低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅

发布时间: 2026年02月28日
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zycgr210****12026年1至12月政府采购意向-低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅 详细情况
低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅
项目所在采购意向: zycgr210****12026年1至12月政府采购意向
采购单位: zycgr****0801
采购项目名称: 低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅
预算金额: 1149.000000万元(人民币)
采购品目:
A****0300电子工业生产设备
采购需求概况 :
1. 系统组成:由一台主机四根炉管组成; 样品尺寸:25x6” 或25x8”; 主要功能:退火、生长高温氧化硅(LTO)、氮化硅、氧化硅(TEOS); 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应
预计采购时间: 2026-06
备注:

本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写

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2026-02-28
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