近原子尺度电化学加工系统

A****0401电化学分析仪器

近原子尺度电化学加工系统，功能：近原子尺度电化学加工系统主要由阴阳极高精度定位装置、掩膜形态观测系统、工件阳极表面化学修饰系统、纳升供液装置、高精度电源构成。组成部件主要包括由双极旋片真空泵、13.56MHz射频发生器等组成的等离子体表面改性设备，技术指标，真空箱尺寸适用于100mm×100mm×60mm，射频频率13.56MHz，频率偏移量小于0.2KHz，两路0-300sccm气体可调，真空度不小于0.05Pa，腔体温度不高于32度；掩膜观测系统，倒置显微镜，技术指标，工作环境小于35度，相对湿度20-80%，具备明场、相差，落射荧光观察及成像，齐焦距离≥60mm，管径距离≥200mm，双目镜筒，倾角35°瞳距：50mm-75mm可调，10X防霉目镜，双目屈光度可调；视场数≥22mm，物镜齐焦距≥60mm，USB3.0制式工业相机，放大倍率70-450倍，帧率不小于125帧/秒，电动三轴位移平台，行程50mm，精度1微米，z轴可旋转角度正负15度，具备隔振、防电磁干扰功能；全自动高精确供液，包含蠕动泵2个，两通道进液，软件控制，精度0.01微升，步进7纳升；高精度电源包括高精度源表，示波器和脉冲发生器，电流输出/测量范围100fA-10A，电压输出/测量范围100nV-40V，分辨率10fA/10nV，输出/采样频率350MHz-2GMz。数量：1套，预期年度使用时长：2000小时、次数：200次；设计使用时长：2000小时、次数250次。