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| 申购单主题: | 光伏材料沉积气流控制系统 | 申购单位: | **** | 报价类型: | 国内含税价 |
| 使用币种: | 人民币 | 公示时间: | 2026-03-09 20:24:00 | 申购备注: |
| 光伏材料沉积气流控制系统 | 纳印光电 | NanoCompact 50 | 1 | 要求设备供应商上门安装设备,并提供设备使用培训 |
| 规格 |
| 流量控制器数量:8个 前驱体量程:1-100sccm (4个) 稀释路量程:5-500sccm (2个) 氮气侧气帘量程:20-2000 sccm (1个) 氮气隔绝气帘量程:50-5000sccm (1个) 本设备包含吸附、置换、吹扫、镀膜等功能; 程序设计要求可以实现多种编程协同控制(常数、线性、指数、任意参数调控) 沉积材料验收标准:均匀性<5%(以AI2O3薄膜作为验收) |