电镜+能谱

一、电镜主机： ★1.1、主机结构：桌面型台式主机设计，满足分辨率的前提下，成像快速，可随意搬动； 1.2、安装要求：无需减震台，安装在实验台桌面上即可满足测试要求； 1.3、电力要求：使用220V、50Hz市电，主机功率1kW； 二、电子光学： ★2.1、加速电压： 3kV-30kV连续可调，步进1kV 2.2、电子枪：钨灯丝与韦氏帽一体化设计，更换灯丝不需要额外清洗韦氏帽； ★2.3、分辨率：优于4nm； 2.4、备用灯丝：每台主机配备的原厂备用灯丝不少于10根； 2.5、电磁透镜：一体式聚光镜，电磁式物镜光阑，非外置手动调节；一键自动配置亮度，对比度，自动对焦； 2.6、放大倍数：50x-360,000x； 三、成像模式： 3.1、SE探测器：二次电子探测器 3.2、BSE探测器：电动四分割背散射电子探测器，总活性面积达80mm2 四、样品台： ★4.1、样品台：电动样品台，重复定位精度优于5um； ★4.2、样品台行程：X=60mm、Y=55mm ★4.3、最大样品尺寸：100mm*78.5mm*68.5mm（样品台可自由移动时）； 4.4、光学导航：内置彩色CCD摄像头，具备光学导航功能；支持在导航窗口快速定位寻找样品； 4.5、仓内相机：配备样品仓内侧视相机，实时观察样品仓内情况； 五、真空系统： 5.1、一级真空：机械泵，只需更换泵油和滤芯，无需额外维护； 5.2、二级真空：磁悬浮涡轮分子泵，分子泵抽速85L/s； 5.3、真空逻辑：配备真空规实时监测，全自动控制； 5.4、电镜枪真空：高真空模式＜ 10-3 Pa；