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高真空多靶纳米团簇束流仪
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1500000.00
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***********公司企业信息
****2026年2至6月政府采购意向-高真空多靶纳米团簇束流仪 详细情况
| 高真空多靶纳米团簇束流仪 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年2至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 高真空多靶纳米团簇束流仪 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****2499其他真空获得及应用设备
|
| 采购需求概况 ： |
在超高真空条件下生成**度团簇束流，经冷凝缓冲后，经超声膨胀后形成准直束流沉积在衬底表面 ，实现多靶团簇束流的共溅射 高精准调控团簇凝结尺寸，粒径2-30 nm可调 薄膜跨尺度生长（纳米至亚微米级） 复杂材料（高界面核壳结构材料）生长 兼具外延薄膜沉积共溅射功能 团簇束流产生与沉积过程精密在线监测 实现荷能加速（1-30 keV）功能，沉积速率0.05-2nm/s连续可调，样品尺寸100×100 mm2以上
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| 预计采购时间： | 2026-03 |
| 备注： |
在超高真空条件下生成**度团簇束流，经冷凝缓冲后，经超声膨胀后形成准直束流沉积在衬底表面 ，实现多靶团簇束流的共溅射 高精准调控团簇凝结尺寸，粒径2-30 nm可调 薄膜跨尺度生长（纳米至亚微米级） 复杂材料（高界面核壳结构材料）生长 兼具外延薄膜沉积共溅射功能 团簇束流产生与沉积过程精密在线监测 实现荷能加速（1-30 keV）功能，沉积速率0.05-2nm/s连续可调，样品尺寸100×100 mm2以上
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本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-02-12
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