12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜

发布时间: 2026年02月26日
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****2026年5至6月政府采购意向-12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 详细情况
12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜
项目所在采购意向: ****2026年5至6月政府采购意向
采购单位: ****
采购项目名称: 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜
预算金额: 2200.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0000-设备_A****0000-仪器仪表_A****0100-自动化仪表_A****0199-其他自动化仪表
采购需求概况 :
12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜,主要用于极小尺寸图形的线宽量测,需具备快速自动量测能力,其主要工艺指标包括:量测分辨率:1.65nm量测重复性:0.12 nm具备量测边缘放置误差的能力;本次共采购1台,需在2026年10月完**装。
预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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