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| 低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅 | |
| 项目所在采购意向: | zycgr210****12026年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | zycgr****0801 |
| 采购项目名称: | 低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅 |
| 预算金额: | 1149.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
1. 系统组成:由一台主机四根炉管组成; 样品尺寸:25x6” 或25x8”; 主要功能:退火、生长高温氧化硅(LTO)、氮化硅、氧化硅(TEOS); 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应
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| 预计采购时间: | 2026-06 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写