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| 晶圆级金属剥离机 | |
| 项目所在采购意向: | zycgr210****12026年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位: | zycgr****0801 |
| 采购项目名称: | 晶圆级金属剥离机 |
| 预算金额: | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目: |
A****0300电子工业生产设备
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| 采购需求概况 : |
1.在整晶圆上,实现金属lift-off、光刻胶去除、样品清洗等工艺。 技术指标: 可加工衬底尺寸:8寸晶圆向下兼容; 去胶单元、清洗单元和浸泡单元通道:总数量不小于3个,各单元不少于1个。 2. 数量: 1套 质保期: 1年以上 售后维保:国内必须设有维护点;24小时维修响应。
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| 预计采购时间: | 2026-12 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写