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大写场电子束光刻机
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19000000.00
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zycgr210****12026年1至12月政府采购意向-大写场电子束光刻机 详细情况
| 大写场电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210****12026年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****0801 |
| 采购项目名称： | 大写场电子束光刻机 |
| 预算金额： | 1900.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
1.实现纳米级图形化工艺。 技术指标： 可加工衬底尺寸：8英寸晶圆向下兼容； 加速电压：≥100kV； 最大主场尺寸：≥1200um； 主场拼接精度：≤40nm； 套刻精度：≤±30nm。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间： | 2026-12 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-02-28
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