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多片式mist-CVD外延系统
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1750000.00
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相关单位：
***********公司企业信息
****政府采购意向公告-多片式mist-CVD外延系统 详细情况
| 多片式mist-CVD外延系统 | |
| 项目所在采购意向： | ****政府采购意向公告 |
| 采购单位： | **** |
| 采购项目名称： | 多片式mist-CVD外延系统 |
| 预算金额： | 175.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： |
1.载片台数量不少于3个，可同时进行3个外延片的生长，载片台直径大于6英寸，兼容直径 6英寸及以下尺寸的衬底 2.雾化频率：超声雾化频率1.7MHz、2.4MHz、3MHz三档可调，雾化器电路有自动频率漂移跟踪稳定控制功能，最大频率偏移0.1%； 3.雾化装置：包含3个雾化单元，3个耐酸碱液体罐，雾化量10~200 ml/h可调节，可实现连续雾化、定时雾化、脉冲雾化三种功能，能够单独设置运行参数分别控制，能够同时起雾，满足多组分氧化物薄膜沉积要求；
|
| 预计采购时间： | 2026-05 |
| 备注： | |
本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。标书代写
招标进度跟踪
2026-03-11
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