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离子束整形机
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8750000.00
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***********公司企业信息
****2026年6月政府采购意向-离子束整形机 详细情况
| 离子束整形机 | |
| 项目所在采购意向： | ****2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 离子束整形机 |
| 预算金额： | 875.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0000-设备_A****0000-电工、电子生产设备_A****0300-电子工业生产设备
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| 采购需求概况 ： |
离子束表面矫形（Ion Beam Figruing，IBF）是一种用等离子体技术刻蚀实现导体薄膜材料精密修整、晶圆面型修整、材料局部去除的工艺方法。与传统的研磨MP相比，气体束流的优势在于提供了低损伤、低应力和选区表面处理的工艺实现方案。相较而言，利用气体束流进行表面处理，由于横向溅射效应，去除量较低的条件下就可以降低表面粗糙度到nm量级，由于非接触处理，对表层晶格损伤较低，同时伴随着辐照过程的暂态退火效应也会进一步修复表面晶格损伤，因此可以获得更好的表面状态。
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| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-02-26
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