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| **** | [备案] 磁悬浮高速驱动晶圆快速热处理技术研发项目 | 内资项目备案(工业技术改造项目除外) | ****审批局 | 批复办结 | 2026-03-05 |
项目基本信息
| **** | 项目名称磁悬浮高速驱动晶圆快速热处理技术研发项目 | |||
| 备案类 | 项目法人单位深蓝鲲鹏********* | |||
| ****审批局 | 内资项目备案(工业技术改造项目除外) | 批复办结 | 2026-03-05 | 沈浑审批备字〔2026〕34号 |