ICP刻蚀机(AI203)采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：ICP刻蚀机(AI203)

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：90天

3、技术要求：

1.工艺方面:工作温度-20~40℃，支持8 英寸向下兼容 6/4/2 英寸（支持圆形 / 方形/不规则形衬底）Al2O3膜层刻蚀，均匀性8寸≤3%，刻蚀后PR去除：丙酮有机可去除，无副产物及胶残留；同时满足刻蚀选择比：to PR（≥1）；to GaSb（≥4）。

2.设备方面:要求采用load腔+反应腔，反应腔极限真空≤1×10-3mTorr，漏率≤1mTorr/min，配备等离子体RF射频源和HF射频源，支持 8路气体（如 Cl2、BCl3、O2、Ar、SF6、CF4、CHF3），配备OES（光学发射光谱，终点检测）或者EPD等检测系统，保持反应腔温度40~60℃，控温精度±1℃，下电极温度15~25℃，控温精度±1℃

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为设备的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、投标人应具备独立的法人资格，具有国家相关部门颁发的营业执照，注册金额≥100万元人民币；

3、投标人从事行业经验不少于1年；投标人近两年内应具有同类产品销售业绩，至少提供1份合同证明；

4、投标人如是生产厂家需提供有效质量体系证书；

5、投标人授权报名代表仅限一人，若出现多人报名则取消投标人投标资格；

6、投标人报名资料中应有法人授权委托书，并注明授权代表及其联系方式(电话号码和邮箱)；

7、本次招标不接受联合体投标；

8、投标人报名成功后无故缺席招投标活动的:1年内不得参与我司的采购招标项目，并做不诚信记录。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）公众号二维码报名截止时间：2026-3-1017:30。标书代写

（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料盖章扫描发送以下邮箱:

****@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****@gst-ir.com

温馨提醒:扫描二维码注册成功不等于报名，需根据公示要求所需的报名资料(营业执照、质量体系证书、业绩合同、授权委托书、“信用中国”查询无不良记录截图)，盖章扫描发送指至指定的邮箱。

(三)报名截止后，将统一向资格审查后满足要求的报名单位发送招标文件。

四、联系事项

商务联系人：刘奇涛 电话：027-****2126

技术联系人：汪少伟 电话：150****3289