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南京理工大学2026年政府采购意向公开（第67批）
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****大学2026年政府采购意向公开（第67批）
发布日期： 2026-03-05
为便****政府采购信息， 根据《****政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，****大学2026年政府采购意向公开（第67批）政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 3D光学轮廓检测系统 | **** | 光学计量仪器 | 包括3D光学测量头主机一套、3D采集及测绘软件一套、高精度防震系统一套、高精度位移系统一套，具体需求指标如下： *1. 非接触式的3D光学测量头：可采用多种三维光学测量技术，同时具备无振动共聚焦、白光干涉CSI、相位差干涉PSI、AI多焦面叠加等四种纳米级三维测量技术，并具备3D膜厚功能。 2. 共聚焦具备通用共聚焦和专用连续共聚焦扫描方式；需要快速扫描样品，每秒扫描范围不少于150um。 *3. 照**源：提供**命单波长和复合光的LED光源，具体光源包含：红光 (630 nm); 绿光 (530 nm); 蓝光 (460 nm) 和 白光 (575 nm)。 *4. 相机分辨率：5Mpx，采用2448x2048测量阵列。具备高速采集能力，最高采集帧率180帧/秒。 5. 光路使用微显示技术，不含振动或运动部件。 *6. 可实现真彩测量 ，和彩色实时观察。 7. 具备观察模式包括但不限于：明场彩色观察、共聚焦观察、白光干涉观察、相位差干涉观察、AI多焦面叠加观察等。 *8. 纵向分辨率（系统噪音）：≤0.01nm（粗糙度Sa数值可分辨至0.01nm；）；显示分辨率：0.001nm。 *9. 台阶高度测量精度：≤0.5%，（现场测量20um台阶高度标准块）；台阶高度重复性：≤0.1%，（现场测量20um标准台阶高度标准块）。 10. 水平分辨率：水平光学分辨率≤0.16um； 水平像素分辨率≤0.07um。 11.最**察角度：≥86度。 *12. Z轴最大扫描行程：电动40mm；手动150mm。 *13. RMS重复性≤0.007nm。 14.可观察最大样品高度≥150mm。 15.电动平台行程：150 mm x 150 mm。 *16. 物镜转盘：电动6孔，可同时搭载6颗镜头且齐焦。 17. 设备配置共聚焦物镜及干涉物镜，可同时搭载。 18.纵向单次扫描最大范围：≥10mm。 19.提供专用手动倾斜台：可实现倾斜角度±5度观察，快速实现调平。 *20. 最大拼接张数: 175*175。 21.提供专业三维扫描控制软件：可进行样品导览、定位、平台控制、自动对焦、自动亮度调节、参数设定、测量等功能。 *22.提供标准测量软件与分析软件，分析软件可作为离线软件单独使用。 23.****工作站。 24.供货期：签订合同后3个月内。 25.质保期：1年及以上。 | 176 | 2026年04月 |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
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2026年03月05日
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2026-03-05
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