废树脂，定期产生压滤污泥和压滤膜。定期产生压滤污泥和压滤膜外售，未导致不利环境因素加重。

环保设施或环保措施

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

1.废气处理设施：项目每台切割机上方的密闭管道收集的金刚线硅片切割环节切割液在高速摩擦环节产生挥发废气、擦拭工位集气罩收集的硅锭和塑料板酒精擦拭清洗环节产生酒精挥发废气、粘结工位集气罩收集的粘结过程产生胶粘剂挥发废气合并进入十二车间“喷淋+二级活性炭吸附”废气处理设施处理后由15m高DA008排气筒外排；其他切片废气进入十二车间“喷淋+二级活性炭吸附”废气处理设施处理后由15m高DA006排气筒外排；每台脱胶机上方的密闭管道收集的脱胶环节产生脱胶剂挥发有机废气进入十二车间“喷淋+二级活性炭吸附”废气处理设施处理后由15m高DA007排气筒外排；废水处理设施产生的臭气依托现有的“喷淋+生物滤池+喷淋+活性炭吸附”装置进行处理，尾气由25m高DA005排气筒外排。 2.废水处理设施：依托现有废水处理设施	1.废气处理设施：项目每台切割机上方的密闭管道收集的金刚线硅片切割环节切割液在高速摩擦环节产生挥发废气、擦拭工位集气罩收集的硅锭和塑料板酒精擦拭清洗环节产生酒精挥发废气、粘结工位集气罩收集的粘结过程产生胶粘剂挥发废气合并进入十二车间“喷淋+二级活性炭吸附”废气处理设施处理后由15m高DA015排气筒外排；其他切片废气进入十二车间“喷淋+二级活性炭吸附”废气处理设施处理后由15m高DA011排气筒外排；每台脱胶机上方的密闭管道收集的脱胶环节产生脱胶剂挥发有机废气进入十二车间“喷淋+二级活性炭吸附”废气处理设施处理后由15m高DA012排气筒外排；废水处理设施产生的臭气依托现有的“喷淋+生物滤池+喷淋+活性炭吸附”装置进行处理，尾气由25m高DA010排气筒外排。 2.废水处理设施：****处理站设计能力8400m3/d，处理工艺为浆液废水和工件清洗废水首先进入高浓度水池，经压滤后滤液进入高浓度水解池进行深度预处理；其他脱胶废水和清洗废水进入低浓度废水收集池，经调节、微砂强化絮凝沉淀预处理；以上与处理废水在水解酸化池汇合，再经AO、二沉、气浮处理。项目在生产废水排口（DW001）设置流量、pH、COD在线监测设备，并与环保局联网。
1.本次****公司全部排气筒进行重新编号。环评中DA005实际为DA010，环评中DA006实际为DA011，环评中DA007实际为DA012，环评中DA008实际为DA015。 2.环评中废水处理的微砂沉淀池实际增加了混凝强化

其他

环评文件及批复要求：实际建设情况：变动情况及原因：是否属于重大变动：是否重新报批环境影响报告书(表)文件：

无	无
无

3、污染物排放量

污染物现有工程（已建成的）本工程（本期建设的）总体工程总体工程（现有工程+本工程）排放方式实际排放量实际排放量许可排放量 “以新带老”削减量区域平衡替代本工程削减量实际排放总量排放增减量废水水量（万吨/年） COD（吨/年）氨氮（吨/年）总磷（吨/年）总氮（吨/年）废气气量（万立方米/年）二氧化硫（吨/年）氮氧化物（吨/年）颗粒物（吨/年）挥发性有机物（吨/年）非甲烷总烃(吨/年) 氨(吨/年) 硫化氢(吨/年)

0	0	0	0	0	0	0
0	0	11	0	0	0	0
0	0	1.43	0	0	0	0
0	0	0.208	0	0	0	0
0	0	2.31	0	0	0	0
0	0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	0	/
0	0	0	0	0	0	0	/
0	0	0.392	0	0	0	0	/
0	0	0.0122	0	0	0	0	/
0	0	0.0212	0	0	0	0	/

4、环境保护设施落实情况

表1 水污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	生产废水检测口	《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020）表1间接排放标准	经废水处理系统处理后接入市政管网	生产废水pH值、化学需氧量、悬浮物、阴离子表面活性剂排放浓度日均值满足排放标准《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020）表1间接排放标准要求。
2	污水排口	《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020）表1间接排放标准	生产废水经废水处理设施处理后与生活污水、冷却塔弃水一并排入市政管网	pH值、化学需氧量、悬浮物、氨氮、总磷、总氮排放浓度日均值满足排放标准《电子工业水污染物排放标准》GB39731-2020）表1间接排放标准

表2 大气污染治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

1	DA011	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表1标准	喷淋+二级活性炭,15m高	非甲烷总烃排放浓度日均值满足**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表1标准
2	DA012	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表1标准	喷淋+二级活性炭，15m高	非甲烷总烃排放浓度日均值满足**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表1标准
3	DA015	《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表1标准	喷淋+二级活性炭,15m高排气筒	非甲烷总烃排放浓度日均值满足**省地方标准《大气污染物综合排放标准》（DB32/4041-2021）中表1标准
4	DA010	《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中的表2标准	喷淋+生物法滤池+喷淋+活性炭处理后经25m高排气筒排放	氨、硫化氢、臭气浓度排放浓度日均值满足《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）中的表2标准

表3 噪声治理设施

序号设施名称执行标准实际建设情况监测情况达标情况

表4 地下水污染治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表5 固废治理设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

建设单位应落实《报告表》提出的各项固体废物污染防治措施，生活垃圾、一般工业固废、危险废物必须分类收集、处置。一般工业固废贮存应符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）要求；生****政府规定的地点进行处理，不得随意扔撒或者堆放；危险废物须按国家有关规定进行贮存、转移、运输及处置。危险废物管理执行《危险废物收集、贮存、运输技术规范》

本次验收产生的固体废物主要为危险废物、一般工业固废和生活垃圾。一般固体废物主要为废金刚线、不合格品、废硅泥、污泥、废（树脂）塑料板、废胶块、废外包装材料；其中不合格品由供应商回收；废硅泥外售于**市威****公司、**市****公司、山****公司、**市文泰****公司；废外包装材料和废金刚线外售******公司处理，污水处理站污泥委托****处理；废（树脂）塑料板和废胶块委托广****公司处理。一般固废仓库位于厂区西南侧，面积4620m2，标识牌已张贴到位，企业设置的一般固废仓库符合《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB18599-2020）的要求。危险废物主要为废抹布、废胶纸、废胶桶、压滤时产生废滤布、废树脂胶、设备维修保养产生的废矿物油、废气处理设施产生的废活性炭、污水处理站COD分析检测试剂、废包装容器、废切削液属于危险废物、****服务中心有限公司处理。危险废物收集后依托现有5个危险废物仓库内，位于厂区西南侧，总面积200m2，内外部已安装监控装置，标识牌张贴到位，具有防风、防渗漏、防晒、防流失、防扬散等措施。危险废物符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求。生活垃圾由**高新区****公司清运。

表6 生态保护设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

表7 风险设施

序号环评文件及批复要求验收阶段落实情况是否落实环评文件及批复要求

5、环境保护对策措施落实情况

依托工程