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| 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 | |
| 项目所在采购意向: | ****2026年5至6月政府采购意向 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜 |
| 预算金额: | 2200.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0000-设备_A****0000-仪器仪表_A****0100-自动化仪表_A****0199-其他自动化仪表
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| 采购需求概况 : |
12吋关键线宽尺寸检查扫描电子显微镜,主要用于极小尺寸图形的线宽量测,需具备快速自动量测能力,其主要工艺指标包括:量测分辨率:1.65nm量测重复性:0.12 nm具备量测边缘放置误差的能力;本次共采购1台,需在2026年10月完**装。
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写