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| 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 透射电子显微镜(TEM)、聚焦离子束显微镜(FIB)以及二次离子质谱(SIMS)等半导体测试分析 |
| 预算金额: | 1100.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
C****0000-技术测试和分析服务
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| 采购需求概况 : |
****研究所****中心主要承担集成电路先进器件与关键工艺的研发工作,先进工艺与器件的研发过程中,需要大量使用例如TEM(透射电子显微镜)、FIB(聚焦离子束)等先进的物理分析手段进行物理结构表征,以及例如SIMS(二次离子质谱)、EDX(能量散射型X射线荧光光谱)等先进的成分分析手段进行元素分布表征,先导中心不具备分析测试能力,需要委外进行。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写