ICP刻蚀机(材料刻蚀)采购信息公示

一、项目概况

（一）项目编号：****

（二）项目名称：ICP刻蚀机(材料刻蚀)

（三）项目内容及需求：

1、数量：1台

2、交期：90天

3、技术要求：

1.设备应用：适用于Ⅲ-Ⅴ族材料刻蚀工艺的ICP低温刻蚀、低损伤刻蚀设备；

2.设备主体功能：控温系统、终点刻蚀监测系统、双输出射频系统、loadlock；

3.适用产品尺寸：8英寸，向下兼容4/3/2英寸；

4.性能要求：≤±3%(inch 8”)、≤±3%(inch 2”*7)；本底真空≤1×10^-6 mbar、漏率≤5×10^-4 mbar L/s；

5.刻蚀气体种类：包含8路气体，CH4、Cl2、H2、BCl3、SF6、Ar、N2、O2 ；

6.硬件要求：涡轮分子泵、机械泵、等离子体电源等部件均采用进口品牌；

7.软件要求：软件中工艺参数记录、加工过程中功率、气体流量、等离子体状态等参数形成log曲线、故障记录等存储容量不低于12个月，可使用光盘或软盘等便捷存储设备导出；

8.安全防护：具备安全互锁系统、漏电保护系统、报警系统、安全危害操作标识等安全防护措施；

9.机台要求：设备内部部件、整体外观配件满足洁净间使用要求，设备表面无刮伤、掉粉尘，设备外观无锐角、利棱。

二、资格要求

（一）必须符合《政府采购法》第二十二条规定的条件：

1、具有独立承担民事责任的能力。

2、具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度。

3、具有履行合同所必需的设备和专业技术能力。

4、有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录。

5、法律、行政法规规定的其他条件。

6、需提供参加本项目投标活动前三年内，在经营活动中无重大违法、违规记录、重**全生产事故的声明。

7、未被列入“信用中国”网站(www.****.cn)失信被执行人、重大税收违法案件当事人名单、政府采购严重违法失信行为记录名单和“中国政府采购网”（www.****.cn）政府采购严重违法失信行为记录名单，提供网上查询结果记录（查询日期在发布公告之后），截图打印。

（二）特定资格要求：

1、参与企业必须为设备的生产厂家或代理商，代理商必须持有生产厂家代理证书（代理时间不少于1年），不接受项目授权证书。

2、投标人应具备独立的法人资格，具有国家相关部门颁发的营业执照，注册金额≥100万元人民币；

3、投标人从事行业经验不少于1年；投标人近两年内应具有同类产品销售业绩，至少提供1份合同证明；

4、投标人如是生产厂家需提供有效质量体系证书；

5、投标人授权报名代表仅限一人，若出现多人报名则取消投标人投标资格；

6、投标人报名资料中应有法人授权委托书，并注明授权代表及其联系方式(电话号码和邮箱)；

7、本次招标不接受联合体投标；

8、投标人报名成功后无故缺席招投标活动的:1年内不得参与我司的采购招标项目，并做不诚信记录。

三、供应商资料递交截止时间和地点标书代写

（一）公众号二维码报名截止时间：2026-3-10 17:30。标书代写

（二）报名方式：扫描下方二维码登记报名后将报名资料盖章扫描发送以下邮箱:

****@gst-ir.com，并抄送至审计邮箱****@gst-ir.com

温馨提醒:扫描二维码注册成功不等于报名，需根据公示要求所需的报名资料(营业执照、质量体系证书、业绩合同、授权委托书、“信用中国”查询无不良记录截图)，盖章扫描发送指至指定的邮箱。

(三)报名截止后，将统一向资格审查后满足要求的报名单位发送招标文件。

四、联系事项

商务联系人：刘奇涛 电话：027-****2126

技术联系人：徐远钊 电话：158****6461