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| 磁控溅射仪 | |
| 项目所在采购意向: | ****政府采购意向公告 |
| 采购单位: | **** |
| 采购项目名称: | 磁控溅射仪 |
| 预算金额: | 50.000000万元(人民币) |
| 采购品目: | |
| 采购需求概况 : |
“硬件部分要求:具体参数: 1.在基板中φ100mm的区域内,膜厚度的偏差在±5%之内; 2.使用标准RF电源提供的脉冲模式,也可以溅射陶瓷类靶材; 3.在沉积期间,基底支架可旋转或静止。“
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| 预计采购时间: | 2026-05 |
| 备注: | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写