扫描电镜-拉曼联用仪

“. 运行环境： 1.1 房间温度：15 ~ 25℃ 1.2 相对湿度：小于60% 1.3 适用电源：单相，100V±10%，50/60Hz，5kVA，要求连续供电 *1.4 地线：接地电阻允许40Ω以上 2. 设备用途：用于样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。 3电子光学系统： *3.1 分辨率： 0.8nm@15kV （WD=3mm）（非样品台减速） 0.9nm@1kV （WD=1.5mm）（非样品台减速） 3.2 加速电压：0.1 ～ 30kV (10V/step) 3.3 放大倍数：最小≤20倍； 最大≥200倍（底片模式） 3.4电子枪：肖特基场发射电子枪 3.5电子束流： ≥200nA，且连续可变 3.6物镜系统：无漏磁混合物镜，镜筒内Booster 3.7 物镜光阑： 4孔可调 3.8 信号检测系统： UD探测器：镜筒内高分辨率SE探测器，可获取形貌、电位衬度等信息。 LD探测器：样品仓SE探测器，可获取形貌、凹凸、成分等信息。 PD-BSED探测器：样品仓5分割高灵敏度BSE探测器，可获取成分、阴影、凹凸、3D等信息。 *3.9 能谱工作距离：WD=6mm（可同时成像及做能谱分析） 3.10 电位移范围：60±6um (WD=6mm) 3.11 自动电子光路对中调整：自动电子束对中，自动光阑对中，自动像散对中，自动对焦调整，自动亮度对比度调整，自动像散调整 4 样品室： 4.1 样品台： 5轴优中心马达驱动 X：0-110mm，Y：0-110mm，Z：1.5-40mm，R：360°，T：-5°～70° 4.2 样品尺寸 直径150mm，高度36mm *4.3样品换样方式：标配6英寸预抽室，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，具有样品安装到位提示，避免样品在安装时脱落 4.4 非接触防碰撞保护功能，无需红外相机即可避免样品台碰撞 *4.5 样品室接口：15个 *4.6 SEM-MAP光镜导航功能：一体化导航相机，最大导航视野直径75mm 5数字图像记录系统 *5.1 自定义操作软件界面 *5.2 信号/图像处理功能：像素积分改善S/N，框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤