超7亿元大单！该单位发布大批2026年仪器采购意向

序号

采购项目
名称

预算金额
(万元)

预计
采购日期

1

激光器

520

2026年3月

3

激光振荡器

270

4

激光直写光刻机

150

7

兼容低温强磁场NV探针扫描系统

395

8

兼容强磁场NV探针扫描系统

216

19

调制激光器与泵浦激光器系统

990

25

飞秒激光器

169.93

34

干式变温超导磁体系统

160

37

高功率激光器

230

38

高功率激光系统

185

49

脉冲激光器

164

51

强磁场低温物性测量系统

295

58

扫描电子显微镜

200

61

室温3-1-1T三轴超导磁体系统

180

64

大口径光学望远镜

2500

70

单光子探测器

300

72

等离子体增强原子层沉积系统

310

75

低温恒温器系统

122

84

qCMOS相机

140

90

薄膜单晶X射线衍射仪

350

97

超低振动低温高真空强磁系统

382

108

车载光学望远镜

2000

110

磁控溅射系统

160

116

永磁波荡器

950

131

无液氦低温磁场插杆测试系统

300

5

极低温强磁场扫描探针显微镜扫描头

115

2026年4月

12

静态光学干涉仪

358.75

20

动量显微镜

671.12

52

强脉冲激光系统

180

55

任意波发生器

198

96

超导纳米线单光子探测器

120

100

超高真空腔体及其泵组和减振台

240

115

氧化物分子束外延设备

450

14

光学望远镜

185

2026年5月

23

多模超导单光子探测器

200

59

深紫外激光器

390

81

低振动低温制冷系统

135

6

极低温拓扑物性综合表征与测控系

550

2026年6月

21

动态干涉仪

110

24

多腔体电子束镀膜机

490

36

高等级原子物理激光伺服箱

1200

40

高集成波长计

400

41

高精度波长计

160

45

高真空磁控溅射系统

490

46

电感耦合等离子刻蚀机

450

47

电感耦合等离子体刻蚀机（Si）

330

50

抛光机

450

56

任意波形发生器

170

57

三波长激光器

180

60

矢量10ppm稳定度超导磁体

163.2

65

大冷量稀释制冷机

1200

66

大冷量稀释制冷机

1200

67

大冷量稀释制冷机

1200

69

大载荷惯性稳定平台

300

71

单晶硅腔

270

74

低温恒温器

155

78

低压化学气相沉积(LPCVD)_氮化硅

1149

79

低压化学气相沉积(LPCVD)_氧化硅

852

82

1.2m口径自适应光学望远镜

2800

92

超导单光子探测器

195

93

超导单光子探测器

198

99

超高真空腔体

100

106

车载高精度波前探测器

180

109

磁控溅射机(氮化物)

210.02

113

小口径跟瞄望远镜

190

117

有机化学气相沉积(MOCVD)

1904

128

自动键合机

260

15

光钟伺服箱

300

2026年7月

73

低温氦冷系统

600

16

光钟激光载荷环境试验

900

2026年8月

87

半导体激光器

390

94

超导单光子探测器

200

119

原子物理激光伺服箱

200

126

中红外激光系统

252

32

干涉仪

280

2026年9月

35

高等级光钟伺服箱

1200

39

高功率物镜

120

103

超快可调谐激光探测系统

422.42

104

超快强场太赫兹源机械支撑系统

191

120

原子物理激光地检激光与稳频系统

300

80

低噪声单模超导单光子探测器

200

2026年10月

83

CCD相机

147.28

105

超稳原子钟

150

107

车载高精度高速变形镜

200

122

智能测量分析仪

180

2026年11月

2

激光损伤阈值测量仪

300

2026年12月

9

晶圆级半自动绑线机

220

10

晶圆级金属剥离机

280

11

晶圆级图形自动光学检测系统（AOI）

300

13

纠缠源地检系统

200

17

光电芯片与电子学芯片集成封装系统

127.5

18

电子束曝光机（EBL）

2533.04

22

镀膜热噪声测量平台

350

26

飞行时间二次质谱仪（TOF-SIMS）

1050

27

分子束外延设备（MBE)

1396

28

氟化钍专用刻蚀机

450

29

氟化物光学薄膜镀膜机

1550

30

感应耦合等离子体刻蚀机_金刚石

450

31

感应耦合等离子体刻蚀机_碳化硅

550

33

干涉仪地检系统

120

42

高真空多靶共溅薄膜沉积系统

270

43

高速扫描电镜（SEM）

385

44

高速原子力显微镜

200

48

六轴位移台

140

53

氢氟酸干法释放系统

400

54

热型原子层沉积设备

250

62

双光子聚合激光直写

230

63

双球差校正扫描透射电子显微镜

4200

68

大写场电子束光刻机

1900

76

低温强磁场光学检测系统

500

77

低温弱吸收测量仪

200

85

VUV分光光度计

350

86

VUV椭偏仪

300

88

半导体器件电-热-光多应力性能测试系统

155

89

半自动键合/解键合一体机

200

91

步进式光刻机(DUV)

5000

95

超导量子干涉仪（SQUID）

800

98

超高真空磁控溅射机

500

101

超高真空外延设备_氟化钍单晶薄膜

400

102

超精抛系统_熔融石英

100

111

显微镜

130

112

相位噪声分析仪

140

114

新型混合体系量子比特材料测控系统

650

118

宇航级光钟伺服箱

1800

121

在线式自动涂胶显影机

1000

123

纠缠源和单光子干涉仪环境试验

500

124

中红外波段光学薄膜镀膜机

500

125

中红外光腔衰荡测量系统

500

127

紫外高功率光照可靠性测试系统

270

129

碳化硅材料减薄机

250

130

微腔光腔衰荡测量系统

200

132

五轴联动数控机床（CNC）

560

合计

71477.26

来源：中国政府采购网

整理：化工仪器网