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| 激光直写光刻机 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年02月至2026年03月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 激光直写光刻机 |
| 预算金额: | 120.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
采购内容:激光直写光刻机 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:可实现半导体材料的无掩膜曝光功能。 需满足的要求:要求直写速率高,高分辨率,能够实现MEMS、功率器件等工艺的亚微米曝光工艺。
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| 预计采购时间: | 2026-03 |
| 备注: |
无
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本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写