喷胶机采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：喷胶机

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：90天

3、技术要求：

设备方面

1.独立喷胶腔，单Nozzle（喷嘴）；Nozzle带超声，超声频率≥110KHZ；自动上下片；

2.具备烘烤单元，1块热板，1块冷板；支持双抛片与贴膜片正常进行工艺制程；

3.喷胶腔Chuck盘温度要求范围：25-80℃，精度±2℃；Chuck盘转速支持50-200rpm，精度3rpm，最小4.喷胶X/Y轴行程400mm（8寸是200mm），重复定位精度±0.1mm；Nozzle有自清洁功能；

5.Nozzle N2有压力检测功能；Chamber所有流量和温度和排风都有实时监控，且异常时能够触发机台报警；

6.可以By Wafer Count设置Cup自动清洁且能够将整个Cup清洗干净；

7.光刻胶流量控制，光刻胶流量范围0.05-10ml/min，精度＜1%，且光刻胶流量可以实时监控；胶泵前有0.1um滤芯过滤；支持实时及Date log查询制程参数，查询时间大于一年；

8.机台环境：0.3um以上去除率99.99%.

工艺方面

1.自动喷胶机用于8寸带深腔晶圆喷涂工艺，深腔高度大约100um；

2.支持硅片厚度550um-750um；平片厚度要求片内优于10%，片间优于5%；

3.均匀性算法：（最大值-最小值）/（最大值+最小值）*100%；

4.光刻胶种类：目前主要为用于保护胶的AZ4620光刻胶；后续能够配合其他国产光刻胶调试；

5.Bubble控制：≥5um的固体颗粒 Bubble≤10颗；配合调试目标≥5um固体颗粒 Bubble单片≤5颗；

6.单腔产能：AZ4620 10um WPH（wafer per hour）≥5，AZ4620 5um WPH≥8；

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为设备的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、投标人应具备独立的法人资格，具有国家相关部门颁发的营业执照，注册金额≥100万元人民币；

3、投标人从事行业经验不少于1年；投标人近两年内应具有同类产品销售业绩，至少提供1份合同证明；

4、投标人如是生产厂家需提供有效质量体系证书；

5、投标人授权报名代表仅限一人，若出现多人报名则取消投标人投标资格；

6、投标人报名资料中应有法人授权委托书，并注明授权代表及其联系方式(电话号码和邮箱)；

7、本次招标不接受联合体投标；

8、投标人报名成功后无故缺席招投标活动的:1年内不得参与我司的采购招标项目，并做不诚信记录。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）公众号二维码报名截止时间：2026-3-1017:30。标书代写

（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料盖章扫描发送以下邮箱:

****@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****@gst-ir.com

温馨提醒:扫描二维码注册成功不等于报名，需根据公示要求所需的报名资料(营业执照、质量体系证书、业绩合同、授权委托书、“信用中国”查询无不良记录截图)，盖章扫描发送指至指定的邮箱。

(三)报名截止后，将统一向资格审查后满足要求的报名单位发送招标文件。

四、联系事项

商务联系人：徐颖 电话：186****0396

技术联系人：邓茜 电话：130****5981