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等离子体增强原子层沉积系统
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3100000.00
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zycgr210****12026年1至12月政府采购意向-等离子体增强原子层沉积系统 详细情况
| 等离子体增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210****12026年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr****0801 |
| 采购项目名称： | 等离子体增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 310.000000万元(人民币) |
| 采购品目： |
A****0300电子工业生产设备
|
| 采购需求概况 ： |
为器件的电场调控提供高k介电层。2. 拟采购一台能够在8英寸衬底上生长Al2O3和HfO2，且在膜厚50nm时不均匀性WIW≤2%；期望能够在2026年交付，并保证合理售后工程师支持。
|
| 预计采购时间： | 2026-03 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-02-28
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