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| 溶液法薄膜制备系统 | 1.0/台(套) | 定制 | SG2-2-P | 双工位,4只手套;分为2个操作工位;内部包含 1个旋涂工位,1个真空烘箱工位;水氧含量,1PPM以 包含一套循环净化系统,一套真空泵及多个KF40接头,用于引入电、气接口;加速度的最小分辨率为1 RPM/S;宽广的速度设定范围(1~12000RPM);处理腔:高度为287毫米,腔体内径长241毫米;最大旋涂尺寸:额定正常最大承载直径6英寸(150毫米)的晶圆片或者125x125毫米的方; 高精度数码控制器:可同时存储二十种不同旋涂材料的旋涂过程,每一个过程多达五十一步,也可以设定为手动模式,非常有好的操作界面,方便设定速度和加速度程序段,稳定高精度转速范围100~12000转/分钟,可重复性控制在+/-0.5转/分钟以内,分辨率小于0.5转/分钟;固态天然聚丙烯材料制造的涂敷处理腔体;喷嘴中部采用特殊特氟龙材质;ECTFE材质透明盖板中间带有直径为19 毫米的开口(便于动态滴胶);真空托盘:固态天然聚丙烯材料制造的真空托盘直径为45毫米,(适合直径范围50`150毫米的基底使用); | 按行业标准提供服务(提供本地化安装调试及售后服务) |