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UV膜（2602120008）独家采购公示
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***********公司企业信息
独家采购公示
一、采购人：信息材料与微纳器件制备平台
二、项目名称：信息材料与微纳器件制备平台UV膜独家采购
三、采购内容：UV膜
四、采购预算：51,000元
五、独家采购的说明：
本次拟采购UV膜用于微纳平台硅通孔刻蚀工艺开发，硅通孔刻蚀工艺对UV膜的性能要求极高，需具备优异的粘性、导热性和导电性，以确保静电卡盘对晶圆的稳定吸附及刻蚀过程中的散热，从而保证工艺的稳定性。平台通过使用日东ELP-PF710型号UV膜，成功开发出了高质量的硅通孔刻蚀工艺。为进一步确保该工艺的稳定性与一致性，需继续沿用该型号产品。****是此款UV膜在国内的唯一授权代理商，综上，拟采用独家采购方式，向****采购该批次 UV膜。
六、拟成交供应商信息：****
地址：中国（**）自由贸易试验区德堡路38号1幢1层110-38室
七、公示期限：从2026年2月13日至2026年2月26日止。
八、对本次采购提出异议，请按以下方式联系：
对公示内容有异议的，可在公告期内以有效形式提出：
联系人：孙老师
联系方式：0574-8626 1579
联系邮箱：yefeng-sun@ylab.****.cn
投诉联系人：许老师
投诉联系方式：0574-****6822
投诉联系邮箱：xinfang@ylab.****.cn
招标进度跟踪
2026-02-13
候选人公示
UV膜（2602120008）独家采购公示
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