镀膜定量分析仪

“镀膜定量分析仪；1套；参数如下： 1、 电子流量控制（EPC）：所有流量、压力均可以电子控制，以提高重现性，压力设定值和控制精度调节：0.001 psi。 2、 TCD检测器：最高使用温度：400°C，检测限：＜ 400 pg丙烷/mL，必须为单丝设计 3、 FID检测器：最低检测限：＜1.2 pg C/s，数据采集速率：1000 Hz 4、 阀系统：整体兼容六个EPC 模块，提供16 个通道的EPC 控制，实现进样和色谱柱通道切换。 5、 压力程序最大升压/降压速率：150 psi/min 6、 自动进样器：50位 7、 离子化能量：5-240 eV 8、 质量数范围：1-1090 amu，以0.1 amu递增 9、 灵敏度： 1 pg八氟萘（OFN）,信/噪比≥2000:1 10、 仪器检出限IDL：10 fg 11、 共轭双曲面四极杆质量分析器，质量分析器能独立温控，最高可达 190C，实现热清洁，免于人工维护 12、 质量准确度：OFN单同位素出现在 m/z 271.987 ± 0.005 处 2.1 溅射原理：采用低温增强等离子磁控管设计，利用低压低电流直流磁控冷溅射，有效降低溅射热效应对样品的损伤； 2.2 溅射镀膜电流：覆盖范围不小于1-80 mA，连续可调，调节步径≤1 mA； *2.3可设定镀膜时间范围：覆盖不小于1-3600秒，连续可调，调节步径≤1秒； 2.4 溅射工作真空范围：覆盖不小于7 x 10-3 到5 x 10-1 mbar； 2.5 溅射靶材：靶材尺寸≥φ57 mm，采用磁控冷溅射环境，精细颗粒镀膜，标配金靶一块； *2.6 具备脉冲清洁功能，能够实现铝金属及各类易氧化金属镀膜“